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本发明属于接液杯清洗技术领域，具体为三维度接液杯平移清洗结构及方法，由于化学药剂长时间沉置在接液杯内，每次工艺过后不及时对接液杯进行清理的话，这些化学药剂和去除的杂质则会堆积并粘附在杯体内，随着时间的沉淀则会逐渐累积，降低了清洗的效果；包括...
该专利属于光微半导体（吉林）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光微半导体（吉林）有限公司授权不得商用。

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