本实用新型专利技术涉及一种精密研磨用的升降调节装置，包括研磨机构、竖向导引机构、升降机构和调节机构，所述调节机构包括驱动部和移动部，所述驱动部与所述移动部连接，所述移动部为由一端到另外一端逐渐降低的楔形体，所述移动部具有导滑斜面，所述升降机构为倒楔形体，所述倒楔形体的底部为斜面，所述导滑斜面的斜率与所述倒楔形体的斜面斜率相同且小于1，所述升降机构可滑动装于所述导滑斜面，所述驱动部的输出由所述移动部转化后提供所述升降机构在所述竖向导引机构的引导下垂直升降的高度。所述调节机构将所述驱动部的输出经过转化后提供所述升降机构的垂直升降高度，使得所提供的升降高度更精密准确，减少损耗，提高生产效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
一种精密研磨用的升降调节装置
[0001]本技术涉及磨针机
，具体涉及一种精密研磨用的升降调节装置。
技术介绍
[0002]随着国内IC产业的蓬勃发展，对周边消耗性零配件的需求也相对提高。测试探针卡(Probe Card)是IC测试领域中极为重要的工装用具。在晶片制造过程中，最后的测试阶段会进行不同电性功能的测试(Wafer Sorting)，以确保产品的功能性，探针卡(Probe Card)即为进行晶片测试时，与晶片作直接接触的一个重要界面。
[0003]探针卡生产加工过程中，探针卡的针径端面必须进行研磨，但是由于针径极小，一次的研磨进给量需要控制很小，否则会发生弯曲、损耗过量等现象，现有磨针机一般通过直接控制升降高度进而控制进给量，这种控制方法的进给量最小值有限，很难满足针径需求的升降高度调节。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，有必要提供一种由楔形体结构转换为垂直升降的精密研磨用的升降调节装置。
[0005]一种精密研磨用的升降调节装置，包括研磨机构、竖向导引机构、升降机构和调节机构，所述调节机构包括驱动部和移动部，所述驱动部与所述移动部连接，所述移动部为由一端到另外一端逐渐降低的楔形体，所述移动部具有导滑斜面，所述升降机构为倒楔形体，所述倒楔形体的底部为斜面，所述导滑斜面的斜率与所述倒楔形体的斜面斜率相同且小于1，所述升降机构可滑动装于所述导滑斜面，所述驱动部的输出由所述移动部转化后提供所述升降机构在所述竖向导引机构的引导下垂直升降的高度。
[0006]优选地，所述楔形体为两块相对平行设置的楔形竖板，所述导滑斜面位于所述楔形竖板的斜面上，所述导滑斜面的斜率等于或小于1/4。
[0007]优选地，所述驱动部包括电机和丝杆，所述电机与所述丝杆的一端连接，所述驱动部设于两块所述楔形竖板之间，所述丝杆穿设有联动块，所述联动块与两块所述楔形竖板连接。
[0008]优选地，所述驱动部的两侧平行设有移动导轨，两块所述楔形竖板底部分别固设有移动滑块，所述移动滑块底面具有第一导轨凹槽，每块所述楔形竖板的移动滑块通过所述第一导轨凹槽套设于一条所述移动导轨，所述电机驱动所述丝杆旋转并通过所述联动块带动所述楔形竖板沿着所述移动导轨水平移动。
[0009]优选地，所述倒楔形体为两块升降楔形板，两块所述升降楔形板的斜面固设有升降滑块，所述升降滑块底面具有第二导轨凹槽，每块所述升降楔形板的升降滑块通过所述第二导轨凹槽套设于一个所述导滑斜面，所述研磨机构设于所述升降楔形板上，所述楔形竖板的移动提供所述升降楔形板并带动所述研磨机构的升降高度精确到
±
1um。
[0010]优选地，所述竖向导引机构包括挡板和滚轮轴承，所述挡板设于靠近所述升降机
构的一侧，所述滚轮轴承夹设于所述升降机构与所述挡板之间，所述升降机构在所述竖向导引机构的引导下垂直升降。
[0011]优选地，所述挡板具有固定销，所述升降机构与所述固定销之间设有牵引弹簧，所述牵引弹簧用于增加负载固定垂直方向。
[0012]优选地，所述研磨机构包括研磨电机、滑台底板、滑台上板和研磨盘，所述滑台底板固装于所述升降机构的上表面，所述滑台底板与所述滑台上板之间嵌设有至少两条平行设置的交叉滚柱导轨，所述交叉滚柱导轨保证所述研磨机构运行的平稳性小于3um。
[0013]优选地，所述交叉滚柱导轨包括至少两层，每层为至少两条所述交叉滚柱导轨并列设置，所述交叉滚柱导轨为一层横一层竖的十字交叉排列设置。
[0014]优选地，所述滑台上板为曲柄滑块机构，所述曲柄滑块机构的曲柄为凸轮，所述凸轮与所述研磨电机连接，所述凸轮可调范围为
±
5~
±
12.5mm，所述研磨盘固定于所述滑台上板的上表面，所述研磨电机驱动所述滑台上板并带动所述研磨盘沿着所述交叉滚柱导轨运动。
[0015]上述精密研磨用的升降调节装置中，设置所述移动部为由一端到另外一端逐渐降低的楔形体，所述升降机构为倒楔形体，所述导滑斜面的斜率与所述倒楔形体的斜面斜率相同且小于1，所述驱动部的输出由所述移动部转化后提供所述升降机构在所述竖向导引机构的引导下垂直升降的高度，所述垂直升降的高度能精确到
±
1um，所述升降机构升降带动所述研磨机构升降，使得所述研磨机构对探针的研磨进给量控制更精准，提高研磨质量。本技术的结构简单，易于实现，成本低廉，便于推广。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例一种精密研磨用的升降调节装置的整体结构示意图。
[0017]图2是本技术实施例一种精密研磨用的升降调节装置的整体结构示意图另一视角。
具体实施方式
[0018]本实施例以一种精密研磨用的升降调节装置为例，以下将结合具体实施例和附图对本技术进行详细说明。
[0019]请参阅图1和图2，示出本技术实施例提供的一种精密研磨用的升降调节装置，包括研磨机构10、竖向导引机构20、升降机构30和调节机构40，所述调节机构40包括驱动部41和移动部42，所述驱动部41与所述移动部42连接，所述移动部42为由一端到另外一端逐渐降低的楔形体，所述移动部42具有导滑斜面421，所述升降机构30为倒楔形体，所述倒楔形体的底部为斜面，所述导滑斜面421的斜率与所述倒楔形体的斜面斜率相同且小于1，所述升降机构30可滑动装于所述导滑斜面421，所述驱动部41的输出由所述移动部42转化后提供所述升降机构30在所述竖向导引机构20的引导下垂直升降的高度。
[0020]具体地，所述楔形体为两块相对平行设置的楔形竖板422，所述导滑斜面421位于所述楔形竖板422的斜面上，所述导滑斜面421的斜率优选为等于或小于1/4，所述驱动部41设于两块所述楔形竖板422之间，所述驱动部41包括电机411和丝杆412，所述电机411与所述丝杆412的一端无联轴器直接连接以便提高驱动精度，所述丝杆412穿设有联动块413，所
述联动块413与两块所述楔形竖板422连接。
[0021]进一步地，所述驱动部41底部设有电机底板，所述电机411安装于所述电机底板上，所述驱动部41的两侧平行设有移动导轨43，两块所述楔形竖板422底部分别固设有移动滑块423，所述移动滑块423底面具有第一导轨凹槽，每块所述楔形竖板422的移动滑块423通过所述第一导轨凹槽套设于一条所述移动导轨43，所述电机411驱动所述丝杆412旋转并通过所述联动块413带动所述楔形竖板422沿着所述移动导轨43水平移动。
[0022]进一步地，所述移动导轨43一侧设有传感器支架50，所述传感器支架50具有安装槽，所述安装槽上设有传感扫片51，所述传感扫片51用于感测所述楔形竖板422的运动。
[0023]具体地，所述倒楔形体为两块升降楔形板31，两块所述升降楔形板31的斜面固设有升降滑块32，所述升降滑块32底面具有第二导轨凹槽，每块所述升降楔形板31的升降滑块32通过所述第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种精密研磨用的升降调节装置，其特征在于，包括研磨机构、竖向导引机构、升降机构和调节机构，所述调节机构包括驱动部和移动部，所述驱动部与所述移动部连接，所述移动部为由一端到另外一端逐渐降低的楔形体，所述移动部具有导滑斜面，所述升降机构为倒楔形体，所述倒楔形体的底部为斜面，所述导滑斜面的斜率与所述倒楔形体的斜面斜率相同且小于1，所述升降机构可滑动装于所述导滑斜面，所述驱动部的输出由所述移动部转化后提供所述升降机构在所述竖向导引机构的引导下垂直升降的高度。2.如权利要求1所述的一种精密研磨用的升降调节装置，其特征在于，所述楔形体为两块相对平行设置的楔形竖板，所述导滑斜面位于所述楔形竖板的斜面上，所述导滑斜面的斜率等于或小于1/4。3.如权利要求2所述的一种精密研磨用的升降调节装置，其特征在于，所述驱动部包括电机和丝杆，所述电机与所述丝杆的一端连接，所述驱动部设于两块所述楔形竖板之间，所述丝杆穿设有联动块，所述联动块与两块所述楔形竖板连接。4.如权利要求3所述的一种精密研磨用的升降调节装置，其特征在于，所述驱动部的两侧平行设有移动导轨，两块所述楔形竖板底部分别固设有移动滑块，所述移动滑块底面具有第一导轨凹槽，每块所述楔形竖板的移动滑块通过所述第一导轨凹槽套设于一条所述移动导轨，所述电机驱动所述丝杆旋转并通过所述联动块带动所述楔形竖板沿着所述移动导轨水平移动。5.如权利要求4所述的一种精密研磨用的升降调节装置，其特征在于，所述倒楔形体为两块升降楔形板，两块所述升降楔形板的斜面固设有升降滑块，所述升降滑块底面具有第二导轨凹槽，每块所述升降楔形板的升降滑块通过所述第二导轨凹槽套设于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张威，刘志广，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。