一种石墨加热器制造技术

本实用新型专利技术属于晶体生长技术领域，公开了一种石墨加热器。包括加热板和滑块；多块加热板间隔设置，可上下滑动的所述滑块设置在相邻的两块所述加热板之间。本实用新型专利技术通过滑块上下滑动，从而改变石墨加热器的加热板导电区域长度，进而改变电阻，完成温度梯度的调整。完成温度梯度的调整。完成温度梯度的调整。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨加热器


[0001]本技术属于晶体生长
，涉及一种石墨加热器，具体涉及一种用于晶体生长的石墨加热器。

技术介绍

[0002]石墨加热器是单晶炉的加热装置，石墨加热器采用等静压石墨电热体，具有耐高温、容易加工，价格比钨、钼、钽便宜的优点。
[0003]例如公开号为：CN202889676U的专利，公开了一种石墨加热器，具有圆柱形石墨加热筒体，石墨加热筒体顶部的阳极固定孔，和阴极固定孔；所述加热筒体上开有槽，加热筒体被通槽平均分割成28等份。
[0004]上述技术虽然具有结构简单，设计合理；保温性能稳定，加热性能优良等优点。
[0005]但在制备晶体的过程中，上述技术不能根据需求提供不同温度梯度，只能在制备过程中根据需要更换加热器。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题就在于：针对
技术介绍
中提出的技术问题，提供一种石墨加热器，该石墨加热器结构简单，在制备晶体的过程中，能够根据需要调节温度梯度。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提出的技术方案为：
[0008]一种石墨加热器，包括加热板和滑块；
[0009]多块加热板间隔设置，可上下滑动的所述滑块设置在相邻的两块所述加热板之间。
[0010]优选的，所述滑块的两侧分别设有安装槽，位于所述滑块两侧的所述加热板插入所述安装槽内。
[0011]优选的，所述加热板包括第一片体、第二片体和连接板，水平对应的所述第一片体和所述第二片体之间留有预定距离，所述连接板设置在所述第一片体和所述第二片体的下端。
[0012]优选的，所述滑块设有安装腔，相邻的两块加热板中相邻的第一片体和第二片体插入同一个滑块的安装腔内。
[0013]优选的，所述滑块的外壁设有贯穿槽，所述贯穿槽贯穿所述滑块的上下两端，所述贯穿槽伸入所述安装腔内。
[0014]优选的，还包括固定结构，所述固定结构将所述滑块相对所述加热板固定。
[0015]优选的，多块所述加热板和多块所述滑块围成圆环状。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术通过滑块上下滑动，从而改变石墨加热器的加热板导电区域长度，进
而改变电阻，完成温度梯度的调整。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例三的加热板结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例三的俯视图；
[0020]图3为本技术实施例三的加热板俯视图；
[0021]图4为本技术实施例三的滑块俯视图；
[0022]图5为本技术实施例二的加热板结构示意图；
[0023]图6为本技术实施例二的俯视图；
[0024]图7为本技术实施例二的加热板俯视图；
[0025]图8为本技术实施例二的滑块俯视图。
[0026]图中：1、加热板；11、第一片体；12、第二片体；13、连接板；2、滑块；21、安装槽；22、安装腔；221、贯穿槽；3、固定结构。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例都属与本技术保护的范围。
[0028]为了清晰的描述和理解本专利，除本专利设计的工装外，其它的能够用到的工装结构和设备部分结构在图中也已给出。
[0029]实施例1
[0030]请参考图1
‑
8，本实施例提供一种石墨加热器，包括加热板1和滑块2；
[0031]多块加热板1间隔设置，可上下滑动的滑块2设置在相邻的两块加热板1之间。
[0032]具体地，在实际的晶体生长过程中，滑块2可以在装炉前固定在需要的位置，也可以在晶体生长过程中，通过滑块2上下移动，从而不断的调整温度梯度，直至该温度梯度适合晶体生长。
[0033]需要说明的是用于连接阴极和阳极的引脚固定设置在其中任意两块加热板1的上端（图中未示出）。
[0034]实施例2
[0035]请着重参考图4
‑
8，加热板1为整体的片体，滑块2则设置在两块片体之间，滑块2的两侧分别开设安装槽21，两侧的加热板1卡入相应的安装槽21内。
[0036]在此实施例中，滑块2还用于保证相邻的两块加热板1之间留有预定的间隙。
[0037]显然，石墨加热器采用此结构的加热板1和滑块2，能够制作任意的形状，包括但不限于矩形、环形和多边形。
[0038]实施例3
[0039]与实施例2的不同之处在于，加热板1和滑块2的结构不同。
[0040]请着重参考图1
‑
4，加热板1包括第一片体11、第二片体12和连接板13，水平对应的第一片体11和第二片体12之间留有预定距离，连接板13设置在第一片体11和第二片体12的
下端，三者可采用一体成型的方式制作。
[0041]显然，实施例2中的滑块2也可用于此加热板1。
[0042]需要说明的是，通过在实施例二的加热板1上开设通槽即可制成实施例三中的加热板1，开槽能够增加加热器的长度，形成网状发热环，形成温度梯度，还能够节省材料。
[0043]作为更进一步的方案，滑块2中部开设安装腔22，一侧的加热板1的第一片体11和另一侧的加热板1的第二片体12均插入到同一个滑块2的安装腔22内。
[0044]为了保证相邻滑块2不接触，相邻的加热板1不接触，采用本实施例的加热板1和滑块2限于环形结构，如应用至其他形状的加热器，需要增加相应的限位结构以保证相邻的滑块2、相邻的加热板1不接触，此限位结构可以是限位槽和限位筋，也可以是斜面的相互配合实现限位（将第一片体11、第二片体12和安装腔22设置成相互配合的梯形结构）。
[0045]作为更进一步的方案，滑块2的外壁设置贯穿槽221，贯穿槽221贯穿滑块2的上下两端，且贯穿槽221伸入安装腔22内，通过设置贯穿槽221，一是能够节约材料，降低生产成本，二是便于加工，三是能够获得更好的抗变形能力。
[0046]实施例4
[0047]在实施例3的基础上结合具体数据进行进一步的说明。
[0048]滑块2可以固定在一定位置，也可以通过滑竿调节滑块2的上下位置。
[0049]石墨加热器筒状，内径150mm，总高150mm，石墨加热器间隔位置有可以上下滑动的滑块2。在晶体生长之初，固定滑块2在高度100mm位置。将锑化镓原料装入石墨加热器之中坩埚中进行晶体生长。晶体位错密度，直径5寸。
[0050]石墨加热器筒状，内径200mm，总高150mm，石墨加热器间隔位置有可以上下滑动的石墨滑块2。在晶体生长之初，固定滑块2在高度100mm位置。将锗原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨加热器，其特征在于，包括加热板（1）和滑块（2）；多块加热板（1）间隔设置，可上下滑动的所述滑块（2）设置在相邻的两块所述加热板（1）之间。2.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，所述滑块（2）的两侧分别设有安装槽（21），位于所述滑块（2）两侧的所述加热板（1）插入所述安装槽（21）内。3.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，所述加热板（1）包括第一片体（11）、第二片体（12）和连接板（13），水平对应的所述第一片体（11）和所述第二片体（12）之间留有预定距离，所述连接板（13）设置在所述第一片体（11）和所述第二片体（12）的下端。4.根据权利要求3所述的石墨加热器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：狄聚青，李镇宏，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：