一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器技术

本发明专利技术提供了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤：提供第一基底和第二基底；在所述第一基底上形成电极层；在所述第二基底上形成微结构压敏膜组，所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化敏感膜层组成，所述微结构压敏膜组的最内层为平面敏感膜层，所述微结构压敏膜组的最外层为图案化敏感膜层，最外层的所述图案化敏感膜层与所述电极层之间具有间距，所述图案化敏感膜层是利用丝网印刷方法制备获得的。本发明专利技术解决了现有技术中电阻式压敏传感器制造设备昂贵，工艺复杂，成本高，难以广泛运用的问题。难以广泛运用的问题。难以广泛运用的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器


[0001]本专利技术涉及电阻式压力传感器的制造领域，特别是涉及一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。

技术介绍

[0002]薄膜式压阻式压力传感器作为一种柔性压力传感器被广泛地运用在家电，工业等领域，如家电的开关，工业中重量识别。然而，现在的压力传感器存在量程低，线性度一致性差，以及电阻变化率少，难以区分多个档位等问题，限制其在跟多领域的广泛使用，针对这些问题，目前，有研究人员通过设计微纳米结构的压敏层来提升压力传感器的灵敏度，但绝大多数微纳结构都通过模板法来制备，常规模板法有硅模板，硅模板法是通过激光或湿法刻蚀在硅片上制成有规则图案的结构，再将压敏浆料在硅模板上固化，再去除模板即可得到具有微纳结构的压敏膜，但此方法设备昂贵，工艺复杂，成本高，难以广泛运用。

技术实现思路

[0003]本专利技术的一个目的是要提供一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器，以解决现有技术中电阻式压敏传感器制造设备昂贵，工艺复杂，成本高，难以广泛运用的问题。<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供第一基底和第二基底；在所述第一基底上形成电极层；在所述第二基底上形成微结构压敏膜组，所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化敏感膜层组成，所述微结构压敏膜组的最内层为平面敏感膜层，所述微结构压敏膜组的最外层为图案化敏感膜层，最外层的所述图案化敏感膜层与所述电极层之间具有间距，所述图案化敏感膜层是利用丝网印刷方法制备获得的。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述平面敏感膜层是利用旋涂法制备获得的。3.一种电阻式压力传感器，其特征在于，包括：第一基底和第二基底；电极层，形成在所述第一基底上；微结构压敏膜组，形成在所述第二基底上，所述微结构压敏膜组具有一个平面敏感膜层和至少一个图案化敏感膜层组成，所述微结构压敏膜组的最内层为所述平面敏感膜层，最外层为所述图案化敏感膜层，最外层的所述图案化敏感膜层与所述电极层之间具有间距，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔震林，雷浩，李俊熙，王秋，孙旭辉，
申请(专利权)人：湖州慧闻传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：