本发明专利技术公开了一种激光辅助抛光金刚石的装置及其使用方法，涉及金刚石加工技术领域，包括夹持组件、金刚石本体、调角组件和抛光组件。本发明专利技术还公开了一种激光辅助抛光金刚石的装置的使用方法，包括以下步骤：原料放置，抛光加工，角度调整和清理收尾，本发明专利技术通过设置夹持组件，夹持组件可以实现对金刚石本体的夹持固定，以便于金刚石本体表面抛光作业的进行，通过在夹持组件的下方设置调角组件，调角组件的设置可以实现对夹持组件角度的调整，从而使得金刚石本体表面的角度被调整，通过调整金刚石本体的角度，使得金刚石本体表面多个位置距离抛光组件的距离保持一致，即可解决金刚石本体表面多个位置抛光效果不同的问题。体表面多个位置抛光效果不同的问题。体表面多个位置抛光效果不同的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种激光辅助抛光金刚石的装置及其使用方法
[0001]本专利技术涉及金刚石加工
，特别涉及一种激光辅助抛光金刚石的装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]多晶金刚石硬度非常高，化学性能稳定，不与一般的酸、碱等腐蚀介质发生反应，厚度较薄，因此在抛光加工时，不仅效率低，且极易发生金刚石衬底的破裂、损伤或剥落，所以解决多晶金刚石衬底的抛光问题已成为多晶金刚石衬底应用的关键技术之一，当前对多晶金刚石的加工，通常使用机械研磨或抛光，其面临的问题是，高材料去除率下，很难保证晶圆薄膜的亚表面损伤小、表面粗糙度低，追求小亚表面损伤和低表面粗糙度，那么材料去除率很难达到预期。
[0003]中国专利数据库公告了CN201811415381.4的一种激光辅助抛光CVD金刚石的方法，根据金刚石材料特性选择合适的激光类型，再进行激光烧蚀仿真并进行激光粗抛，最后使用抛光盘进行机械抛光去除石墨层和微裂纹。
[0004]该加工方法虽然可以通过激光辅助的方式对金刚石表面进行抛光处理，但是，在对表面为曲面的金刚石进行处理时，由于金刚石表面的曲折不平整性，在抛光过程中无法根据金刚石表面的曲折程度来进行打磨抛光，特别是金刚石外缘且有弧度的地方，对比文件中无法根据金刚石的曲面度进行实时调整来保证抛光机与金刚石的表面之间间距的垂直度，从而难以保证金刚石表面的抛光效果。
[0005]因此，专利技术一种激光辅助抛光金刚石的装置及其使用方法来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种激光辅助抛光金刚石的装置及其使用方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种激光辅助抛光金刚石的装置，包括夹持组件、金刚石本体、调角组件和抛光组件，所述金刚石本体设置于夹持组件的上方，所述调角组件和抛光组件分别设置于夹持组件的上下两侧，所述夹持组件上固定装配有控制器。
[0008]优选的，所述夹持组件包括支撑架，所述支撑架的下表面中部固定设置有第一限位座，所述第一限位座外侧固定设置有第一锁止组件，所述第一限位座的底端转动装配有蜗轮，所述蜗轮的一侧设置有蜗杆，所述蜗杆的一端固定设置有驱动电机，所述第一限位座内转动装配有第二限位座，所述第二限位座外侧固定设置有第二锁止组件，且所述夹持组件上安装有压力传感器。
[0009]优选的，所述调角组件包括限位螺杆和限位板，且所述限位螺杆外侧螺纹连接有滑座，所述滑座的两端均固定设置有滑杆，所述限位板的外侧壁贯穿开设有弧形结构的限
位槽，且限位槽与滑杆相适配。
[0010]优选的，所述抛光组件包括双头丝杆，所述双头丝杆上螺纹连接有两组滑动座，且两组所述滑动座的底部分别固定有激光发射器和抛光机，且所述激光发射器上安装有红外发射器，且所述激光发射器上固定安装有和红外发射器相适配的感应板。
[0011]优选的，所述夹持组件包括固定座，所述固定座的下方设置有固定板，所述第一限位座转动设置于固定板的中部，所述固定板与固定座之间固定设置有多个支撑杆，所述固定座的中部通过轴承贯穿设置有活动座，所述支撑架固定设置在活动座的下表面，且驱动电机固定设置于固定板的下表面。
[0012]优选的，所述固定座的上表面环绕开设有多个条形结构的滑槽，所述滑槽的内部设置有夹块，所述压力传感器固定装配在夹块的相对一侧侧壁上，所述夹块的底端固定设置有支座，所述支座的底端通过销轴活动设置有连接臂，多个所述连接臂之间设置有连接块，所述连接块的外侧壁环绕设置有多个延伸座，且延伸座通过销轴与连接臂的一端活动连接。
[0013]优选的，所述连接块的中部贯穿设置有螺纹槽，所述螺纹槽的内部贯穿设置有调节螺杆，且调节螺杆的底端穿过连接块和第一限位座和蜗轮固定连接，所述第二限位座固定套设在调节螺杆的外侧壁底部，且所述第二限位座和支撑架转动装配。
[0014]优选的，所述调角组件包括底座，所述底座设置于固定座的下方，所述底座的上表面一端固定设置有连接座，且连接座通过销轴与固定板的下表面一端活动连接，所述滑座设置在底座的上表面中部，且滑座设置为“∪”形结构，所述限位板固定在底座的上方且设置为两组，且限位板固定设置于固定板的下表面。
[0015]优选的，所述滑座的中部贯穿设置有螺孔，所述限位螺杆和螺孔适配，所述限位螺杆的一端固定设置有步进电机。
[0016]优选的，所述抛光组件包括上座，所述上座的下表面四角处均固定设置有连接板，且连接板的底端固定设置于底座的上表面，所述上座的下方设置有安装座，所述安装座与上座之间设置有电动推杆。
[0017]优选的，所述滑动座滑动装配在安装座的下表面，且所述激光发射器设置在左侧，所述抛光机设置在右侧。
[0018]优选的，所述滑动座的中部贯穿设置有丝杆槽，所述丝杆槽的内部贯穿设置有双头丝杆，且双头丝杆与连接座呈垂直设置，所述双头丝杆的一端固定设置有调节电机，且调节电机固定设置于安装座的一端。
[0019]优选的，一种激光辅助抛光金刚石的装置的使用方法，利用所述的一种激光辅助抛光金刚石的装置实现抛光操作，所述使用方法包括以下步骤：
[0020]步骤一、原料放置，将金刚石本体放置在夹持组件的上方，并通过夹持组件将其固定；
[0021]步骤二、抛光加工，调整抛光组件的高度，直至抛光组件中激光发射器和抛光机运动至金刚石本体的上方，此时通过夹持组件带动金刚石本体转动，并通过激光发射器对金刚石本体表面发射激光，使得金刚石本体表面在激光的作用下碳化，此时抛光机可以对碳化部分进行抛光打磨，以实现对金刚石本体的激光辅助抛光；
[0022]步骤三、角度调整，在抛光过程中，通过调角组件调整夹持组件和金刚石本体的角
度，从而可以实现对金刚石本体表面曲面部分的抛光打磨；
[0023]步骤四、清理收尾，将抛光完成的金刚石本体取下，并将其表面抛光产生的碎屑擦拭清理，即可完成金刚石本体的抛光打磨。
[0024]本专利技术的技术效果和优点：
[0025]1、本专利技术通过设置夹持组件，夹持组件可以实现对金刚石本体的夹持固定，且夹持组件还可以带动金刚石本体转动，以便于金刚石本体表面抛光作业的进行，通过在夹持组件的下方设置调角组件，调角组件的设置可以实现对夹持组件角度的调整，从而使得金刚石本体表面的角度被调整，在对金刚石本体进行抛光时，通过调整金刚石本体的角度，使得金刚石本体表面多个位置距离抛光组件的距离保持一致，即可解决金刚石本体表面多个位置抛光效果不同的问题；
[0026]2、本专利技术通过设置夹持组件，夹持组件包括可以转动的活动座，活动座的下方设置有第一限位座，第一限位座通过蜗轮和蜗杆与驱动电机传动连接，蜗轮和蜗杆配合，在实现了传动效果的同时可以起到固定活动座位置的作用，以便于金刚石本体抛光工作的进行，通过在活动座上开设多个滑槽，滑槽的内部设置有可以滑动的夹块，夹块的设置可以实现对金刚石本体的夹持固定，从而保证了抛光过程中金刚石本体的稳定性；
[0027]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光辅助抛光金刚石的装置，其特征在于，包括夹持组件(1)、金刚石本体(2)、调角组件(3)和抛光组件(4)，所述金刚石本体(2)设置于夹持组件(1)的上方，所述调角组件(3)和抛光组件(4)分别设置于夹持组件(1)的上下两侧，所述夹持组件(1)上固定装配有控制器；所述夹持组件(1)包括支撑架(105)，所述支撑架(105)的下表面中部固定设置有第一限位座(106)，所述第一限位座(106)外侧固定设置有第一锁止组件，所述第一限位座(106)的底端转动装配有蜗轮(107)，所述蜗轮(107)的一侧设置有蜗杆(108)，所述蜗杆(108)的一端固定设置有驱动电机(109)，所述第一限位座(106)内转动装配有第二限位座(118)，所述第二限位座(118)外侧固定设置有第二锁止组件，且所述夹持组件(1)上安装有压力传感器；所述调角组件(3)包括限位螺杆(308)和限位板(305)，且所述限位螺杆(308)外侧螺纹连接有滑座(303)，所述滑座(303)的两端均固定设置有滑杆(304)，所述限位板(305)的外侧壁贯穿开设有弧形结构的限位槽(306)，且限位槽(306)与滑杆(304)相适配；所述抛光组件(4)包括双头丝杆(409)，所述双头丝杆(409)上螺纹连接有两组滑动座(405)，且两组所述滑动座(405)的底部分别固定有激光发射器(406)和抛光机(407)，且所述激光发射器(406)上安装有红外发射器，且所述激光发射器(406)上固定安装有和红外发射器相适配的感应板，所述抛光组件(4)上固定装配有控制器。2.根据权利要求1所述的一种激光辅助抛光金刚石的装置，其特征在于：所述夹持组件(1)包括固定座(101)，所述固定座(101)的下方设置有固定板(102)，所述第一限位座(106)转动设置于固定板(102)的中部，所述固定板(102)与固定座(101)之间固定设置有多个支撑杆(103)，所述固定座(101)的中部通过轴承贯穿设置有活动座(104)，所述支撑架(105)固定设置在活动座(104)的下表面，且驱动电机(109)固定设置于固定板(102)的下表面。3.根据权利要求2所述的一种激光辅助抛光金刚石的装置，其特征在于：所述固定座(101)的上表面环绕开设有多个条形结构的滑槽(110)，所述滑槽(110)的内部设置有夹块(111)，所述压力传感器固定装配在夹块(111)的相对一侧侧壁上，所述夹块(111)的底端固定设置有支座(112)，所述支座(112)的底端通过销轴活动设置有连接臂(113)，多个所述连接臂(113)之间设置有连接块(114)，所述连接块(114)的外侧壁环绕设置有多个延伸座(115)，且延伸座(115)通过销轴与连接臂(113)的一端活动连接。4.根据权利要求3所述的一种激光辅助抛光金刚石的装置，其特征在于：所述连接块(114)的中部贯穿设置有螺纹槽(116)，所述螺纹槽(116)的内部贯穿设置有调节螺杆(117)，且调节螺杆(117)的底端穿过连接块(114)和第一限位座(106)和蜗轮(107)固定连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：方毅哲，林军，钟应源，
申请(专利权)人：浙江桦茂科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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