一种真空溅镀防着板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩和防着板，所述真空溅镀机罩的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架和后组装框架，所述后组装框架内的后端设有固定横杆，所述侧组装框架内的上下端分别设有侧排位槽，所述侧排位槽的内部的前端设有侧拆装槽口，且侧拆装槽口的数量不少于两个，所述后组装框架内的上下端分别设有后排位槽。该实用新型专利技术中的防着板属于拼接式安装，第一次安装，需要使用固定螺栓将安装底板固定在设备内部的两侧，使侧组装框架与设备的内壁紧密贴合，且后组装框架是通过固定卡块与固定卡槽连接将其组装固定，不需要使用螺栓或其它繁琐的固定方式，安装更省力。安装更省力。安装更省力。

【技术实现步骤摘要】
一种真空溅镀防着板


[0001]本技术涉及真空溅镀相关领域，具体为一种真空溅镀防着板。

技术介绍

[0002]真空溅镀就是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法，为了避免溅镀材料对内腔进行污染，在真空溅镀的内腔内，会附加一层防着板，主要对内腔进行保护。
[0003]真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀室内空间较大，对于后端的防着板拆卸，更是费力，位置比较难操作，每次对防着板清理或更换都会浪费大量的时间和精力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空溅镀防着板，以解决上述
技术介绍
中提出的真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩(1)和防着板(2)，其特征在于：所述真空溅镀机罩(1)的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架(4)和后组装框架(3)，所述后组装框架(3)内的后端设有固定横杆(15)，所述侧组装框架(4)内的上下端分别设有侧排位槽(9)，所述侧排位槽(9)的内部的前端设有侧拆装槽口(7)，且侧拆装槽口(7)的数量不少于两个，所述后组装框架(3)内的上下端分别设有后排位槽(11)，所述后排位槽(11)的内部的两侧均设有后拆装槽口(12)，且后拆装槽口(12)的数量不少于四个，所述防着板(2)通过拆装滑块(10)连接分别设在侧组装框架(4)和后组装框架(3)的内部，所述防着板(2)的四周设有防着板定型框(18)，所述防着板定型框(18)的后端的四个角的位置处设有定位角板(19)，所述防着板定型框(18)的后端的两侧的中间位置设有卡柱(20)，所述侧组装框架(4)的底部设有安装底板(5)。2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板，其特征在于：所述后组装框架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张炎，
申请(专利权)人：苏州佰圣康精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：