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本发明公开了一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法，具体涉及光学元件精密检测技术领域，包括如下步骤，激光连续泵浦系统设计、微区干涉显微成像系统设计、自动控制及数据采集系统设计，能够在几个小时的时间内完成100mm口径光学元件表面热敏性...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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