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本申请提供一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置，涉及半导体领域技术领域。该机构包括：基板、Y轴电缸、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘；Y轴电缸固定在基板上，伸缩组件滑动连接在Y轴电缸上，Y轴电缸用于推动伸缩组件前进或后退；传送组件的一端与基板固定...
该专利属于江苏宏芯亿泰智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏芯亿泰智能装备有限公司授权不得商用。

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