一种电气真空的主轴一体化清洗结构制造技术

本发明专利技术提供一种电气真空的主轴一体化清洗结构，包括壳体和基座，所述基座焊接于壳体的顶部，所述基座的表面设置有用于对主轴的表面进行清洗和冷却的喷洒组件。本发明专利技术在壳体的上方设置了能够进行周期性正反转动的喷洒组件，并且在固定座与固定环之间设置了用于带动清洗喷嘴正反转动的转动组件，通过喷洒组件和转动组件的设置，能够使固定环带动六组清洗喷嘴在主轴的表面不断正反转，使得六组清洗喷嘴能够分别从不同角度对主轴的表面喷洒冷却水和冷却液对其进行冷却和冲洗，提高了对主轴的喷洒面积。喷洒面积。喷洒面积。

【技术实现步骤摘要】
一种电气真空的主轴一体化清洗结构


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体为一种电气真空的主轴一体化清洗结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指半导体材料(如硅、锗等)在制造过程中，经过多次生长、加工、清洗等步骤后形成的薄片状材料，晶圆的表面具有较高的平整度，通常为双面抛光，并且表面要求没有显微缺陷和污染物，晶圆的尺寸通常为直径4英寸、6英寸、8英寸、12英寸等，厚度约为几百微米，晶圆作为半导体芯片制造的基础材料，被广泛应用于电子、物联网、通信、医疗等领域；
[0003]公开号“CN109318121A”提供的一种集成式晶圆抛光主轴，包括壳体、位于壳体内部的转轴、位于转轴两端设置轴承、旋转驱动装置。转轴通过抛光头过渡法兰将转矩传递到抛光头上，旋转驱动装置位于壳体的内部，旋转驱动装置可以传递转矩带动转轴旋转，转轴的内部含输气通道，以输送抛光头内部需要的气体。该装置能够解决现有技术中主轴结构不够紧凑以及转子和法兰一体化设计带来的内部气路通道加工工艺复杂的问题，同时主轴内部设有传输气路，以简化主轴加工工艺，压缩主轴成本；
[0004]但是现有技术中还存在以下缺陷：
[0005]1、在晶圆切割时需要对主轴和切割片通过喷洒冷却水或冷却液的方式对其进行冷却，并且将碎屑冲掉，但是目前喷洒冷却水或冷却液时仅通过水管和喷嘴进行喷洒以及清洗，但是喷嘴的角度无法进行调节，喷洒的面积有限；
[0006]2、在喷洒冷却水或冷却液时对主轴和切割片进行冷却时需要对使用后的冷却水或冷却液进行收集，但是由于冷却水或冷却液中会混杂杂质或碎屑，在收集时缺乏对液体的过滤功能；
[0007]3、在对液体进行过滤时往往通过滤网或滤布进行操作，但是在长时间的过滤后无法对滤网或滤布的表面进行清洁，从而导致碎屑或杂质堆积，影响对冷却水或冷却液的过滤效果。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种电气真空的主轴一体化清洗结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0010]一种电气真空的主轴一体化清洗结构，包括壳体和基座，所述基座焊接于壳体的顶部，所述基座的表面设置有用于对主轴的表面进行清洗和冷却的喷洒组件；
[0011]所述喷洒组件包括固定环，所述固定环的内壁一体成型有折边，所述折边的表面等距设置有六组清洗喷嘴，且六组喷嘴的输出端均指向固定环的圆心部位；
[0012]所述喷洒组件还包括固定座，所述固定座的内部开设有空腔，且空腔的内壁开设有容纳腔，所述固定环卡合并转动连接于容纳腔的内部，所述固定座的表面通过螺钉固定
安装有牵引臂，所述基座的顶部开设有容纳槽，所述牵引臂的一端设置于容纳槽的内部；
[0013]所述固定座与固定环之间设置有用于带动清洗喷嘴正反转动的转动组件；
[0014]所述转动组件包括齿条，所述固定环的外壁一体成型有与齿条相啮合的轮齿，所述齿条设置于空腔的内部，且齿条的两端通过固定座表面的凹槽可向外界延伸；
[0015]所述转动组件还包括两组第一固定板，两组所述第一固定板之间通过限位杆滑动连接有牵引座，所述牵引座的一端一体成型有牵引块，所述牵引块的底部设置有两组对称的牵引轨道，所述空腔的内部设置有第一电机，所述电机的输出端延伸至固定座的表面并连接有凸轮，所述牵引座的另一端通过连接臂与齿条相连，且固定座的表面开设有移动通道，所述连接臂滑动连接于移动通道的内部；
[0016]两组所述第一电机的输出轴分别带动两组所述凸轮交错转动，两组所述凸轮转动时通过分别通过两组所述牵引轨道带动所述牵引座在所述限位杆的表面往复移动，所述牵引座通过所述连接臂带动所述齿条在所述空腔和所述凹槽的内部同步移动，使得所述齿条通过所述轮齿带动所述固定环以及所述固定环内部的所述清洗喷嘴实现周期性正反转动；
[0017]所述牵引臂与基座之间设置有用于带动清洗喷嘴水平移动的水平移动组件，所述壳体的表面设置有用于对杂质和碎屑进行过滤的过滤组件，所述壳体的内部还设置有用于对过滤组件进行清理的敲击组件，且壳体的表面设置有用于对杂质和碎屑进行转移的扫刷组件。
[0018]优选的，所述水平移动组件包括两组第二固定板，两组所述第二固定板之间转动设置有通过第二电机进行驱动的螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有驱动臂，所述驱动臂的一端与牵引臂的一端相连；
[0019]所述第二电机带动所述螺纹杆转动，所述螺纹杆转动时使所述驱动臂在其表面直线移动，所述驱动臂移动时带动所述牵引臂在所述容纳槽的内部同步移动，从而使得所述喷洒组件整体进行水平移动。
[0020]优选的，所述过滤组件包括收集仓，所述壳体的内部开设有用于对冷却水或冷却液进行存放的收集仓，所述收集仓的表面嵌装有用于对杂质和碎屑进行拦截的过滤网，所述壳体的表面开设有将收集仓与外界相连通的排水管。
[0021]优选的，所述敲击组件包括螺纹杆，所述螺纹杆的一端贯穿其中一组第二固定板并连接有驱动杆，所述驱动杆的一端设置有第二锥形齿轮；
[0022]所述敲击组件还包括转轴，所述转轴的一端转动设置于收集仓的内壁，且转轴的另一端延伸至外界，所述转轴设置于外界的一端安装有与第二锥形齿轮相啮合的第一锥形齿轮，所述转轴的表面固定有转动座，所述转动座的表面一体成型有敲击凸起；
[0023]所述螺纹杆转动时通过所述驱动杆、第一锥形齿轮和第二锥形齿轮带动所述转轴转动，所述转轴转动时通过转动座带动敲击凸起同步转动，进而使得所述敲击凸起转动时对过滤网进行敲打。
[0024]优选的，所述扫刷组件包括与驱动臂以可拆卸的方式相连接的清扫臂，所述基座的表面开设有滑槽，所述清扫臂贯穿并活动连接于滑槽的内部，所述清扫臂的底部设置有毛刷，所述毛刷与过滤网相接触，所述壳体的表面开设有与外界相连通的废料槽；
[0025]所述驱动臂在移动时通过所述清扫臂带动所述毛刷同步移动，所述毛刷移动时将所述过滤网网眼中以及所述过滤网表面的杂质和灰尘扫至废料槽内。
[0026]优选的，所述容纳槽的底部开设有导向槽，所述牵引臂的底部开设有用于容纳滚轮的缺口，所述滚轮转动连接于缺口的内壁，且滚轮的底部陷入导向槽内，所述容纳槽的内壁设置有两组固定杆，所述牵引臂活动连接于两组固定杆的表面。
[0027]优选的，所述空腔的内壁固定设置有两组限位块，所述齿条的表面开设有与限位块相匹配的限位槽，所述齿条通过限位槽活动连接于两组限位块的表面。
[0028]优选的，所述清扫臂的端面开设有螺纹孔，所述驱动臂的表面设置有连接于螺纹孔内部的锁定螺栓。
[0029]优选的，所述清扫臂的端面与驱动臂的表面均开设有定位槽，且清扫臂的端面与驱动臂的表面均一体成型有定位凸起。
[0030]优选的，所述清扫臂的底部一体成型有T型连接部，所述毛刷的顶部开设有与T型连接部相匹配的连接槽，所述T型连接部卡合于连接槽的内部。
[0031]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电气真空的主轴一体化清洗结构，包括壳体(1)和基座(24)，其特征在于：所述基座(24)焊接于壳体(1)的顶部，所述基座(24)的表面设置有用于对主轴的表面进行清洗和冷却的喷洒组件(10)；所述喷洒组件(10)包括固定环(14)，所述固定环(14)的内壁一体成型有折边(15)，所述折边(15)的表面等距设置有六组清洗喷嘴(17)，且六组喷嘴的输出端均指向固定环(14)的圆心部位；所述喷洒组件(10)还包括固定座(26)，所述固定座(26)的内部开设有空腔(23)，且空腔(23)的内壁开设有容纳腔(25)，所述固定环(14)卡合并转动连接于容纳腔(25)的内部，所述固定座(26)的表面通过螺钉固定安装有牵引臂(22)，所述基座(24)的顶部开设有容纳槽(4)，所述牵引臂(22)的一端设置于容纳槽(4)的内部；所述固定座(26)与固定环(14)之间设置有用于带动清洗喷嘴(17)正反转动的转动组件(9)；所述转动组件(9)包括齿条(27)，所述固定环(14)的外壁一体成型有与齿条(27)相啮合的轮齿(16)，所述齿条(27)设置于空腔(23)的内部，且齿条(27)的两端通过固定座(26)表面的凹槽(36)可向外界延伸；所述转动组件(9)还包括两组第一固定板(29)，两组所述第一固定板(29)之间通过限位杆(30)滑动连接有牵引座(31)，所述牵引座(31)的一端一体成型有牵引块(38)，所述牵引块(38)的底部设置有两组对称的牵引轨道(39)，所述空腔(23)的内部设置有第一电机(21)，所述电机的输出端延伸至固定座(26)的表面并连接有凸轮(37)，所述牵引座(31)的另一端通过连接臂(33)与齿条(27)相连，且固定座(26)的表面开设有移动通道(32)，所述连接臂(33)滑动连接于移动通道(32)的内部；两组所述第一电机(21)的输出轴分别带动两组所述凸轮(37)交错转动，两组所述凸轮(37)转动时通过分别通过两组所述牵引轨道(39)带动所述牵引座(31)在所述限位杆(30)的表面往复移动，所述牵引座(31)通过所述连接臂(33)带动所述齿条(27)在所述空腔(23)和所述凹槽(36)的内部同步移动，使得所述齿条(27)通过所述轮齿(16)带动所述固定环(14)以及所述固定环(14)内部的所述清洗喷嘴(17)实现周期性正反转动；所述牵引臂(22)与基座(24)之间设置有用于带动清洗喷嘴(17)水平移动的水平移动组件(7)，所述壳体(1)的表面设置有用于对杂质和碎屑进行过滤的过滤组件，所述壳体(1)的内部还设置有用于对过滤组件进行清理的敲击组件，且壳体(1)的表面设置有用于对杂质和碎屑进行转移的扫刷组件。2.根据权利要求1所述的一种电气真空的主轴一体化清洗结构，其特征在于：所述水平移动组件(7)包括两组第二固定板(53)，两组所述第二固定板(53)之间转动设置有通过第二电机(28)进行驱动的螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的表面螺纹连接有驱动臂(20)，所述驱动臂(20)的一端与牵引臂(22)的一端相连；所述第二电机(28)带动所述螺纹杆(19)转动，所述螺纹杆(19)转动时使所述驱动臂(20)在其表面直线移动，所述驱动臂(20)移动时带动所述牵引臂(22)在所述容纳槽(4)的内部同步移动，从而使得所述喷洒组件(10)整体进行水平移动。3.根据权利要求1所述的一种电气真空的主轴一体化清洗结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛林才，
申请(专利权)人：光微半导体吉林有限公司，
类型：发明
国别省市：