chuck吸盘下方环形气刀装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆制造领域，且公开了chuck吸盘下方环形气刀装置，有效的解决了目前在对气刀通气流量进行调节时，通过更换不同厚度垫片来实现，调节效率较低的问题，包括底座，所述底座的下方设有垫片本体，垫片本体的下方设有气刀盖，底座的内部开设有气室，气室贯穿至底座的底端，气室的外侧等角度开设有进气孔，进气孔贯穿至底座的外侧，气刀盖的内壁上安装有导流板，导流板与底座的底壁形成气道，本发明专利技术，通过第一电磁铁外接电路上串联滑动变阻器，调节第一电磁铁对第一磁块的斥力，带动移动架移动，使得移动架上的齿条带动螺套转动，继而带动螺杆相对螺套移动，调节底座与气刀盖之间距离，从而方便调节气刀通气流量。从而方便调节气刀通气流量。从而方便调节气刀通气流量。

【技术实现步骤摘要】
chuck吸盘下方环形气刀装置


[0001]本专利技术属于晶圆制造领域，具体为chuck吸盘下方环形气刀装置。

技术介绍

[0002]根据授权公告号为“CN216620603U”，专利技术名称为“环形气刀装置”的专利文件，其说明书中记载：一种环形气刀装置，由底座、环形气室、气刀盖、紧固螺栓、导流板、气道、进气孔和垫片组成，环形气室是位于底座上的环形槽，气刀盖通过紧固螺栓固定在底座上，垫片夹在气刀盖和底座之间，导流板位于气刀盖中心的内圆部分，气道是底座和气刀盖之间的缝隙，气道的一端连接环形气室，另一端连接到导流板的边缘，导流气刀通气流量板位于气道的出口位置，进气孔在底座径向按照度角分布，每个进气孔均与环形气室连通。气道与底座轴线形成40～60度范围的夹角，气道的出口侧有导流板，导流板位于气刀盖内圆部分，垫片的厚度可调；但仍存在以下缺陷：
[0003]在对气刀通气流量进行调节时，需要将紧固螺栓拧下后，对垫片进行更换，通过改变垫片的厚度，从而对底座与气刀盖之间间隙进行调节，从而对气刀通气流量进行调节，而对垫片厚度进行改变时，调节操作速度较慢，调节效率较低。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供chuck吸盘下方环形气刀装置，有效的解决了目前在对气刀通气流量进行调节时，通过更换不同厚度垫片来实现，调节效率较低的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：chuck吸盘下方环形气刀装置，包括底座，所述底座的下方设有垫片本体，垫片本体的下方设有气刀盖，底座的内部开设有气室，气室贯穿至底座的底端，气室的外侧等角度开设有进气孔，进气孔贯穿至底座的外侧，气刀盖的内壁上安装有导流板，导流板与底座的底壁形成气道，底座与气刀盖之间等角度安装有气道流通调节组件；
[0006]气道流通调节组件包括等角度安装于底座外侧的上固定块，上固定块的一端安装有端部杆，端部杆的内部开设有内槽，内槽贯穿至端部杆的底端，气刀盖的外侧等角度安装有下固定块，下固定块位于上固定块的下方，下固定块的顶端安装有插杆，插杆插入到内槽的内部。
[0007]优选的，所述端部杆的顶端开设有转槽，转槽贯穿至内槽的内部，转槽的内部转动连接有转块，转块的底端安装有螺套，插杆的顶端安装有螺杆，螺杆与螺套螺纹连接，转块的顶端安装有齿轮。
[0008]优选的，所述上固定块的顶端开设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，滑块的一侧安装有第二弹簧，第二弹簧的一端与滑槽的内壁一侧固定连接，滑块远离第二弹簧的一侧安装有第一磁块，第一磁块远离第二弹簧的一侧设有第一电磁铁，第一电磁铁固定安装于滑槽的内壁上，第一电磁铁与第一磁块磁性连接，滑块的顶端安装有移动架，移动架的一
侧内壁上安装有齿条，齿条与齿轮相啮合，上固定块上安装有气道稳定调节组件。
[0009]优选的，所述垫片本体包括设于底座与气刀盖之间的上环板，上环板的下方设有下环板，上环板的底端开设有底槽，下环板的顶端安装有外侧密封环，外侧密封环的外壁与上环板的内壁外侧紧贴，下环板的顶端安装有内侧密封环，内侧密封环的内壁与上环板的内壁内侧紧贴，底槽的内顶壁上等角度安装有第一弹簧，第一弹簧的底端与下环板的顶壁固定连接。
[0010]优选的，所述上环板的顶端安装有上垫圈，上垫圈与底座的底壁紧贴，下环板的底端安装有下垫圈，下垫圈的底壁与气刀盖的顶壁紧贴。
[0011]优选的，所述气道稳定调节组件包括对称开设于内槽两侧的导向槽，插杆上对称开设有活动槽，活动槽的内部活动安装有导向块，导向块位于导向槽的内部，导向块靠近活动槽内部的一侧对称安装有第三弹簧，第三弹簧的一端与活动槽的内壁固定连接，活动槽的内顶壁和内底壁上对称开设有限位槽，导向块的顶端和底端对称安装有限位块，限位块与限位槽滑动连接，活动槽上安装有插杆固定单元，移动架的两侧对称安装有移动架固定单元。
[0012]优选的，所述移动架固定单元包括对称设于移动架两侧的固定板，固定板固定安装于上固定块的顶端，固定板上对称开设有杆槽，杆槽的内部活动安装有连杆，连杆靠近移动架的一侧安装有摩擦片，摩擦片与移动架的外壁紧贴，连杆远离摩擦片的一端安装有移动板，移动板靠近固定板的一侧对称安装有第六弹簧，第六弹簧的一端与固定板固定连接，固定板上安装有第二电磁铁，移动板上安装有第二磁块，第二电磁铁外接电源，第二电磁铁与第二磁块磁性连接。
[0013]优选的，所述插杆固定单元包括安装于其中一个导向槽一侧的侧套，侧套的正面开设有通槽，侧套的正面对称安装有固定筒，固定筒的内部活动安装有活动板，活动板远离侧套的一侧安装有连接杆，活动板靠近连接杆的一侧安装有第四弹簧，第四弹簧的一端与固定筒内壁固定连接，连接杆的一端安装有连接板，连接板靠近侧套的一侧等距安装有固定卡杆，固定卡杆通过通槽进入到侧套的内部，固定卡杆的一端开设有端部槽，端部槽的内部活动安装有活动卡杆，活动卡杆靠近端部槽内部的一端安装有第五弹簧，第五弹簧的一端于端部槽的内壁固定连接。
[0014]优选的，靠近所述侧套一侧的导向块上安装有侧板，侧板上开设有多个卡槽，相邻两个卡槽之间的距离自上而下依次增大。
[0015]优选的，其中一个所述移动板的一侧安装有同步杆，同步杆的一端与连接板固定连接。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017](1)、本专利技术通过第一电磁铁外接电路上串联滑动变阻器，调节滑动变阻器阻值，使得第一电磁铁对第一磁块的斥力变化，在磁力作用下带动移动架移动，使得移动架上的齿条带动螺套转动，继而带动螺杆相对螺套移动，调节底座与气刀盖之间距离，从而方便调节气刀通气流量；
[0018](2)、该专利技术通过上环板与下环板之间设有第一弹簧，在底座与气刀盖距离调整后，上垫圈与下垫圈在第一弹簧弹性作用下保持与底座和气刀盖紧贴，从而使得垫片本体能够和底座与气刀盖之间距离相适配，提高气刀的密封效果，且在使用过程中，第一弹簧对
上垫圈和下垫圈起到压紧效果，保证气刀使用过程中的密封效果，避免气刀漏气，使得气刀准确从气道处排出；
[0019](3)、该专利技术通过插杆进入到内槽内部后，插杆中的导向块在第三弹簧作用下进入到导向槽内部，导向块与导向槽滑动连接，从而对限位槽起到导向作用，避免螺杆在扭转力作用下造成气刀盖的偏转，从而提高底座与气刀盖距离调节稳定性，提高通气流量调节效果；
[0020](4)、该专利技术通过在调节气刀通气流量时，第二电磁铁断电，使得摩擦片在连杆作用下朝着远离移动架一侧移动，方便移动架移动，而调节结束后，第二电磁铁通电，对第二磁块产生吸引力，使得摩擦片与移动架外壁之间压紧，在摩擦力作用下对移动架起到固定效果，避免移动架移位，提高底座与气刀盖距离调节稳定性，进一步提高通气流量调节效果；
[0021](5)、该专利技术通过移动板朝着第二电磁铁移动过程中，带动固定卡杆朝着侧板移动，而侧板上相邻两个卡槽之间的距离自上而下依次增大，方便固定卡杆插入到其中一个卡槽中，对插杆进行固定，提高底座与气刀盖距离本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.chuck吸盘下方环形气刀装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的下方设有垫片本体(2)，垫片本体(2)的下方设有气刀盖(3)，底座(1)的内部开设有气室(5)，气室(5)贯穿至底座(1)的底端，气室(5)的外侧等角度开设有进气孔(6)，进气孔(6)贯穿至底座(1)的外侧，气刀盖(3)的内壁上安装有导流板(7)，导流板(7)与底座(1)的底壁形成气道(8)，底座(1)与气刀盖(3)之间等角度安装有气道流通调节组件(4)；气道流通调节组件(4)包括等角度安装于底座(1)外侧的上固定块(401)，上固定块(401)的一端安装有端部杆(402)，端部杆(402)的内部开设有内槽(403)，内槽(403)贯穿至端部杆(402)的底端，气刀盖(3)的外侧等角度安装有下固定块(404)，下固定块(404)位于上固定块(401)的下方，下固定块(404)的顶端安装有插杆(405)，插杆(405)插入到内槽(403)的内部。2.根据权利要求1所述的chuck吸盘下方环形气刀装置，其特征在于：所述端部杆(402)的顶端开设有转槽(407)，转槽(407)贯穿至内槽(403)的内部，转槽(407)的内部转动连接有转块(408)，转块(408)的底端安装有螺套(409)，插杆(405)的顶端安装有螺杆(406)，螺杆(406)与螺套(409)螺纹连接，转块(408)的顶端安装有齿轮(410)。3.根据权利要求2所述的chuck吸盘下方环形气刀装置，其特征在于：所述上固定块(401)的顶端开设有滑槽(411)，滑槽(411)的内部滑动连接有滑块(412)，滑块(412)的一侧安装有第二弹簧(413)，第二弹簧(413)的一端与滑槽(411)的内壁一侧固定连接，滑块(412)远离第二弹簧(413)的一侧安装有第一磁块(414)，第一磁块(414)远离第二弹簧(413)的一侧设有第一电磁铁(415)，第一电磁铁(415)固定安装于滑槽(411)的内壁上，第一电磁铁(415)与第一磁块(414)磁性连接，滑块(412)的顶端安装有移动架(416)，移动架(416)的一侧内壁上安装有齿条(417)，齿条(417)与齿轮(410)相啮合，上固定块(401)上安装有气道稳定调节组件(9)。4.根据权利要求1所述的chuck吸盘下方环形气刀装置，其特征在于：所述垫片本体(2)包括设于底座(1)与气刀盖(3)之间的上环板(201)，上环板(201)的下方设有下环板(202)，上环板(201)的底端开设有底槽(203)，下环板(202)的顶端安装有外侧密封环(204)，外侧密封环(204)的外壁与上环板(201)的内壁外侧紧贴，下环板(202)的顶端安装有内侧密封环(205)，内侧密封环(205)的内壁与上环板(201)的内壁内侧紧贴，底槽(203)的内顶壁上等角度安装有第一弹簧(206)，第一弹簧(206)的底端与下环板(202)的顶壁固定连接。5.根据权利要求4所述的chuck吸盘下方环形气刀装置，其特征在于：所述上环板(201)的顶端安装有上垫圈(207)，上垫圈(207)与底座(1)的底壁紧贴，下环板(202)的底端安装有下垫圈(208)，下垫圈(208)的底壁与气刀盖(3)的顶壁紧贴。6.根据权利要求1所述的chuck吸盘下方环形气刀装置，其特征在于：所述气道稳定调节组件(9)包括对...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛林才，
申请(专利权)人：光微半导体吉林有限公司，
类型：发明
国别省市：