【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子烟，尤其涉及一种电子烟应用的压电式传感器芯片。
技术介绍
1、在电子烟应用当中，传感器芯片起到一个类似开关的作用，而目前市场上通常都是采用电容式传感器芯片实现该功能。电容式传感器芯片在压力作用下两电极间距发生变化，结构的变化通过电路转换成电信号的变化，从而通过ic触发电子烟启动，然而在吸烟过程中系统会出现烟油回流的现象，容易堆积在芯片的两电极结构中间造成短路失效。
技术实现思路
1、本技术的一个目的在于避免传感器芯片由于两极板电路而导致的短路失效问题。
2、本技术的一个进一步的目的在于提高传感器芯片的灵敏度，改善产品性能一致性。
3、特别地，本技术提供了一种压电式传感器芯片，包括由下至上依次层叠设置的基底层、绝缘层、下电极层、压电层和上电极层；
4、所述上电极层的面积小于所述压电层的面积，所述压电式传感器芯片还包括与所述上电极层连接的上电极pad和与所述下电极层连接的下电极pad。
5、可选地，所述基底层具有背腔，所述背腔上方的各个结构层均为连续的结构层。
6、可选地，所述背腔上方的各个结构层为悬臂梁结构层。
7、可选地，所述悬臂梁结构层一侧固定，另一侧为自由端。
8、可选地，所述悬臂梁结构层包括多个悬臂梁段，所述多个悬臂梁段首尾相邻且围成预设形状，每个所述悬臂梁段均具有固定端和自由端。
9、可选地，每个所述悬臂梁段构造成弧状。
10、可选地，所述预设形状为环形
11、特别地，本技术还提供了一种电子烟，包括雾化器和如前述的压电式传感器芯片，所述压电式传感器芯片与所述雾化器连接，用于控制所述雾化器的启闭。
12、根据本技术的方案，通过仅设置一层膜层结构，即不存在两极板，从而避免了传感器芯片由于两极板电路而导致的短路失效问题。进一步地，通过在背腔上方形成悬臂梁结构层，悬臂梁结构层可以有效释放膜层应力，提高传感器芯片的灵敏度。进一步地，该悬臂梁结构层包括多个悬臂梁段，多个悬臂梁段首尾相邻且围成预设形状，每个悬臂梁段均具有固定端和自由端，由此，不仅可以有效释放膜层应力，而且可以改善产品性能一致性，即制作的多个产品的一致性好，产品良率高。
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1.一种压电式传感器芯片，其特征在于，包括由下至上依次层叠设置的基底层、绝缘层、下电极层、压电层和上电极层；
2.根据权利要求1所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述基底层具有背腔，所述背腔上方的各个结构层均为连续的结构层。
3.根据权利要求2所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述背腔上方的各个结构层为悬臂梁结构层。
4.根据权利要求3所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述悬臂梁结构层一侧固定，另一侧为自由端。
5.根据权利要求3所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述悬臂梁结构层包括多个悬臂梁段，所述多个悬臂梁段首尾相邻且围成预设形状，每个所述悬臂梁段均具有固定端和自由端。
6.根据权利要求5所述的压电式传感器芯片，其特征在于，每个所述悬臂梁段构造成弧状。
7.根据权利要求6所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述预设形状为环形。
8.一种电子烟，其特征在于，包括雾化器和如权利要求1-7中任一项所述的压电式传感器芯片，所述压电式传感器芯片与所述雾化器连接，用于控制所述雾化器的启闭。
【技术特征摘要】
1.一种压电式传感器芯片，其特征在于，包括由下至上依次层叠设置的基底层、绝缘层、下电极层、压电层和上电极层；
2.根据权利要求1所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述基底层具有背腔，所述背腔上方的各个结构层均为连续的结构层。
3.根据权利要求2所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述背腔上方的各个结构层为悬臂梁结构层。
4.根据权利要求3所述的压电式传感器芯片，其特征在于，所述悬臂梁结构层一侧固定，另一侧为自由端。
5.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷浩，许庆锋，孙旭辉，
申请(专利权)人：湖州慧闻传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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