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本实用新型涉及晶圆加工制造技术领域，具体讲是一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括清洗箱，所述清洗箱上铰接有安装盖，所述安装盖外表面的中部位置固定连接有安装环，所述清洗箱的旁侧设有翻盖装置，所述翻盖装置包括螺纹杆，所述螺纹杆通过轴承固定连接...
该专利属于济宁鑫欣超声电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济宁鑫欣超声电子设备有限公司授权不得商用。

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