激光加工方法技术

本申请公开了一种激光加工方法，将待加工的片状物料划分为N个子区域，在进行激光加工时，基于获取的载物台的旋转中心坐标，获取载物台旋转后当前待加工第i子区域的中心坐标，以便于振镜根据第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。本申请技术方案可以通过同一振镜依次对同一片状物料的第1子区域至第N子区域进行多次拼接加工，提高了激光加工的效率以及加工精度。率以及加工精度。率以及加工精度。

【技术实现步骤摘要】
激光加工方法


[0001]本申请涉及激光加工
，更具体的说，涉及一种激光加工方法。

技术介绍

[0002]在太阳能电池片的激光加工领域，大部分采用激光加工模组对位于激光加工工位的电池片表面进行激光加工。激光加工模组包括发出激光的激光器及由振镜和场镜配合组成的激光加工组件。随着当前更大尺寸硅片发展趋势，常规的单个振镜和场镜无法完全满足大尺寸硅片、高光斑质量及高精度的要求。虽然可以通过增加场镜的加工幅面来满足要求，但是会在光斑质量和精度上有损失。
[0003]现有技术中，虽然存在在同一加工工位采用多个振镜同时各自加工一个分区，然后再拼接的方法，这种方法的加工速度有所增加，但是采用多个振镜不仅成本高，且不同振镜之间存在差异，导致存在加工误差。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供了一种激光加工方法，方案如下：
[0005]一种激光加工方法，用于对放置在载物台上的片状物料进行激光加工，其中，所述激光加工设备包括所述载物台以及使所述载物台沿着其自身旋转中心进行旋转运动的第一驱动装置；
[0006]所述片状物料划分为N个子区域，N为大于1的正整数，所述N个子区域基于激光加工顺序依次为第1子区域至第N子区域；
[0007]所述激光加工方法包括：
[0008]获取所述载物台的旋转中心坐标；
[0009]根据所述载物台的旋转中心坐标，获取所述载物台自转后当前待加工的第i子区域的中心坐标，i为正整数，且2≤i≤N；
[0010]振镜基于所述第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。
[0011]优选的，在上述激光加工方法中，获取所述旋转中心的方法包括：
[0012]获取标准片或所述载物台的第一组第一图像，所述第一组第一图像包括定位标识的图像，根据所述第一组第一图像获取所述定位标识的第一坐标；
[0013]控制所述载物台自转后，获取标准片或所述载物台的第二组第一图像，所述第二组第一图像包括定位标识的图像，根据所述第二组第一图像获取所述定位标识的第二坐标；
[0014]基于所述定位标识的第一坐标、所述定位标识的第二坐标，计算所述旋转中心坐标。
[0015]优选的，在上述激光加工方法中，获取所述第一图像的方法包括：
[0016]获取放置在所述载物台上标准片的图像，以获取所述第一图像，所述标准片具有所述定位标识；
[0017]或，获取表面具有所述定位标识的载物台的图像，以获取所述第一图像。
[0018]优选的，在上述激光加工方法中，若所述旋转中心坐标发生偏差，还包括：
[0019]获取新的旋转中心坐标；
[0020]基于新的旋转中心坐标，确定当前待加工的第i子区域的中心坐标；
[0021]所述振镜基于第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。
[0022]优选的，在上述激光加工方法中，通过温度传感器监测环境温度或者激光加工设备的温度是否超过预设温差范围以判断所述旋转中心坐标是否发生偏差。
[0023]优选的，在上述激光加工方法中，所述振镜对各个子区域进行激光加工时，基于所述片状物料相对于振镜坐标系的偏转角度以及子区域的中心坐标，对子区域进行激光加工。
[0024]优选的，在上述激光加工方法中，对第1子区域进行激光加工的方法包括：
[0025]获取放置在载物台上所述片状物料的第二图像；
[0026]基于所述第二图像确定所述片状物料的中心坐标；
[0027]基于所述片状物料的中心坐标以及加工图案的尺寸，确定所述第1子区域的中心坐标；
[0028]所述振镜基于第1子区域的中心坐标，对第1子区域进行激光加工。
[0029]优选的，在上述激光加工方法中，获取第i子区域的中心坐标的方法包括：
[0030]基于所述载物台的旋转中心坐标以及加工前获取的放置在载物台上所述片状物料的中心坐标，确定对第i子区域进行激光加工时所述片状物料的中心坐标；
[0031]基于对第i子区域进行激光加工时所述片状物料的中心坐标以及第1子区域的中心坐标，确定第i子区域的中心坐标。
[0032]优选的，在上述激光加工方法中，还包括：
[0033]基于目标加工图案以及所述片状物料的划分方式，对目标加工图案进行分块处理，以获取多个与第1子区域至第N子区域依次对应的子图像；
[0034]其中，所述振镜基于对应的子图像，对各个子区域进行激光加工。
[0035]优选的，在上述激光加工方法中，所述激光加工设备包括：相机拍照位、激光加工位、至少两个所述载物台以及第二驱动装置；其中，所述至少两个载物台与所述第二驱动装置连接，所述第二驱动装置用于使所述至少两个所述载物台在所述相机拍照位与所述激光加工位之间切换；
[0036]在所述相机拍照位获取所述片状物料或载物台的图像，用于确定所述旋转中心或放着在载物台上所述片状物料的中心坐标与所述片状物料相对于所述振镜坐标系的偏转角度，在所述激光加工位通过所述振镜依次对所述片状物料的第1子区域至第N子区域进行激光加工。
[0037]通过上述描述可知，本申请技术方案提供的激光加工方法中，将待加工的片状物料划分为N个子区域，在进行激光加工时，基于获取的载物台的旋转中心坐标，获取载物台旋转后当前待加工第i子区域的中心坐标，以便于振镜根据第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。本申请技术方案可以通过同一振镜在同一激光加工位依次对同一片状物料的第1子区域至第N子区域进行多次拼接加工，提高激光加工的效率以及加工精度。
附图说明
[0038]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0039]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0040]图1为本申请实施例提供的一种激光加工方法的流程示意图；
[0041]图2为本申请实施例提供的一种获取载物台旋转中心方法的流程示意图；
[0042]图3为本申请实施例提供的另一种获取载物台旋转中心方法的流程示意图；
[0043]图4和图5为本申请实施例提供的一种获取载物台旋转中心坐标的原理示意图；
[0044]图6为本申请实施例提供的另一种激光加工方法的流程示意图；
[0045]图7为本申请实施例提供的一种对第1子区域进行激光加工的方法的流程示意图；
[0046]图8为本申请实施例提供的一种获取第i子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光加工方法，其特征在于，用于对放置在载物台上的片状物料进行激光加工，其中，所述激光加工设备包括所述载物台以及使所述载物台沿着其自身旋转中心进行旋转运动的第一驱动装置；所述片状物料划分为N个子区域，N为大于1的正整数，所述N个子区域基于激光加工顺序依次为第1子区域至第N子区域；所述激光加工方法包括：获取所述载物台的旋转中心坐标；根据所述载物台的旋转中心坐标，获取所述载物台自转后当前待加工的第i子区域的中心坐标，i为正整数，且2≤i≤N；振镜基于所述第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，获取所述旋转中心坐标的方法包括：获取标准片或所述载物台的第一组第一图像，所述第一组第一图像包括定位标识的图像，根据所述第一组第一图像获取所述定位标识的第一坐标；控制所述载物台自转后，获取标准片或所述载物台的第二组第一图像，所述第二组第一图像包括定位标识的图像，根据所述第二组第一图像获取所述定位标识的第二坐标；基于所述定位标识的第一坐标、所述定位标识的第二坐标，计算所述旋转中心坐标。3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于，获取所述第一图像的方法包括：获取放置在所述载物台上标准片的图像，以获取所述第一图像，所述标准片具有所述定位标识；或，获取表面具有所述定位标识的载物台的图像，以获取所述第一图像。4.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，若所述旋转中心坐标发生偏差，还包括：获取新的旋转中心坐标；基于新的旋转中心坐标，确定当前待加工的第i子区域的中心坐标；所述振镜基于第i子区域的中心坐标，对第i子区域进行激光加工。5.根据权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，通过温度传感器监测环境温度或者激光加工设备的温度是否超过预设温差范围以判断所述旋转中心坐标是否发生偏差。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫哲，彭岳仑，黄海，徐贵阳，
申请(专利权)人：武汉帝尔激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：