一种真空溅镀防着板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩和防着板，所述真空溅镀机罩的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架和后组装框架，所述后组装框架内的后端设有固定横杆，所述侧组装框架内的上下端分别设有侧排位槽，所述侧排位槽的内部的前端设有侧拆装槽口，且侧拆装槽口的数量不少于两个，所述后组装框架内的上下端分别设有后排位槽。该实用新型专利技术中的防着板属于拼接式安装，第一次安装，需要使用固定螺栓将安装底板固定在设备内部的两侧，使侧组装框架与设备的内壁紧密贴合，且后组装框架是通过固定卡块与固定卡槽连接将其组装固定，不需要使用螺栓或其它繁琐的固定方式，安装更省力。安装更省力。安装更省力。

【技术实现步骤摘要】
一种真空溅镀防着板


[0001]本技术涉及真空溅镀相关领域，具体为一种真空溅镀防着板。

技术介绍

[0002]真空溅镀就是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法，为了避免溅镀材料对内腔进行污染，在真空溅镀的内腔内，会附加一层防着板，主要对内腔进行保护。
[0003]真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀室内空间较大，对于后端的防着板拆卸，更是费力，位置比较难操作，每次对防着板清理或更换都会浪费大量的时间和精力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空溅镀防着板，以解决上述
技术介绍
中提出的真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀室内空间较大，对于后端的防着板拆卸，更是费力，位置比较难操作，每次对防着板清理或更换都会浪费大量的时间和精力的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩和防着板，所述真空溅镀机罩的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架和后组装框架，所述后组装框架内的后端设有固定横杆，所述侧组装框架内的上下端分别设有侧排位槽，所述侧排位槽的内部的前端设有侧拆装槽口，且侧拆装槽口的数量不少于两个，所述后组装框架内的上下端分别设有后排位槽，所述后排位槽的内部的两侧均设有后拆装槽口，且后拆装槽口的数量不少于四个，所述防着板通过拆装滑块连接分别设在侧组装框架和后组装框架的内部，所述防着板的四周设有防着板定型框，所述防着板定型框的后端的四个角的位置处设有定位角板，所述防着板定型框的后端的两侧的中间位置设有卡柱，所述侧组装框架的底部设有安装底板。
[0006]在进一步的实施例中，所述后组装框架与侧组装框架通过固定卡块与固定卡槽镶嵌连接，且侧组装框架与安装底板连接呈L型结构。
[0007]在进一步的实施例中，所述安装底板与真空溅镀机罩通过固定螺栓固定连接，且固定螺栓的数量不少于四个。
[0008]在进一步的实施例中，所述防着板的表面设有凹凸层，且防着板与防着板定型框通过定位角板卡嵌连接。
[0009]在进一步的实施例中，所述侧排位槽的表面位于侧拆装槽口的一侧侧设有第一定位锁杆，所述第一定位锁杆与侧排位槽通过销轴旋转连接，且侧拆装槽口和后拆装槽口均
设为梯形结构。
[0010]在进一步的实施例中，所述后排位槽的表面位于后拆装槽口的一侧设有第二定位锁杆，且第二定位锁杆与后排位槽通过销轴旋转连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该技术中的防着板属于拼接式安装，第一次安装，需要使用固定螺栓将安装底板固定在设备内部的两侧，使侧组装框架与设备的内壁紧密贴合，且后组装框架是通过固定卡块与固定卡槽连接将其组装固定，不需要使用螺栓或其它繁琐的固定方式，安装更省力，而防着板安装只需将拆装滑块镶嵌在侧拆装槽口或后拆装槽口的内部，再将防着板以滑动的方式推入后排位槽或侧排位槽内，同样的方向，将多块防着板拼接在内，再将定位锁杆旋转将拆装槽口进行锁固，使最后一块防着板进行定位，清理时，只需将定位锁杆打开，当拆装滑块与拆装槽口对齐时，可以将防着板拆出，对防着板进行清理或更换，且防着板在清理或更换的过程中，不需要使用任何工具，步骤简单，拆装更加省时省力，更易于操作。
附图说明
[0013]图1为本技术的一种真空溅镀防着板的结构示意图；
[0014]图2为本技术的侧组装框架的结构示意图；
[0015]图3为本技术的侧组装框架的侧视图；
[0016]图4为本技术的A部细节结构示意图；
[0017]图5为本技术的后组装框架的结构示意图；
[0018]图6为本技术的固定横杆的结构示意图；
[0019]图7为本技术的防着板的前视图；
[0020]图8为本技术的防着板定型框的后视图。
[0021]图中：1、真空溅镀机罩；2、防着板；3、后组装框架；4、侧组装框架；5、安装底板；6、固定卡槽；7、侧拆装槽口；8、第一定位锁杆；9、侧排位槽；10、拆装滑块；11、后排位槽；12、后拆装槽口；13、第二定位锁杆；14、固定卡块；15、固定横杆；16、凹凸层；17、固定螺栓；18、防着板定型框；19、定位角板；20、卡柱。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]请参阅图1
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8，本技术提供的一种实施例：一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩1和防着板2，真空溅镀机罩1的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架4和后组装框架3，后组装框架3内的后端设有固定横杆15，侧组装框架4内的上下端分别设有侧排位槽9，侧排位槽9的内部的前端设有侧拆装槽口7，且侧拆装槽口7的数量不少于两个，后组装框架3内的上下端分别设有后排位槽11，后排位槽11的内部的两侧均设有后拆装槽口12，且后拆装槽口12的数量不少于四个，防着板2通过拆装滑块10连接分别设在侧组装框架4和后组装框架3的内部，防着板2的四周设有防着板定型框18，防着板定型框18的后端的四个角的位
置处设有定位角板19，防着板定型框18的后端的两侧的中间位置设有卡柱20，侧组装框架4的底部设有安装底板5。
[0024]通过侧组装框架4和后组装框架3可以将防着板2分别拼接固定在设备的两侧和后端，通过固定横杆15用于增加后组装框架3的牢固性，通过侧排位槽9用于将防着板2整齐拼接在内部，通过后拆装槽口12可以预留防着板2拆卸的位置，通过防着板定型框18用于将防着板2的四个边进行定型，使其更板正，通过定位角板19用于将防着板2的四个角进行定位，便于将防着板2安装固定，通过安装底板5用于将侧组装框架4安装在真空溅镀机罩1的内部。
[0025]进一步，后组装框架3与侧组装框架4通过固定卡块14与固定卡槽6镶嵌连接，且侧组装框架4与安装底板5连接呈L型结构。
[0026]通过固定卡块14与固定卡槽6连接便于将后组装框架3与侧组装框架4组装固定。
[0027]进一步，安装底板5与真空溅镀机罩1通过固定螺栓17固定连接，且固定螺栓17的数量不少于四个。
[0028]通过固定螺栓17用于将安装底板5与真空溅镀机罩1固定。
[0029]进一步，防着板2的表面设有凹凸层16，且防着板2与防着板定型框18通过定位角板19卡嵌连接。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩(1)和防着板(2)，其特征在于：所述真空溅镀机罩(1)的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架(4)和后组装框架(3)，所述后组装框架(3)内的后端设有固定横杆(15)，所述侧组装框架(4)内的上下端分别设有侧排位槽(9)，所述侧排位槽(9)的内部的前端设有侧拆装槽口(7)，且侧拆装槽口(7)的数量不少于两个，所述后组装框架(3)内的上下端分别设有后排位槽(11)，所述后排位槽(11)的内部的两侧均设有后拆装槽口(12)，且后拆装槽口(12)的数量不少于四个，所述防着板(2)通过拆装滑块(10)连接分别设在侧组装框架(4)和后组装框架(3)的内部，所述防着板(2)的四周设有防着板定型框(18)，所述防着板定型框(18)的后端的四个角的位置处设有定位角板(19)，所述防着板定型框(18)的后端的两侧的中间位置设有卡柱(20)，所述侧组装框架(4)的底部设有安装底板(5)。2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板，其特征在于：所述后组装框架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张炎，
申请(专利权)人：苏州佰圣康精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：