旋涂模块重心调节系统技术方案

本实用新型专利技术属于半导体制造技术领域，特别涉及一种旋涂模块重心调节系统。该旋涂模块重心调节系统包括旋转模块、配重螺钉及配重块，其中配重块设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉设置于配重块上，用于平衡晶圆的重心偏移。旋转模块包括承片台、旋转轴及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴的下端连接，旋转轴的上端与承片台连接；配重块设置于驱动电机的输出轴、旋转轴或承片台上。本实用新型专利技术通过增加配重块的方式，通过与重心偏移的反方向位置增加配重螺钉，即可对动平衡进行调节，调节方便，满足动平衡需求。衡需求。衡需求。

【技术实现步骤摘要】
旋涂模块重心调节系统


[0001]本技术属于半导体制造
，特别涉及一种旋涂模块重心调节系统。

技术介绍

[0002]在半导体的研究领域中，由于晶圆的制造工序影响，晶圆会存在平槽和V槽等缺口，使晶圆的重心偏移方向和缺口方向相对。由于晶圆存在缺口导致晶圆重心不与圆心重合，在做旋涂工艺时无法维持动平衡，导致晶圆出现震动现象，进而影响成膜均匀性，并可能会发生晶圆滑片、飞片、碎片等问题。因此，急需一种旋涂模块重心调节系统。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术的目的在于提供一种旋涂模块重心调节系统，以解决因晶圆圆心与重心不重合，导致动平衡受到影响的问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术提供一种旋涂模块重心调节系统，包括旋转模块、配重螺钉及配重块，其中配重块设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉设置于配重块上，用于平衡晶圆的重心偏移。
[0006]在一种可能实现的方式中，所述旋转模块包括承片台、旋转轴及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋涂模块重心调节系统，其特征在于，包括旋转模块、配重螺钉(3)及配重块(4)，其中配重块(4)设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉(3)设置于配重块(4)上，用于平衡晶圆的重心偏移。2.根据权利要求1所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述旋转模块包括承片台(1)、旋转轴(5)及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴(5)的下端连接，旋转轴(5)的上端与承片台(1)连接；所述配重块(4)设置于驱动电机的输出轴、旋转轴(5)或承片台(1)上。3.根据权利要求2所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述配重块(4)为圆环形结构，且圆心位于所述旋转模块的旋转轴线上。4.根据权利要求3所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述配重块(4)套设于旋转轴(5)上，且通过顶丝(2)与所述旋转轴(5)固定连接。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：隋天译，符平平，张逢洋，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：