下载一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器的技术资料

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本发明提供了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤:提供第一基底和第二基底;在所述第一基底上形成电极层;在所述第二基底上形成微结构压敏膜组,所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化...
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