一种柔性压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性压力传感器，包括：第一感应面板；第二感应面板，与所述第一感应面板之间具有间隔；隔离层，设置于所述第一感应面板和所述第二感应面板之间；封装层，包覆于所述第一感应面板和所述第二感应面板之外；所述第一感应面板、所述第二感应面板和所述隔离层之间形成腔体；所述第一感应面板以及所述第一感应面板外的封装层和/或第二感应面板以及所述第二感应面板外的封装层和/或隔离层上设置有若干个通孔，腔体通过若干个所述通孔与外界相连通；所述通孔的孔壁设有至少一个用于阻挡气流的阻挡部。本实用新型专利技术不仅通过设置通孔使得内外气压一致，还通过在通孔的孔壁设置阻挡部来延长水蒸气运动的距离，避免外界水汽进入传感器腔体。水汽进入传感器腔体。水汽进入传感器腔体。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性压力传感器


[0001]本技术涉及传感器领域，特别是涉及一种柔性压力传感器。

技术介绍

[0002]柔性压力传感器通常由两层电极和中间的功能软材料构成，如电阻式柔性压力传感器由具有电极的衬底和薄膜构成，其薄膜为弹性材料和导电材料的混合体，与衬底间隔有一小段的距离，初始状态下，其薄膜与衬底上的电极间隔开，当薄膜被使用者按压时，凹陷变形与电极接触并导通，随着薄膜与电极接触面积的增加，电极之间的电流增加，从而改变器件的输出电阻。传统柔性压力传感器未设置排气孔，封装在两层电极之间的气体体积变化，导致内压不同，会存在一致性差的问题，为解决该种技术问题，目前柔性压力传感器倾向于设置排气孔，例如上述电阻式柔性压力传感器，通常在对应电极的位置形成有排气孔，使得内外气压一致，如此薄膜受压时可以产生相应的形变，压力撤销时薄膜可以快速地恢复形变，保证传感器的灵敏度。然而，排气孔的设置，也使得外界水汽可以进入传感器内腐蚀电极等，影响传感器内的电气安全及使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术的一个目的是要提供一种能够避免外界水汽进入传感器腔体的柔性压力传感器。
[0004]本技术一个进一步的目的是要提高柔性压力传感器的响应一致性、电气安全性及使用寿命。
[0005]特别地，本技术提供了一种柔性压力传感器，包括：
[0006]第一感应面板；
[0007]第二感应面板，与所述第一感应面板之间具有间隔；
[0008]隔离层，设置于所述第一感应面板和所述第二感应面板之间；
[0009]封装层，包覆于所述第一感应面板和所述第二感应面板之外；
[0010]所述第一感应面板、所述第二感应面板和所述隔离层之间形成腔体；所述第一感应面板以及所述第一感应面板外的封装层和/或第二感应面板以及所述第二感应面板外的封装层和/或隔离层上设置有若干个通孔，腔体通过若干个所述通孔与外界相连通；所述通孔的孔壁设有至少一个用于阻挡气流的阻挡部。
[0011]进一步地，所述通孔的孔壁上设有至少两个阻挡部，所述至少两个阻挡部分别位于所述通孔的相对两侧从而通孔的孔壁呈曲折状。
[0012]进一步地，所述阻挡部的端部呈圆弧状。
[0013]进一步地，所述阻挡部具有尖端。
[0014]进一步地，所述尖端的断面角度为锐角。
[0015]进一步地，所述通孔一侧间隔设置有多个阻挡部，所述通孔另一侧间隔设置有多个阻挡部，位于所述通孔一侧的多个阻挡部和位于所述通孔另一侧的多个阻挡部之间交错
设置。
[0016]进一步地，所述通孔的孔壁上设有至少两个阻挡部，所述至少两个阻挡部均位于所述通孔的一侧。
[0017]进一步地，所述通孔的内端覆盖有防水透气膜。
[0018]进一步地，所述防水透气膜的边缘和所述通孔内端旁侧的所述隔离层之间设有胶粘层。
[0019]特别地，本技术还提供了一种柔性压力传感器，包括：
[0020]第一感应面板；
[0021]第二感应面板，与所述第一感应面板之间具有间隔；
[0022]隔离层，设置于所述第一感应面板和所述第二感应面板之间；
[0023]封装层，包覆于所述第一感应面板或所述第二感应面板之外；
[0024]所述第一感应面板、所述第二感应面板和所述隔离层之间形成腔体；所述第一感应面板和/或第二感应面板以及所述第二感应面板外的封装层和/或隔离层上设置有若干个通孔，腔体通过若干个所述通孔与外界相连通；所述通孔的孔壁设有至少一个用于阻挡气流的阻挡部。
[0025]本技术中，第一感应面板或第二感应面板或隔离层或封装层上设置有若干个通孔，或者第一感应面板和/或第二感应面板以及第二感应面板外的封装层和/或隔离层上设置有若干个通孔，若干个通孔与外界相连通；通孔的孔壁设有至少一个用于阻挡气流的阻挡部，本技术不仅通过设置通孔使得内外气压一致，还通过在通孔的孔壁设置阻挡部来延长水蒸气运动的距离，给水蒸气足够的时间冷凝成液滴，液滴会在阻挡部处受到粘滞阻力，导致液滴被卡在阻挡部，随着气流的排出和温度升高而逐渐蒸发至大气环境，避免外界水汽进入传感器腔体，提高柔性压力传感器的响应一致性、电气安全性及使用寿命。
[0026]进一步地，本技术中，通孔的孔壁上设有至少两个阻挡部，至少两个阻挡部分别位于通孔的相对两侧从而通孔的孔壁呈曲折状，高湿度环境下，阻挡部具有尖端，通孔可以延长水蒸气运动的距离，从而水蒸气有足够的时间冷凝，通孔的转弯处由于夹角小，液滴会在此受到一定的粘滞阻力，液滴易被卡在通孔的转角处，随着气流的排出和温度升高而逐渐蒸发至大气环境，可以有效避免液滴进入腔体。
[0027]进一步地，本技术中，通孔的内端覆盖有防水透气膜，在保证气体自由进出腔体的同时，防水透气膜能抵挡液滴进入传感器的腔体。
[0028]根据下文结合附图对本技术具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
[0029]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
[0030]图1是根据本技术一个实施例的柔性压力传感器的示意性爆炸示意图；
[0031]图2是根据图1所示的柔性压力传感器的示意性竖向截面示意图；
[0032]图3是根据本技术又一个实施例的柔性压力传感器的示意性爆炸示意图；
[0033]图4是根据图3所示的柔性压力传感器的示意性竖向截面示意图；
[0034]图5是根据本技术一个实施例的隔离层上设置的通孔的示意图；
[0035]图6是图5中A处的放大图；
[0036]图7是根据本技术又一个实施例的隔离层上设置的通孔的示意图；
[0037]图8是根据本技术又一个实施例的隔离层上设置的通孔的示意图；
[0038]图中：
[0039]1‑
第一感应面板；
[0040]2‑
第二感应面板；
[0041]3‑
隔离层；
[0042]4‑
第二封装层；
[0043]5‑
第一封装层；
[0044]6‑
通孔。
具体实施方式
[0045]柔性压力传感器一般地包括4种：1)电容型，2)电阻型，3)压电型，4)摩擦电型，这些传感器通常由两层柔性电极和中间的功能软材料构成。电容型压力传感器一般由电极和介电层组成；电阻型压力传感器一般由衬底和导电材料组成；压电型传感器一般由电极层和压电材料组成，摩擦电型压力传感器一般由上下两个电极和中间负责摩擦生电的不同材料构成，两层材料之间有一层薄薄的空气。
[0046]图1是根据本技术一个实施例的柔性压力传感器的示意性爆炸示意图。图2是根据图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：第一感应面板；第二感应面板，与所述第一感应面板之间具有间隔；隔离层，设置于所述第一感应面板和所述第二感应面板之间；封装层，包覆于所述第一感应面板和所述第二感应面板之外；所述第一感应面板、所述第二感应面板和所述隔离层之间形成腔体；所述第一感应面板以及所述第一感应面板外的封装层和/或第二感应面板以及所述第二感应面板外的封装层和/或隔离层上设置有若干个通孔，腔体通过若干个所述通孔与外界相连通；所述通孔的孔壁设有至少一个用于阻挡气流的阻挡部。2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述通孔的孔壁上设有至少两个阻挡部，所述至少两个阻挡部分别位于所述通孔的相对两侧从而通孔的孔壁呈曲折状。3.根据权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述阻挡部的端部呈圆弧状。4.根据权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述阻挡部具有尖端。5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述尖端的断面角度为锐角。6.根据权利要求1～5任意一项所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述通...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷浩，崔震林，王秋，冯长海，吴庆乐，孙旭辉，
申请(专利权)人：湖州慧闻传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：