一种离轴自动对焦装置及对焦方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种离轴自动对焦装置及对焦方法，其包括：载台，所述载台连接有Z轴调节装置；检测装置，所述检测装置设置于所述载台的一侧，所述检测装置上安装有测距装置，所述测距装置用于测量所述检测装置经过时间t后与所述载台上的被测物之间的预测距离；以及控制器，其与所述Z轴调节装置和所述测距装置连接，所述控制器用于根据所述预测距离以及预设的最佳工作距离，控制所述Z轴调节装置调节所述载台的高度，使得经过时间t后被测物与所述检测装置之间的距离等于最佳工作距离。测距装置可以安装于检测装置的外侧，不需要再对检测装置的内部进行改造，基本上可以兼容所有检测装置，且自动对焦更加准确。且自动对焦更加准确。且自动对焦更加准确。

【技术实现步骤摘要】
一种离轴自动对焦装置及对焦方法


[0001]本专利技术涉及光学对焦
，特别涉及一种离轴自动对焦装置及对焦方法。

技术介绍

[0002]目前，在晶圆检测中因为被测物存在翘曲且表面平整度存在变动，在检测时通常会使用较高倍率的检测装置，这样检测装置的景深会比较小，因此，在飞拍检测中会经常出现因为被测物和检测装置之间的距离发生变化而导致实际检测时无法清晰对焦的问题。
[0003]相关技术中，有的检测装置并不能加装同轴激光测距装置，没有办法做到实时对焦的功能，因此，有必要设计一种新的离轴自动对焦装置，以克服上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种离轴自动对焦装置及对焦方法，以解决相关技术中有的检测装置并不能加装同轴激光测距装置，没有办法做到实时对焦的功能的问题。
[0005]第一方面，提供了一种离轴自动对焦装置，其包括：载台，所述载台连接有Z轴调节装置；检测装置，所述检测装置设置于所述载台的一侧，所述检测装置上安装有测距装置，所述测距装置用于测量所述检测装置经过时间t后与所述载台上的被测物之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离轴自动对焦装置，其特征在于，其包括：载台，所述载台连接有Z轴调节装置(4)；检测装置(1)，所述检测装置(1)设置于所述载台的一侧，所述检测装置(1)上安装有测距装置(2)，所述测距装置(2)用于测量所述检测装置(1)经过时间t后与所述载台上的被测物(3)之间的预测距离；以及控制器，其与所述Z轴调节装置(4)和所述测距装置(2)连接，所述控制器用于根据所述预测距离以及预设的最佳工作距离，控制所述Z轴调节装置(4)调节所述载台的高度，使得经过时间t后被测物(3)与所述检测装置(1)之间的距离等于最佳工作距离。2.如权利要求1所述的离轴自动对焦装置，其特征在于：所述Z轴调节装置(4)支撑于所述载台的底部，且所述Z轴调节装置(4)设置有压电陶瓷，通过改变电流使所述压电陶瓷发生形变来控制所述载台的高度。3.如权利要求1所述的离轴自动对焦装置，其特征在于：所述时间t包括所述测距装置(2)获取所述预测距离以及处理信息的时间、所述测距装置(2)与所述控制器之间通讯的时间、所述控制器与所述Z轴调节装置(4)之间通讯的时间以及所述Z轴调节装置(4)进行高度调节的时间。4.如权利要求1所述的离轴自动对焦装置，其特征在于：所述预测距离根据所述检测装置(1)的飞拍速度与时间t确定。5.如权利要求1所述的离轴自动对焦装置，其特征在于：所述测距装置(2)采用三角法测量，且所述测距装置(2)的测距位置偏离所述检测装置(1)的视野中心。6.如权利要求5所述的离...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦晨，王进文，邓俊涛，张虎，欧昌东，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：