旋涂模块重心调节系统技术方案

本实用新型专利技术属于半导体制造技术领域，特别涉及一种旋涂模块重心调节系统。该旋涂模块重心调节系统包括旋转模块、配重螺钉及配重块，其中配重块设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉设置于配重块上，用于平衡晶圆的重心偏移。旋转模块包括承片台、旋转轴及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴的下端连接，旋转轴的上端与承片台连接；配重块设置于驱动电机的输出轴、旋转轴或承片台上。本实用新型专利技术通过增加配重块的方式，通过与重心偏移的反方向位置增加配重螺钉，即可对动平衡进行调节，调节方便，满足动平衡需求。衡需求。衡需求。

【技术实现步骤摘要】
旋涂模块重心调节系统


[0001]本技术属于半导体制造
，特别涉及一种旋涂模块重心调节系统。

技术介绍

[0002]在半导体的研究领域中，由于晶圆的制造工序影响，晶圆会存在平槽和V槽等缺口，使晶圆的重心偏移方向和缺口方向相对。由于晶圆存在缺口导致晶圆重心不与圆心重合，在做旋涂工艺时无法维持动平衡，导致晶圆出现震动现象，进而影响成膜均匀性，并可能会发生晶圆滑片、飞片、碎片等问题。因此，急需一种旋涂模块重心调节系统。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术的目的在于提供一种旋涂模块重心调节系统，以解决因晶圆圆心与重心不重合，导致动平衡受到影响的问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术提供一种旋涂模块重心调节系统，包括旋转模块、配重螺钉及配重块，其中配重块设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉设置于配重块上，用于平衡晶圆的重心偏移。
[0006]在一种可能实现的方式中，所述旋转模块包括承片台、旋转轴及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴的下端连接，旋转轴的上端与承片台连接；所述配重块设置于驱动电机的输出轴、旋转轴或承片台上。
[0007]在一种可能实现的方式中，所述配重块为圆环形结构，且圆心位于所述旋转模块的旋转轴线上。
[0008]在一种可能实现的方式中，所述配重块套设于旋转轴的上部，且通过顶丝与所述旋转轴固定连接。
[0009]在一种可能实现的方式中，所述配重块的外圆周上沿切线方向设有四个平面，四个平面位于一正方形的四个边上，各平面上沿径向均设有螺纹孔，四个螺纹孔分别与一所述配重螺钉和三个所述顶丝连接。
[0010]在一种可能实现的方式中，各所述平面上的螺纹孔的轴线均经过所述配重块的中心。
[0011]在一种可能实现的方式中，所述配重块的下端面设有环形槽。
[0012]在一种可能实现的方式中，所述配重螺钉的质量大于所述顶丝的质量。
[0013]在一种可能实现的方式中，所述配重块的外圆周直径小于所述承片台的直径。
[0014]本技术的优点及有益效果是：
[0015]1.本技术不需要更改承片台的结构，通过增加配重块的方式，通过与重心偏移的反方向位置增加配重螺钉，即可对动平衡进行调节，调节方便；
[0016]2.本技术应用范围广，有且不限于针对晶圆的配重调节，凡是有重心偏移的因素皆可使用；
[0017]3.本技术的配重块具有一定的防液体流进电机的功能。
[0018]本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0019]下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0020]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0021]图1为本技术一种旋涂模块重心调节系统的轴测图；
[0022]图2为本技术一种旋涂模块重心调节系统的剖视图；
[0023]图3为本技术中配重块的结构示意图；
[0024]图中：1
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承片台，2
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顶丝，3
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配重螺钉，4
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配重块，5
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旋转轴，401
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平面，402
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螺纹孔，403
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环形槽。
具体实施方式
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0029]参见图1
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2所示，本技术提供的一种旋涂模块重心调节系统，包括旋转模块、配重螺钉3及配重块4，其中配重块4设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，配重螺钉3设置于配重块4上，用于平衡晶圆的重心偏移。通过与重心偏移的反方向位置增加配重螺钉3，即可对动平衡进行调节，调节方便。
[0030]参见图1
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2所示，本技术的实施例中，旋转模块包括承片台1、旋转轴5及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴5的下端连接，旋转轴5的上端与承片台1连接，配重块4设置于驱动电机的输出轴、旋转轴5或承片台1上(图中未示出驱动电机)，以便对晶圆的
重心偏移进行平衡。
[0031]优选地，配重块4为圆环形结构，且圆心位于旋转模块的旋转轴线上，以提高旋转模块的旋转稳定性。
[0032]参见图2所示，本技术的实施例中，配重块4套设于旋转轴5的上部，配重块4通过顶丝2与旋转轴5固定连接，通过顶丝2拆除和安装配重块4比较方便快捷，提高工作效率。
[0033]进一步地，参见图3所示，配重块4的外圆周上沿切线方向设有四个平面401，四个平面401位于一正方形的四个边上，也就是说，四个平面401两两相互平行，相邻两个平面401相互垂直。各平面401上沿径向均设有螺纹孔402，四个螺纹孔402分别与一配重螺钉3和三个顶丝2连接，可以通过调节配种螺钉3的方向来调节晶圆的重心。
[0034]具体地，各平面401上的螺纹孔402的轴线均经过配重块4的中心，以提高配重的稳定性。顶丝2容置于螺纹孔402内，且前端顶紧旋转轴5，实现配重块4的固定。配重螺钉3的质量大于顶丝2的质量，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋涂模块重心调节系统，其特征在于，包括旋转模块、配重螺钉(3)及配重块(4)，其中配重块(4)设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉(3)设置于配重块(4)上，用于平衡晶圆的重心偏移。2.根据权利要求1所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述旋转模块包括承片台(1)、旋转轴(5)及驱动电机，其中驱动电机的输出轴与旋转轴(5)的下端连接，旋转轴(5)的上端与承片台(1)连接；所述配重块(4)设置于驱动电机的输出轴、旋转轴(5)或承片台(1)上。3.根据权利要求2所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述配重块(4)为圆环形结构，且圆心位于所述旋转模块的旋转轴线上。4.根据权利要求3所述的旋涂模块重心调节系统，其特征在于，所述配重块(4)套设于旋转轴(5)上，且通过顶丝(2)与所述旋转轴(5)固定连接。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：隋天译，符平平，张逢洋，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：