一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置制造方法及图纸

为解决现有技术中存在的晶圆由于静电残留导致的晶圆向上顶起时容易被弹走或损坏的技术问题，本发明专利技术实施例提供一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括:提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以将所述晶圆从静电吸盘上顶起；永磁铁，一端用于与提升杆的另一端连接；电磁铁，电磁铁的一端用于与永磁铁的另一端磁性连接；以及距离感应器，设于电磁铁的一端，用于感应永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离大小；动力装置，用于与电磁铁的另一端连接，以带动电磁铁的一端作靠近永磁铁的另一端或远离永磁铁的另一端的运动；控制装置，用于与距离感应器、动力装置和电磁铁连接。电磁铁连接。电磁铁连接。

【技术实现步骤摘要】
一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置


[0001]本专利技术涉及一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置。

技术介绍

[0002]将晶圆加工室内的晶圆转移到晶圆加工室外的第一步，需要把吸在静电吸盘ESC(Electrostatic Chuck)上的晶圆顶起来。此时的晶圆必须去除静电，晶圆各处受力才能均匀。但是因各种各样的原因静电有去除不掉或者残留的情况。静电残留的状态下向上大力顶起晶圆时，晶圆就会因为局部受力过大而被弹走或破损，所以需要一个静电残留时避免晶圆因局部受力过大而被弹走或破损的装置。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中存在的晶圆由于静电残留导致的晶圆向上顶起时容易被弹走或损坏的技术问题，本专利技术实施例提供一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置。
[0004]本专利技术实施例通过下述技术方案实现：
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括:
[0006]提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以将所述晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，其特征在于，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括:提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以将所述晶圆从静电吸盘上顶起；永磁铁，一端用于与提升杆的另一端连接；电磁铁，电磁铁的一端用于与永磁铁的另一端磁性连接；以及距离感应器，设于电磁铁的一端，用于感应永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离大小；动力装置，用于与电磁铁的另一端连接，以带动电磁铁的一端作靠近永磁铁的另一端或远离永磁铁的另一端的运动；当电磁铁的一端向靠近永磁铁的另一端运动时，电磁铁的一端与永磁铁的另一端的极性相同；控制装置，用于与距离感应器、动力装置和电磁铁连接。2.如权利要求1所述将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，其特征在于，控制装置还用于：根据距离感应器的距离反馈信号，生成距离反馈值；判断距离反馈值是否小于或等于安全距离值，若是，则控制动力装置停止顶起动作；或者通过动力装置带动电磁铁的一端向远离永磁铁的另一端运动。3.如权利要求2所述将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，其特征在于，安全距离值为晶圆无静电且晶圆被顶起时永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离值。4.如权利要求1所述将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，其特征在于，还包括报警装置；所述报警...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑宇现，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：