本发明专利技术公开了一种晶圆划片机的机械手夹料装置，涉及晶圆划片机技术领域。本发明专利技术包括水平设置的直线驱动机构；直线驱动机构的下方设置有一对夹持机构；两夹持机构的上部分别通过旋转调向机构与直线驱动机构相连接；旋转调向机构可带动夹持机构水平转动；直线驱动机构上装设有用于驱动夹持机构上下运动的升降机构。本发明专利技术不仅结构设计合理、使用便捷，而且有效地提高了半导体晶圆划片机对物料工件盘的加工效率，具有较高的市场应用价值。具有较高的市场应用价值。具有较高的市场应用价值。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆划片机的机械手夹料装置
[0001]本专利技术属于晶圆划片机
，特别是涉及一种晶圆划片机的机械手夹料装置。
技术介绍
[0002]授权公告号为CN218365806U的中国专利公开了一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其通过上下气缸推动直线光轴向下运动，从而带动旋转组件和抬料组件下降到物料工件盘的位置，再通过旋转气缸带动转盘旋转，从而连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧工件盘，之后上下气缸再带动旋转组件和抬料组件上升到一定位置，通过与上下气缸相连的推料装置输送到指定的待切割工作台，上下气缸再次带动旋转组件和抬料组件下降到指定的待切割工作台位置，旋转气缸带动转盘反向旋转，从而连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开工件盘，最后上下气缸带动旋转组件和抬料组件上升后再随推料装置返回原位置。上述装置存在以下弊端：推料装置经上下气缸以及旋转组件带动抬料组件一次往复运动，才实现一次物料工件盘的夹持转运，效率较慢，从而降低了半导体晶圆划片机对物料工件盘的加工效率。因此，亟待研究一种晶圆划片机的机械手夹料装置，以便于解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术在于提供一种晶圆划片机的机械手夹料装置，其目的是为了解决上述
技术介绍
中所提出的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本专利技术为一种晶圆划片机的机械手夹料装置，包括水平设置的直线驱动机构；所述直线驱动机构的下方设置有一对夹持机构；两所述夹持机构的上部分别通过旋转调向机构与直线驱动机构相连接；所述旋转调向机构可带动夹持机构水平转动；所述直线驱动机构上装设有用于驱动夹持机构上下运动的升降机构。
[0006]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述直线驱动机构包括一对对称竖直设置的侧撑柱；两所述侧撑柱的下端之间通过第一支撑板条相连接；所述第一支撑板条的上表面水平固定有与其相平行的第一气缸；所述第一气缸的输出端贯穿一侧撑柱；所述第一支撑板条的一端下表面转动连接有竖直设置的安装轴；所述安装轴上固定套设有第一齿轮；所述第一齿轮上啮合有一对与第一支撑板条相平行的传动齿条；两所述传动齿条分别设置于第一支撑板条的相对两侧；一所述传动齿条的一端通过驱动板条与第一气缸的输出端相连接；两所述传动齿条的上表面均沿长度方向开设有定向槽；两所述定向槽内均滑动连接有滑块；两所述滑块分别固定于第一支撑板条的相对两端部处。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述夹持机构包括水平设置的承载板；所述承载板的四个侧面均垂直固定有支撑轨；四个所述支撑轨上均滑动套设有导向套；所述导向套的下表面竖直固定有安装柱；所述安装柱的下端水平固定有定位片；所述定位片的下方
平行设置有夹持片；所述夹持片与定位片之间形成对物料的夹持空间；所述夹持片的一边缘竖直固定有一对连接柱；两所述连接柱均穿插于定位片的一边缘上；两所述连接柱设置于导向套的相对两侧；所述承载板的上表面开设有容纳口；所述容纳口内固定穿插有竖直设置的第二气缸；所述第二气缸的输出端水平固定有传动块；所述传动块的四个侧面均转动连接有与导向套相对应的推拉杆；所述推拉杆的一端转动连接于导向套的上表面上；所述支撑轨远离承载板的一端竖直固定有支撑片；所述支撑片的下边缘并排固定有与支撑轨相平行的延伸条；两所述延伸条靠近承载板的一端部下表面均固定有磁铁；两所述磁铁的下方均设置有铁块；两所述铁块分别固定于两连接柱的上端上；所述铁块的下表面与定位片的上表面之间通过第一弹簧相连接。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述旋转调向机构包括平行设置于第一支撑板条下方的定位条；所述定位条的相对两侧面均并排设置有多个第一齿牙和多个第二齿牙；所述定位条的一端部上表面与安装轴的下端转动连接；所述定位条的另一端部上表面与第一支撑板条的下表面之间通过悬吊柱相连接；所述定位条的相对两侧均水平设置有可与第一齿牙或第二齿牙相啮合的第二齿轮；两所述第二齿轮的下表面分别通过一对竖直设置的承载柱与两承载板的上表面相连接；所述承载柱分别设置于第二齿轮的边缘处及承载板的边缘处；两所述第二齿轮的上表面均同轴固定有活动柱；两所述活动柱的外周均活动套设有连接块；两所述连接块分别固定于两传动齿条朝向相同的一端部上。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述升降机构包括一对分别竖直固定于第一支撑板条相对两侧的第二支撑板条；两所述第二支撑板条的上端之间通过顶板相连接；所述顶板的上表面竖直固定有第三气缸；所述第三气缸的输出端贯穿顶板并水平固定有与第一支撑板条相平行的传动板条；所述传动板条的两端均水平固定有与第一支撑板条相垂直的按压板条；两所述按压板条的下方均设置有升降块；两所述升降块分别转动连接于两活动柱的上端上；所述升降块的下表面与连接块的上表面之间通过第二弹簧相连接。
[0010]本专利技术具有以下有益效果：
[0011]本专利技术通过直线驱动机构经旋转调向机构带动两夹持机构同步相对运动，并利用旋转调向机构在夹持机构水平运动的同时夹持机构进行错位式旋转调向，以避免两夹持机构相撞，在两夹持机构到达指定位置后通过升降机构带动两夹持机构同步向下运动，然后一夹持机构夹住物料且另一夹持机构释放物料，再然后两夹持机构同步复位，再通过直线驱动机构经旋转调向机构带动两夹持机构各自往回运动，同时旋转调向机构同步对夹持机构进行旋转调向，在两夹持机构复位后通过升降机构带动两夹持机构同步向下运动，然后一夹持机构夹住物料且另一夹持机构夹住物料，再然后两夹持机构同步复位，从而实现直线驱动机构带动两夹持机构往复运动一次，就可以实现两次物料的夹持转运，有效地提高了半导体晶圆划片机对物料工件盘的加工效率。
[0012]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附
图。
[0014]图1为本专利技术的一种晶圆划片机的机械手夹料装置的结构示意图。
[0015]图2为图1的结构主视图。
[0016]图3为本专利技术的直线驱动机构与升降机构之间相连接的结构示意图。
[0017]图4为本专利技术的直线驱动机构与旋转调向机构之间相连接的结构示意图。
[0018]图5为本专利技术的直线驱动机构的结构示意图。
[0019]图6为本专利技术的夹持机构的结构示意图。
[0020]图7为本专利技术的支撑轨、定位片及夹持片之间相连接的结构示意图。
[0021]图8为本专利技术的支撑轨与第二气缸之间相连接的结构示意图。
[0022]图9为本专利技术的定位片与夹持片之间相连接的结构示意图。
[0023]图10为本专利技术的旋转调向机构的结构示意图。
[0024]附图中，各标号所代表的部件列表如下本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机的机械手夹料装置，包括水平设置的直线驱动机构(1)；其特征在于：所述直线驱动机构(1)的下方设置有一对夹持机构(2)；两所述夹持机构(2)的上部分别通过旋转调向机构(3)与直线驱动机构(1)相连接；所述旋转调向机构(3)可带动夹持机构(2)水平转动；所述直线驱动机构(1)上装设有用于驱动夹持机构(2)上下运动的升降机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于，所述直线驱动机构(1)包括一对对称竖直设置的侧撑柱(101)；两所述侧撑柱(101)的下端之间通过第一支撑板条(102)相连接；所述第一支撑板条(102)的上表面水平固定有与其相平行的第一气缸(103)；所述第一气缸(103)的输出端贯穿一侧撑柱(101)；所述第一支撑板条(102)的一端下表面转动连接有竖直设置的安装轴(104)；所述安装轴(104)上固定套设有第一齿轮(105)；所述第一齿轮(105)上啮合有一对与第一支撑板条(102)相平行的传动齿条(106)；两所述传动齿条(106)分别设置于第一支撑板条(102)的相对两侧；一所述传动齿条(106)的一端通过驱动板条(107)与第一气缸(103)的输出端相连接；两所述传动齿条(106)的上表面均沿长度方向开设有定向槽(108)；两所述定向槽(108)内均滑动连接有滑块(109)；两所述滑块(109)分别固定于第一支撑板条(102)的相对两端部处。3.根据权利要求2所述的一种晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于，所述夹持机构(2)包括水平设置的承载板(201)；所述承载板(201)的四个侧面均垂直固定有支撑轨(202)；四个所述支撑轨(202)上均滑动套设有导向套(203)；所述导向套(203)的下表面竖直固定有安装柱(204)；所述安装柱(204)的下端水平固定有定位片(205)；所述定位片(205)的下方平行设置有夹持片(206)；所述夹持片(206)与定位片(205)之间形成对物料的夹持空间；所述夹持片(206)的一边缘竖直固定有一对连接柱(207)；两所述连接柱(207)均穿插于定位片(205)的一边缘上；两所述连接柱(207)设置于导向套(203)的相对两侧。4.根据权利要求3所述的一种晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于，所述承载板(201)的上表面开设有容纳口(208)；所述容纳口(208)内固定穿插有竖直设置的第二气缸(209)；所述第二气缸(209)的输出端水平固定有传动块(210)；所述传动块(210)的四个侧面均转动连接有与导向套(203)相对应的推拉杆(211)；...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆坤，史加奎，丁多勇，卢远江，
申请(专利权)人：安徽积芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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