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一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器技术
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下载一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器的技术资料
文档序号:37982697
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本发明提供了一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器。该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤:提供第一基底和第二基底;在所述第一基底上形成电极层;在所述第二基底上形成微结构压敏膜组,所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化...
该专利属于湖州慧闻传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖州慧闻传感科技有限公司授权不得商用。
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