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本发明提供一种多检测质量块的光学微机电结构，包括悬置波导、悬置支撑梁、检测质量块组及光学腔体组，其中，检测质量块组包括N个质量不同的悬置检测质量块，光学腔体组包括N个共振波长相同的光学腔体，每一光学腔体分别包括第一、第二悬置光子晶体，N个第...
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