Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置制造方法及图纸

本申请提供一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置，涉及半导体领域技术领域。该机构包括：基板、Y轴电缸、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘；Y轴电缸固定在基板上，伸缩组件滑动连接在Y轴电缸上，Y轴电缸用于推动伸缩组件前进或后退；传送组件的一端与基板固定连接，传送组件的另一端与Y轴吸盘固定连接，传送组件通过伸缩组件上的定件可活动地设置在伸缩组件上；Y轴吸盘可滑动地设置在伸缩组件上；其中，传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型。本机构基于由传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型，将Y轴电缸的推动距离扩大2倍，实现了双倍行程的伸缩，解决了现有装置在狭小的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。

【技术实现步骤摘要】
Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置


[0001]本专利技术涉及半导体领域
，尤其涉及一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。其生产工艺一般为：向高纯度的多晶硅溶解体系中掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的硅晶棒；硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片(即晶圆)。而在实际生产中，为了确保生产出的晶圆符合使用标准，还会对硅晶圆片进行性能检测、磨损检测等检测操作。这些操作的进行过程中，需要使用相应的装置对晶圆进行搬运。
[0003]在实际的搬运场景中，往往需要装置进行水平方向的旋转、竖直方向的升降以及水平方向的伸缩。其中，水平方向的旋转和竖直方向的升降这两种运动，只需要求具有一定高度的空间范围即可，对空间宽窄的要求较低。而水平方向的伸缩运动，是指装置中的Y轴滑组做水平方向的伸缩运动以实现对晶圆的夹取、放置等操作。这些操作就需要在具有一定宽度的空间内进行。若是在狭小的空间范围内，则水平方向的伸缩运动将受到限制，例如专利CN113664854A公开的晶圆搬运机械手中的牙叉组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Y轴双倍行程机构，其特征在于，所述机构包括：基板(11)、Y轴电缸(12)、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘(16)；所述Y轴电缸(12)固定在所述基板(11)上，所述伸缩组件滑动连接在所述Y轴电缸(12)上，所述Y轴电缸(12)用于推动所述伸缩组件前进或后退；所述传送组件的一端(14
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1)与所述基板(11)固定连接，所述传送组件的另一端(14
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2)与所述Y轴吸盘(16)固定连接；所述伸缩组件上设有定件，所述传送组件可活动地套设在所述定件上；所述Y轴吸盘(16)可滑动地设置在所述伸缩组件上；其中，所述传送组件、所述伸缩组件和所述Y轴吸盘(16)组成动滑轮运动模型。2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述伸缩组件上设有Y轴直线导轨(15)，所述Y轴吸盘(16)的底部设有第一导轨槽；所述Y轴吸盘(16)基于所述Y轴直线导轨(15)和所述第一导轨槽，可滑动地设置在所述伸缩组件上；和/或所述伸缩组件上设有第二导轨槽，所述Y轴吸盘(16)的底部设有上导轨，所述Y轴吸盘(16)基于所述第二导轨槽和所述上导轨，可滑动地设置在所述伸缩组件上。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述Y轴吸盘(16)的底部设有第一连接件(17)；所述第一连接件(17)的一侧与所述另一端(14
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2)固定连接；所述第一连接件(17)的另一侧可滑动地设置在所述伸缩组件上；其中，所述第一导轨槽设置在所述第一连接件(17)的另一侧底部，或所述上导轨设置在所述第一连接件(17)的另一侧底部。4.根据权利要求2所述的机构，其特征在于，所述伸缩组件包括：滑动组件(18)和固定板(13)；所述滑动组件(18)与所述固定板(13)固定连接；所述伸缩组件通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌霄，任烨飞，邹福志，王刘洋，周涛，
申请(专利权)人：江苏宏芯亿泰智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：