温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体制造技术领域，特别涉及一种旋涂模块重心调节系统。该旋涂模块重心调节系统包括旋转模块、配重螺钉及配重块，其中配重块设置于旋转模块上，且随旋转模块转动，旋转模块用于承载晶圆，配重螺钉设置于配重块上，用于平衡晶圆的重心偏移。旋...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。