一种强积沉型改良防着板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种强积沉型改良防着板，包括外基板，外基板一侧开设有定位槽，定位槽内卡设有防着条，且定位槽和防着条等间距配合设有多组，外基板外侧设有第一防护层，防着条外侧安装有第二防护层，防着条外侧依次开设有第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，定位槽内壁安装有定位凸起，且定位凸起均与第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽卡接配合，本实用新型专利技术通过外基板一侧的定位槽内卡设有防着条，且定位槽和防着板等间距配合设有多组，使得便于对防着条进行拆装定位处理，从而便于对防着条进行调节更换处理，当防着条一面附着严重时，可以更换不同的防着面进行使用，极大延长了防着板的使用寿命。极大延长了防着板的使用寿命。极大延长了防着板的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种强积沉型改良防着板


[0001]本技术涉及防着板
，具体是一种强积沉型改良防着板。

技术介绍

[0002]真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。然而，在上述真空溅镀的过程中，因溅镀过程中，材料源随机方向溅射，为保护腔体内其他结构件避免附着、沉积膜层，需使用防着板将需要保护的表面覆盖，以减少附着沉积，防着板使用一定寿命后，更换新防着板。
[0003]现有技术中申请号为CN201821110822.5的一种真空溅镀用新型防着板，防着板本体包括基板和覆盖板，凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起。该技术提供一种真空溅镀用新型防着板，不需将整个防着板更换，只需更换覆盖板，节省成本；覆盖板表面设有凹槽和凸起，增加防着板的沉淀能力；再者，设置冷却流道，利于覆盖板的散热，避免覆盖板发生形变，免除生产过程中停工更换或清洗防着板的麻烦，提高生产效率，但是，不便于对防着板进行调节更换处理，当防着板一面附着严重时，不能进行更换不同的防着面进行使用，影响防着板的使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种强积沉型改良防着板，以解决现有技术中不便于对防着板进行调节更换处理，当防着板一面附着严重时，不能进行更换不同的防着面进行使用，影响防着板的使用寿命问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种强积沉型改良防着板，包括外基板，所述外基板一侧开设有定位槽，所述定位槽内卡设有防着条，且定位槽和防着条等间距配合设有多组，所述外基板外侧设有第一防护层，所述防着条外侧安装有第二防护层，所述防着条外侧依次开设有第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽。
[0006]进一步的，所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽均设置成弧形槽。
[0007]进一步的，所述定位槽内壁安装有定位凸起，且定位凸起均与第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽卡接配合。
[0008]进一步的，所述定位凸起设置成多个，且定位凸起设置成矩形凸条。
[0009]进一步的，所述防着条的横截面设置成正方形，且防着条一端面与外基板一侧端面平齐。
[0010]进一步的，所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽之间采用的长、宽、高均相同。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过外基板一侧的定位槽内卡设有防着条，且定位槽和防着板等间
距配合设有多组，使得便于对防着条进行拆装定位处理，而且便于对防着条进行调节更换处理，当防着条一面附着严重时，可以更换不同的防着面进行使用，极大延长了防着板的使用寿命。
[0013]2、本技术通过外基板外侧设有第一防护层，防着条外侧安装有第二防护层，且第一防护层和第二防护层均采用耐高温薄膜，使得外基板和防着条外侧具有优良的耐高温性能，有利于提高防着使用的安全性。
[0014]3、本技术通过防着条外侧依次开设有第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，定位槽内壁安装有定位凸起，且定位凸起均与第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽卡接配合，使得防着条卡设在定位槽内的稳定性高，而且拆装方便快捷，同时设有的凹槽增加了防着条外部的防着面，有利于提高防着的效率。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的整体结构主视图；
[0018]图3为本技术的A处结构放大示意图；
[0019]图4为本技术的防着条结构示意图。
[0020]图中：1、外基板；2、第一防护层；3、定位槽；4、防着条；5、第一凹槽；6、定位凸起；7、第二凹槽；8、第三凹槽；9、第四凹槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1，图2，图3，图4，本技术实施例中，一种强积沉型改良防着板，包括外基板1，外基板1一侧开设有定位槽3，定位槽3内卡设有防着条4，且定位槽3和防着条4等间距配合设有多组，使得便于对防着条4进行拆装定位处理，而且便于对防着条4进行调节更换处理，当防着条4一面附着灰尘严重时，可以更换不同的防着面进行防着使用，极大延长了防着板的使用寿命，外基板1外侧设有第一防护层2，防着条4外侧安装有第二防护层，且第一防护层2和第二防护层均采用耐高温薄膜，使得外基板1和防着条4外侧具有优良的耐高温性能，有利于提高防着使用的安全性，防着条4外侧依次开设有第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9。
[0023]优选的，第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9均设置成弧形槽，便于提高防着条4卡设定位的稳定性。
[0024]优选的，定位槽3内壁安装有定位凸起6，且定位凸起6均与第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9卡接配合，定位凸起6设置成多个，且定位凸起6设置成矩形凸条，使得防着条4卡设在定位槽3内的稳定性高，而且拆装方便快捷，同时设有的凹槽增加了防着
条4外部的防着面，有利于提高防着的效率。
[0025]优选的，防着条4的横截面设置成正方形，且防着条4一端面与外基板1一侧端面平齐，便于将防着条4平稳的安装在外基板1一侧。
[0026]优选的，第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9之间采用的长、宽、高均相同，使得多个定位凸起6可与多个凹槽之间卡接配合，从而便于切换不同的防着面进行使用。
[0027]本技术的工作原理及使用流程：通过外基板1一侧定位槽3内卡设有的防着条4，且定位槽3和防着条4等间距配合设有多组，使得便于对防着条4进行拆装定位处理，而且便于对防着条4进行调节更换处理，当防着条4一面附着灰尘严重时，可以更换不同的防着面进行防着使用，极大延长了防着板的使用寿命；通过防着条4外侧依次开设有第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9，定位槽3内壁安装有定位凸起6，且定位凸起6均与第一凹槽5、第二凹槽7、第三凹槽8和第四凹槽9卡接配合，使得防着条4卡设在定位槽3内的稳定性高，而且拆装方便快捷，同时设有的凹槽增加了防着条4外部的防着面，有利于提高防着的效率。
[0028]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种强积沉型改良防着板，包括外基板(1)，其特征在于：所述外基板(1)一侧开设有定位槽(3)，所述定位槽(3)内卡设有防着条(4)，且定位槽(3)和防着条(4)等间距配合设有多组，所述外基板(1)外侧设有第一防护层(2)，所述防着条(4)外侧安装有第二防护层，所述防着条(4)外侧依次开设有第一凹槽(5)、第二凹槽(7)、第三凹槽(8)和第四凹槽(9)。2.根据权利要求1所述的一种强积沉型改良防着板，其特征在于：所述第一凹槽(5)、第二凹槽(7)、第三凹槽(8)和第四凹槽(9)均设置成弧形槽。3.根据权利要求1所述的一种强积沉型改良防着板，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张炎，
申请(专利权)人：苏州佰圣康精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：