一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法技术

本发明专利技术公开了一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法，具体涉及光学元件精密检测技术领域，包括如下步骤，激光连续泵浦系统设计、微区干涉显微成像系统设计、自动控制及数据采集系统设计，能够在几个小时的时间内完成100mm口径光学元件表面热敏性缺陷的快速高灵敏、高分辨检测，突破传统热敏性缺陷检测手段“检测精度与检测效率不可兼得”的技术瓶颈。颈。颈。

【技术实现步骤摘要】
一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法


[0001]本专利技术涉及光学元件检测领域，具体为一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法。

技术介绍

[0002]在高能量强激光装置中存在大量的高透射、高反射以及偏振分光等功能性光学器件，当光学基质材料或表面薄膜存在热敏性缺陷时，会强烈吸收所传输的激光能量并通过光
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电或光声效应将其转化为热，这种热场效应产生的温升或应力一旦突破光学材料的耐受极限，即可导致光学器件的激光诱导损伤。因此，对使役光学元件的热敏性缺陷进行检测，对于评价光学元件的制造工艺水平，保障高能激光系统的稳定运行具有重要意义。
[0003]热敏性缺陷的来源主要来自于元件表面抛光或镀膜过程所引入的吸收性杂质、划痕、微裂纹以及膜层的节瘤缺陷，具有从亚微米到毫米的微介观跨尺度分布特征，吸收系数通常处于0.1ppm～100ppm的弱吸收区间，传统的分光光度法、量热法等手段虽然高效但检测精度达不到要求，而基于光热偏转原理的光热弱吸收检测技术虽然理论上能够达到～1ppm的检测限，但受限于单点测试面积≤50μm，对于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法，其特征在于，包括如下步骤：检测系统的设计：S1.激光连续泵浦系统：激光器输出波长与被测元件实际应用波长一致或接近，通过调节反射镜使连续激光器输出的泵浦激光束到达靶面后与光学元件表面干涉显微成像的区域精确重合，光束整形器用于将靶面光斑整形为平顶均匀分布并使得光斑大小与元件表面干涉显微成像的视场大小一致，实现对被测元件表面的均匀强激光泵浦；S2.微区干涉显微成像系统：用于对被测元件表面激光泵浦的区域进行微区干涉显微成像，采用典型的迈克尔逊干涉成像系统，结合横向分辨率与检测速度的需要，配置不同倍率的可切换干涉成像显微物镜；S3.自动控制及数据采集系统：包括夹持被测光学元件并实现二维程控移动的电动平移台、连续激光器输出控制单元以及显微图像采集处理单元，实际检测过程中二维平移台按照程序设定坐标及路径进行X、Y方向的步进移动，移动步距与显微成像视场匹配，每步进一次则由激光器控制单元关闭激光输出，采集未泵浦条件下元件表面的原...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄进，蒋晓东，王成程，周晓燕，刘太祥，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：