三维度接液杯平移清洗结构及方法技术

本发明专利技术属于接液杯清洗技术领域，具体为三维度接液杯平移清洗结构及方法，由于化学药剂长时间沉置在接液杯内，每次工艺过后不及时对接液杯进行清理的话，这些化学药剂和去除的杂质则会堆积并粘附在杯体内，随着时间的沉淀则会逐渐累积，降低了清洗的效果；包括底板，所述底板上对称安装有电动伸缩柱，电动伸缩柱的输出端上安装有承力块，两个承力块共同连接升动板，升动板上安装有安装板，安装板与升动板之间通过螺栓固定连接设置；所述安装板上固定安装有驱动电机，驱动电机与夹动制紧机构连接设置；通过乱定除清单元使得旋动齿盘旋转，继而带动接液杯旋转，使得L刮板对接液杯的内壁进行刮除操作，用于清理接液杯的内壁所粘附的残渣。渣。渣。

【技术实现步骤摘要】
三维度接液杯平移清洗结构及方法


[0001]本专利技术属于接液杯清洗
，具体为三维度接液杯平移清洗结构及方法。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。而晶圆的制造工艺复杂，拥有很多工序，其中一道工艺为使用化学品的浸泡或者喷洒去除脏污的工艺，主要目的是为了清除晶圆表面附着的污染物。
[0003]而现有去除脏污的工艺一般将圆晶放置到接液杯内，通过长时间的浸泡用以清除晶圆表面所附着的杂质，而由于化学药剂长时间沉置在接液杯内，每次工艺过后不及时对接液杯进行清理的话，这些化学药剂和去除的杂质则会堆积并粘附在杯体内，随着时间的沉淀则会逐渐累积，降低了清洗的效果。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.三维度接液杯平移清洗结构，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）上对称安装有电动伸缩柱（2），电动伸缩柱（2）的输出端上安装有承力块（3），两个承力块（3）共同连接升动板（4），升动板（4）上安装有安装板（5），安装板（5）与升动板（4）之间通过螺栓（6）固定连接设置；所述安装板（5）上固定安装有驱动电机（7），驱动电机（7）与夹动制紧机构连接设置；所述夹动制紧机构包括设置于驱动电机（7）的输出端上安装有菱形块（8），菱形块（8）与驱动齿轮（9）上设有的菱形槽（10）连接设置；所述驱动齿轮（9）啮合连接驱动齿条（11），驱动齿条（11）上对称安装有延长杆（12），一个所述延长杆（12）穿过升动板（4）上固定设有的驱动基座（13）与第一挡板连接设置，另一个所述延长杆（12）穿过驱动基座（13）与双动齿条（14）固定连接设置；所述延长杆（12）上套设有延长弹簧（15），延长弹簧（15）的一端与驱动齿条（11）固定连接设置，另一端与驱动基座（13）固定连接设置；所述双动齿条（14）啮合连接两个双动齿轮（16），双动齿轮（16）上安装有双动转轴（17），双动转轴（17）与联动夹座（18）连接设置，联动夹座（18）与驱动基座（13）之间通过辅动异杆（19）连接设置；所述双动转轴（17）的两端安装有制动夹板（20），制动夹板（20）上固定安装有双边夹具（21），双边夹具（21）上对称安装有双边杆（22），双边杆（22）穿过联动横板（23）与第二挡板连接设置；所述双边杆（22）上套设有双动弹簧（24），双动弹簧（24）的一端与双边夹具（21）固定连接设置，另一端与联动横板（23）固定连接，联动横板（23）上固定安装有联动座（25），联动座（25）与乱定除清单元连接设置。2.根据权利要求1所述的三维度接液杯平移清洗结构，其特征在于：所述乱定除清单元包括设置于联动座（25）上的绳索（26），绳索（26）通过定滑轮（27）与缠线轮（28）连接设置，定滑轮（27）与辅动异杆（19）上固定设有的定力基座（29）传动连接设置；所述缠线轮（28）上安装有缠动转轴（30），缠动转轴（30）与辅动异杆（19）上设有的缠动基座（31）传动连接设置；所述缠动转轴（30）的一端上安装有发条弹簧（32），发条弹簧（32）的端点与缠动基座（31）连接设置，另一端与主动锥齿轮（33）连接设置，主动锥齿轮（33）啮合连接从动锥齿轮（34），从动锥齿轮（34）上安装有从动螺纹轴（35），从动螺纹轴（35）与辅动异杆（19）上固定安装有的从动基座（36）传动连接设置；所述从动螺纹轴（35）上螺纹安装有从动横板（37），从动横板（37）与衔控界定组件连接设置。3.根据权利要求2所述的三维度接液杯平移清洗结构，其特征在于：所述从动横板（37）上对称安装有辅助板（38），辅助板（38）上安装有辅助杆（39），辅助杆（39）穿过从动基座（36）与限位制板（40）连接；所述辅助杆（39）上套设有辅助弹簧（41），辅助弹簧（41）的一端与限位制板（40）固定连接设置，另一端与从动基座（36）固定连接设置；所述从动横板（37）上固定安装有控动夹板（42），控动夹板（42）上安装有控动套筒（43），控动套筒（43）上滑动安装有控动滑杆（44），控动滑杆（44）上设有L刮板（45）；所述控动套筒（43）与控动滑杆（44）之间通过挤压弹簧（46）连接设置。4.根据权利要求2所述的三维度接液杯平移清洗结构，其特征在于：所述衔控界定组件包括设置于从动横板（37）上的主动杆（47），若干主动杆（47）的一端与第三挡板固定连接，另一端与平地板（48）固定连接设置；所述主动杆（47）上套设有主动弹簧（49），主动弹簧（49）的一端与从动横板（37）固定连接设置，另一端与平地板（48）固定连接；平地板（48）的侧面上对称安装有安装盒（50），安装盒（50）内安装有静触片（51），静触片（51）与安装块
（52）上设有的动触片（53）配合连接，两者的连接用于控制全动电机（54）的驱动静止状态，全动电机（54）与控动夹板（42）固定连接设置；所述全动电机（54）与往力击控单元连接设置，安装块（52）与从动横板（37）的侧面固定连接设置。5.根据权利要求4所述的三维度接液杯平移清洗结构，其特征在于：所述往力击控单元包括设置于全动电机（54）输出端上的旋动齿轮（55），旋动齿轮（55）配合连接旋动齿盘（56），旋动齿盘（56）上安装有旋动转块（57），旋动转块（57）与升动块（58）上设有的旋动转槽（59）连接设置；升动块（58）与升动板（4）之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛林才，
申请(专利权)人：光微半导体吉林有限公司，
类型：发明
国别省市：