本申请提供一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置，涉及半导体领域技术领域。该机构包括：基板、Y轴电缸、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘；Y轴电缸固定在基板上，伸缩组件滑动连接在Y轴电缸上，Y轴电缸用于推动伸缩组件前进或后退；传送组件的一端与基板固定连接，传送组件的另一端与Y轴吸盘固定连接，传送组件通过伸缩组件上的定件可活动地设置在伸缩组件上；Y轴吸盘可滑动地设置在伸缩组件上；其中，传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型。本机构基于由传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型，将Y轴电缸的推动距离扩大2倍，实现了双倍行程的伸缩，解决了现有装置在狭小的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。
【技术实现步骤摘要】
Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置
[0001]本专利技术涉及半导体领域
，尤其涉及一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。其生产工艺一般为：向高纯度的多晶硅溶解体系中掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的硅晶棒；硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片(即晶圆)。而在实际生产中，为了确保生产出的晶圆符合使用标准，还会对硅晶圆片进行性能检测、磨损检测等检测操作。这些操作的进行过程中，需要使用相应的装置对晶圆进行搬运。
[0003]在实际的搬运场景中，往往需要装置进行水平方向的旋转、竖直方向的升降以及水平方向的伸缩。其中，水平方向的旋转和竖直方向的升降这两种运动，只需要求具有一定高度的空间范围即可，对空间宽窄的要求较低。而水平方向的伸缩运动，是指装置中的Y轴滑组做水平方向的伸缩运动以实现对晶圆的夹取、放置等操作。这些操作就需要在具有一定宽度的空间内进行。若是在狭小的空间范围内，则水平方向的伸缩运动将受到限制，例如专利CN113664854A公开的晶圆搬运机械手中的牙叉组件，当需要搬运31cm处的晶圆时，就需要滑组伸出31cm后，牙叉组件才能夹持到晶圆，如空间的宽度小于31cm，则滑组将无法顺利伸出并无法完成晶圆的搬运。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的一个技术问题是：现有晶圆搬运装置中因Y轴滑组需伸缩实际间距才能完成晶圆夹取，致使在狭小的伸缩空间中将无法顺利完成晶圆搬运的问题。为解决该技术问题，本专利技术实施例提供一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置。具体内容如下：
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种Y轴双倍行程机构。该机构包括：基板、Y轴电缸、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘；
[0006]Y轴电缸固定在基板上，伸缩组件滑动连接在Y轴电缸上，Y轴电缸用于推动伸缩组件前进或后退；
[0007]传送组件的一端与基板固定连接，传送组件的另一端与Y轴吸盘固定连接；伸缩组件上设有定件，传送组件可活动地套设在定件上；Y轴吸盘可滑动地设置在伸缩组件上；其中，传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型。
[0008]在一些实施例中，伸缩组件上设有Y轴直线导轨，Y轴吸盘的底部设有第一导轨槽；Y轴吸盘基于Y轴直线导轨和第一导轨槽，可滑动地设置在伸缩组件上；和/或
[0009]伸缩组件上设有第二导轨槽，Y轴吸盘的底部设有上导轨，Y轴吸盘基于第二导轨槽和上导轨，可滑动地设置在伸缩组件上。
[0010]在一些实施例中，Y轴吸盘的底部设有第一连接件；第一连接件的一侧与另一端固定连接；第一连接件的另一侧可滑动地设置在伸缩组件上；
[0011]其中，第一导轨槽设置在第一连接件的另一侧底部，或上导轨设置在第一连接件的另一侧底部。
[0012]在一些实施例中，伸缩组件包括：滑动组件和固定板；滑动组件与固定板固定连接；
[0013]伸缩组件通过滑动组件滑动连接在Y轴电缸上，定件设置在固定板上，Y轴直线导轨和/或第二导轨槽设置在固定板上。
[0014]在一些实施例中，固定板的一端固定连接在滑动组件一顶端。
[0015]在一些实施例中，传送组件为传送带，定件包括至少两个定子件；传送带围套在定子件上并相对定子件运动。
[0016]在一些实施例中，机构还包括：第二连接件，第二连接件的一端与传送组件的一端固定连接，第二连接件的另一端与基板固定连接。
[0017]第二方面，本专利技术实施例提供了一种晶圆搬运装置。该装置包括：上述第一方面所述的Y轴双倍行程机构。
[0018]在一些实施例中，装置还包括：搬运驱动组件；Y轴双倍行程机构通过基板固定在搬运驱动组件上。
[0019]在一些实施例中，搬运驱动组件包括：控制装置升降高度的Z轴顶升机构、控制装置旋转角度的旋转θ轴机构、监测Z轴顶升机构升降高度的Z轴感应Sensor组件；Z轴感应Sensor组件设置在Z轴顶升机构上；
[0020]其中，旋转θ轴机构包括：旋转θ轴固定板和旋转模组；旋转θ轴固定板固定在Z轴顶升机构上，旋转模组固定在旋转θ轴固定板上，基板固定在旋转模组上并随着旋转θ轴机构旋转。
[0021]本专利技术提供一种Y轴双倍行程机构。本机构基于由传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型，将伸缩组件的滑动距离扩大2倍(即实现双倍行程的伸缩)，使得Y轴吸盘以2倍的滑距顺利完成晶圆夹取，解决了现有装置中因Y轴滑组需伸缩实际间距才能完成晶圆夹取，致使在狭小的伸缩空间中将无法顺利完成晶圆搬运的问题。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是本专利技术实施例公开的一种Y轴双倍行程机构的结构示意图；
[0024]图2是本专利技术实施例公开的一种Y轴双倍行程机构中传送组件的结构示意图；
[0025]图3是本专利技术实施例公开的一种晶圆搬运装置的结构示意图；
[0026]图4是本专利技术实施例公开的搬运驱动组件的结构示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、Y轴双倍行程机构；11、基板；12、Y轴电缸；13、固定板；14、传送带；14
‑
1、传送组件的一端；14
‑
2、传送组件的另一端；15、Y轴直线导轨；16、Y轴吸盘；17、第一连接件；18、滑动组件；19、第二连接件；20、定子件；2、Z轴顶升机构；21、Z轴电缸组件；22、Z轴升降导向轴；
23、直线轴承；3、旋转θ轴机构；31、旋转模组；32、旋转θ轴固定板；4、Z轴感应Sensor组件。
具体实施方式
[0029]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本专利技术的原理，但不能用来限制本专利技术的范围，本专利技术可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
[0030]本专利技术提供这些实施例是为了使本专利技术透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本专利技术的范围。应注意到：除非另外具体说明，这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。
[0031]需要说明的是，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是大于或等于两个；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0032]此外，本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种Y轴双倍行程机构，其特征在于，所述机构包括：基板(11)、Y轴电缸(12)、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘(16)；所述Y轴电缸(12)固定在所述基板(11)上，所述伸缩组件滑动连接在所述Y轴电缸(12)上，所述Y轴电缸(12)用于推动所述伸缩组件前进或后退；所述传送组件的一端(14
‑
1)与所述基板(11)固定连接，所述传送组件的另一端(14
‑
2)与所述Y轴吸盘(16)固定连接；所述伸缩组件上设有定件，所述传送组件可活动地套设在所述定件上；所述Y轴吸盘(16)可滑动地设置在所述伸缩组件上；其中，所述传送组件、所述伸缩组件和所述Y轴吸盘(16)组成动滑轮运动模型。2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述伸缩组件上设有Y轴直线导轨(15)，所述Y轴吸盘(16)的底部设有第一导轨槽；所述Y轴吸盘(16)基于所述Y轴直线导轨(15)和所述第一导轨槽，可滑动地设置在所述伸缩组件上；和/或所述伸缩组件上设有第二导轨槽，所述Y轴吸盘(16)的底部设有上导轨，所述Y轴吸盘(16)基于所述第二导轨槽和所述上导轨，可滑动地设置在所述伸缩组件上。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述Y轴吸盘(16)的底部设有第一连接件(17)；所述第一连接件(17)的一侧与所述另一端(14
‑
2)固定连接；所述第一连接件(17)的另一侧可滑动地设置在所述伸缩组件上；其中，所述第一导轨槽设置在所述第一连接件(17)的另一侧底部，或所述上导轨设置在所述第一连接件(17)的另一侧底部。4.根据权利要求2所述的机构，其特征在于，所述伸缩组件包括：滑动组件(18)和固定板(13)；所述滑动组件(18)与所述固定板(13)固定连接；所述伸缩组件通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：凌霄，任烨飞，邹福志，王刘洋，周涛，
申请(专利权)人：江苏宏芯亿泰智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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