一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆加工制造技术领域，具体讲是一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括清洗箱，所述清洗箱上铰接有安装盖，所述安装盖外表面的中部位置固定连接有安装环，所述清洗箱的旁侧设有翻盖装置，所述翻盖装置包括螺纹杆，所述螺纹杆通过轴承固定连接在所述机架的上方，所述伺服电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接，所述螺纹杆的旁侧设有竖杆，所述螺纹杆上螺纹连接有滑块，所述滑块的一侧滑动连接所述竖杆，本实用新型专利技术通过设置翻盖装置，通过滑块的升降运动与第一电推杆的配合，安装盖能够在滑块的运动中作自动开合运动，通过设置翻转设置，能够避免在清洗中，人工手动翻盖的方式，更加方便。更加方便。更加方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置


[0001]本技术涉及晶圆加工制造
，具体讲是一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，呈圆柱形，半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，在常用的半导体工艺中，例如：沉积、等离子体刻蚀、旋涂光刻胶、光刻、电镀等等，都有可能会在晶圆表面引入污染和颗粒，导致晶圆表面的清洁度下降，使得制造的半导体器件良率低，因此需要对晶圆进行清洗；
[0003]中国专利申请号为CN202123096965.X的技术公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖，所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆，两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件，所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件，所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管，所述横管的右端连通有短管，所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头；
[0004]以上对比文件具有以下问题：
[0005](1)清洗过程中，为了保证避免清洗液到处飞溅，通常设有安装盖，然而手动翻盖的装置，工作人员操作不方便；
[0006](2)在清洗过程时，由于喷洗时产生的冲力使得圆晶在放置平台上容易发生打滑，无法定位，清洗效果普通。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]本技术的技术方案是：一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括机架，所述机架的上方固定安装有清洗箱，所述清洗箱内设有放置装置、清洗装置和清扫装置，所述清洗箱上铰接有安装盖，所述安装盖外表面的中部位置固定连接有安装环，所述清洗箱的旁侧设有翻盖装置，所述翻盖装置包括伺服电机、螺纹杆、竖杆、滑块、第一电推杆和连杆，所述螺纹杆通过轴承固定连接在所述机架的上方，所述伺服电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接，所述螺纹杆的旁侧设有竖杆，所述螺纹杆上螺纹连接有滑块，所述滑块的一侧滑动连接所述竖杆，所述滑块远离竖杆的一端固定连接有第一电推杆，所述第一电推杆上转动连接有连杆，所述连杆与安装环转动连接。
[0009]进一步的，所述放置装置包括第一电机、第二电推杆、放置板和挡板，所述第二电推杆通过轴承固定连接在所述清洗箱内腔底部，所述第一电机的输出端通过轴承与第二电推杆的一端固定连接，所述第二电推杆的上方固定连接有放置板，所述放置板的上方两侧分别滑动连接有挡板，两个所述挡板上均开设有安装通孔。
[0010]进一步的，所述清洗装置包括安装架、储水箱、水泵、第一水管、第二水管和喷头，
所述机架的一侧固定连接有安装架，所述安装架上安装有储水箱，所述储水箱上安装有水泵，所述水泵的入水端与储水箱相连通，所述水泵的出水端连通有第一水管，所述第一水管延伸至清洗箱的内腔转动连接有第二水管，所述第二水管上连通有喷头。
[0011]进一步的，所述清扫装置包括第三电推杆和清扫帚毛刷，所述第三电推杆转动连接在第二水管相对的内壁上，所述第三电推杆上固定连接有毛刷。
[0012]进一步的，所述清洗箱的内腔设有导料板，所述机架的内腔设有储水腔，所述储水腔内卡接有筛板。
[0013]进一步的，所述机架的一侧开设有排料口。
[0014]本技术通过改进在此提供一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0015]其一：本技术通过设置翻盖装置，伺服电机驱动螺纹杆旋转，滑块在竖杆的导向作用下，只能作上下升降运动，通过滑块的升降运动与第一电推杆的配合，安装盖能够在滑块的运动中作自动开合运动，通过设置翻转设置，能够避免在清洗中，人工手动翻盖的方式，更加方便。
[0016]其二：本技术通过设置放置装置，第二电推杆向上驱动放置板至适宜操作的工作高度，根据待清洗圆晶的大小，调整两个挡板之间的间隔，以便针对不同大小的圆晶进行放置，适应性更广，将圆晶放置在挡板上后，通过安装螺栓贯穿安装通孔，对其固定，避免后续圆晶清洗中发生位移，使得圆晶外表面清洗的更加彻底。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术作进一步解释:
[0018]图1为本技术的正面结构示意图；
[0019]图2为本技术的翻盖装置侧面关闭结构示意图；
[0020]图3为本技术的翻盖装置侧面打开结构示意图；
[0021]图4为本技术的放置装置结构示意图。
[0022]附图标记说明：1、机架；2、清洗箱；3、安装盖；4、安装环；5、伺服电机；6、螺纹杆；7、竖杆；8、滑块；9、第一电推杆；10、连杆；11、第一电机；12、第二电推杆；13、放置板；14、挡板；15、安装架；16、储水箱；17、水泵；19、第一水管；20、第二水管；21、喷头；22、第三电推杆；23、毛刷；24、导料板；25、筛板；26、排料口。
具体实施方式
[0023]下面将结合附图1至图4对本技术进行详细说明，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术通过改进在此提供一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，如图1
‑
图4所示，包括机架1，所述机架1的上方固定安装有清洗箱2，所述清洗箱2内设有放置装置、清洗装置和清扫装置，所述清洗箱2上铰接有安装盖3，所述安装盖3外表面的中部位置固定连接有安装环4，所述清洗箱2的旁侧设有翻盖装置，所述翻盖装置包括伺服电机5、螺纹杆6、
竖杆7、滑块8、第一电推杆9和连杆10，所述螺纹杆6通过轴承固定连接在所述机架1的上方，所述伺服电机5的输出端与螺纹杆6的一端固定连接，所述螺纹杆6的旁侧设有竖杆7，所述螺纹杆6上螺纹连接有滑块8，所述滑块8的一侧滑动连接所述竖杆7，所述滑块8远离竖杆7的一端固定连接有第一电推杆9，所述第一电推杆9上转动连接有连杆10，所述连杆10与安装环4转动连接，本装置使用时，伺服电机5驱动螺纹杆6旋转，滑块8在竖杆7的导向作用下，只能作上下升降运动，通过滑块8的升降运动与第一电推杆9的配合，安装盖3能够在滑块8的运动中作自动开合运动，通过设置翻转设置，能够避免在清洗中，人工手动翻盖的方式，更加方便。
[0025]具体的，所述放置装置包括第一电机11、第二电推杆12、放置板13和挡板14，所述第二电推杆12通过轴承固定连接在所述清洗箱2内腔底部，所述第一电机11的输出端通过轴承与第二电推杆12的一端固定连接，所述第二电推杆12的上方固定连接有放置板13，所述放置板13的上方两侧分别滑动连接有挡板14，两个所述挡板14上均开设有安装通孔，第二电推杆12向上驱动放置板13至适宜操作的工作高度，根据待清洗圆晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)的上方固定安装有清洗箱(2)，所述清洗箱(2)内设有放置装置、清洗装置和清扫装置，所述清洗箱(2)上铰接有安装盖(3)，所述安装盖(3)外表面的中部位置固定连接有安装环(4)，所述清洗箱(2)的旁侧设有翻盖装置，所述翻盖装置包括伺服电机(5)、螺纹杆(6)、竖杆(7)、滑块(8)、第一电推杆(9)和连杆(10)，所述螺纹杆(6)通过轴承固定连接在所述机架(1)的上方，所述伺服电机(5)的输出端与螺纹杆(6)的一端固定连接，所述螺纹杆(6)的旁侧设有竖杆(7)，所述螺纹杆(6)上螺纹连接有滑块(8)，所述滑块(8)的一侧滑动连接所述竖杆(7)，所述滑块(8)远离竖杆(7)的一端固定连接有第一电推杆(9)，所述第一电推杆(9)上转动连接有连杆(10)，所述连杆(10)与安装环(4)转动连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，其特征在于：所述放置装置包括第一电机(11)、第二电推杆(12)、放置板(13)和挡板(14)，所述第二电推杆(12)通过轴承固定连接在所述清洗箱(2)内腔底部，所述第一电机(11)的输出端通过轴承与第二电推杆(12)的一端固定连接，所述第二电推杆(12)的上方固定连接有放置板(13)，所述放置板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：林本庆，刘祥华，梁宪珂，
申请(专利权)人：济宁鑫欣超声电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：