一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及匀胶技术领域，特别涉及一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动；本实用新型专利技术能实现晶圆匀胶中心的快速对中，提高操作效率，避免人工对中产生较大偏差、造成晶圆表面新缺陷。造成晶圆表面新缺陷。造成晶圆表面新缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机


[0001]本技术涉及匀胶
，特别涉及一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机。

技术介绍

[0002]匀胶机是通过高速旋转，使胶液均匀涂覆在基片上的设备，直接影响着胶层的厚度和均匀性。使用时，需要将晶圆中心与匀胶机的匀胶中心对准，否则，在匀胶电机高速旋转时，可能导致晶圆被甩出，或者晶圆表面的胶层分布不均匀。当前的匀胶对中操作存在的主要不足有：
[0003](一)大多依靠操作人员进行手动对中。这种操作方式过于依赖操作人员的操作经验和肉眼检查能力，不能保证晶圆和匀胶中心对准的准确度和操作效率。在手动对中期间，多次移动晶圆以寻找中心位置，有可能对晶圆表面造成划痕等缺陷。
[0004](二)人工上片和对中时，可能给晶圆表面引入新的缺陷，但无法进行检验。对于操作人员而言，上片和对中的过程中，有可能因操作不当或者身上带有粉尘颗粒，导致晶圆表面新增划痕、颗粒等缺陷。而晶圆本身，也可能在等待上片的过程中，因环境净化度不好或人员走动等原因，沾染灰尘颗粒等表面污染物，从而造成匀胶、曝光、显影后出现脏点、通孔等表面缺陷的现象。目前的多数匀胶方式，无法在匀胶前对晶圆表面进行再次检验，许多表面被污染或破坏的晶圆，不能被及时筛查出来，产生了很多材料成本和人工成本的浪费。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，以解决现有技术中存在的问题。为了实现上述目的，本技术通过如下的技术方案来解决：
[0006]本技术提供了一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括：
[0007]匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；
[0008]晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动。
[0009]作为进一步的技术方案，所述支撑环安装有若干支架，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的强光灯。
[0010]作为进一步的技术方案，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的氮气喷枪。
[0011]作为进一步的技术方案，在所述支撑环安装所述晶圆卡具左右两端位置处设有第一限位凸起。
[0012]作为进一步的技术方案，所述晶圆卡具设有套筒与所述直段旋转配合，所述套筒母线开设用于装配的豁口，所述套筒通过撑开所述豁口卡进所述直段。
[0013]作为进一步的技术方案，所述豁口朝向所述支撑环外侧。
[0014]作为进一步的技术方案，所述支撑环在所述豁口处设有第二限位凸起，所述弧形托板处于水平状态时，所述第二限位凸起恰好限位所述豁口上侧。
[0015]作为进一步的技术方案，所述套筒与所述弧形托板之间设有延伸部。
[0016]作为进一步的技术方案，所述卡具调节环连接在各所述晶圆卡具的所述套筒上。
[0017]作为进一步的技术方案，所述卡具调节环配置有手柄。
[0018]上述本技术的有益效果如下：
[0019]本技术能实现晶圆匀胶中心的快速对中，提高操作效率，避免人工对中产生较大偏差、造成晶圆表面新缺陷；减少后续的材料成本和人工成本浪费，实现匀胶前对晶圆表面的再次检验，及时截断问题晶圆的流转；提高加工良率，通过及时处理晶圆表面污染物，提升晶圆的使用效率和加工合格率。
附图说明
[0020]构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的限定。还应当理解，这些附图是为了简化和清楚而示出的，并且不一定按比例绘制。现在将通过使用附图以附加的特征和细节来描述和解释本技术，其中：
[0021]图1示出了本技术实施例中对中装置整体结构示意图；
[0022]图2示出了本技术实施例中对中机构示意图；
[0023]图3示出了本技术实施例中晶圆卡具结构示意图；
[0024]图4示出了本技术实施例中晶圆卡具与卡具调节环的连接方式示意图；
[0025]图5示出了本技术实施例中卡具调节环在拆卸时的开口状态示意图。
[0026]图中：1
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1、匀胶槽；1
‑
2、晶圆放置台；1
‑
3、匀胶电机；1
‑
4、伸缩杆；2
‑
1、固定杆；2
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2、晶圆卡具；2
‑
3、支撑环；2
‑
4、第一限位凸起；2
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5、第二限位凸起；3、卡具调节环；3
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1、手柄；3
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2、环扣；4、支架；4
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1、外壳；4
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2、角度调节旋钮；5、强光灯；6、氮气喷枪；6
‑
1、气枪喷头；6
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2、过滤器；6
‑
3、气体通路。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术典型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]如图1
‑
图5所示，本实施例提供了一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括匀胶机本体、晶圆对中机构、卡具调节环3、支架4、强光灯5、氮气喷枪6。
[0029]如图1所示，匀胶机本体，设有匀胶槽1
‑
1以及设于其中可升降的晶圆放置台1
‑
2；具体的，匀胶机本体的内部开设有匀胶槽1
‑
1，匀胶槽1
‑
1中央位置装有晶圆放置台1
‑
2，晶圆放置台1
‑
2下方与匀胶电机1
‑
3的输出端相连，并固定安装于伸缩杆1
‑
4的伸缩端上。晶圆放置台1
‑
2与晶圆对中机构的中心对准。
[0030]如图1和图2所示，晶圆对中机构通过固定杆2
‑
1固定于匀胶机本体上方，包括晶圆卡具2
‑
2、支撑环2
‑
3、第一限位凸起2
‑
4、第二限位凸起2
‑
5。支撑环2
‑
3间隔设置若干直段，本实施例为三段。支撑环2
‑
3位于晶圆放置台1
‑
2中心正上方，各直段旋转配合有晶圆卡具2
‑
2，晶圆卡具2
‑
2均设有与晶圆适配的弧形托板，弧形托板向支撑环2
‑
3内侧延伸，晶圆卡
具2
‑
2均外接卡具调节环3，通过掰动卡具调节环3使晶圆卡具2
‑
2向外侧转动。
[0031]晶圆卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，包括：匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动。2.如权利要求1所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述支撑环安装有若干支架，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的强光灯。3.如权利要求2所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，所述支架上配置有高于和低于所述弧形托板托举表面的氮气喷枪。4.如权利要求1所述的一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，其特征在于，在所述支撑环安装所述晶圆卡具左右两端位置处设有第一限位凸起。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：许琪伟，吕学良，冯季村，褚淼，刘蕊，李开宇，杨金慧，周东站，
申请(专利权)人：中建材光子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：