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为解决现有技术中存在的晶圆由于静电残留导致的晶圆向上顶起时容易被弹走或损坏的技术问题，本发明实施例提供一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括:提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以...
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