本实用新型专利技术公开了一种真空溅镀用防着板的旋转装置，包括防着板旋转架，所述防着板旋转架的顶部的两侧与顶部安装板通过吊架连接，且吊架与顶部安装板通过固定滑轮与固定滑槽滑动连接，所述顶部安装板的底部的中间位置设有齿轮箱，所述齿轮箱的内部的中间位置设有转轴，所述转轴顶部的外侧设有平衡大齿轮，所述平衡大齿轮的两侧设有辅助小齿轮6。该实用新型专利技术中将防着板设在防着板旋转架的外圈，可以使防着板具有旋转的功能，且防着板旋转架是通过顶部安装板与内腔的顶部进行固定，将固定的位置设在顶部，可以使防着板旋转架在旋转的过程中，无论是顺时针还是逆时针旋转都不受限制，方便用户操作。方便用户操作。方便用户操作。
【技术实现步骤摘要】
一种真空溅镀用防着板的旋转装置
[0001]本技术涉及真空溅镀相关领域，具体为一种真空溅镀用防着板的旋转装置。
技术介绍
[0002]真空溅镀就是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法，为了避免溅镀材料对内腔进行污染，在真空溅镀的内腔内，会附加一层防着板，主要对内腔进行保护。
[0003]现有技术中对于真空溅镀用防着板的安装方式都是直接固定在内腔，对于较大的真空件镀设备来说，内部腔体太大，当内部的防着板受到污染需要更换时，需要将内部的镀膜机架进行拆卸，使内部预留较大的操作空间，才能对内腔上的防着板进行拆卸更换或清理，过程特别繁琐，会消耗一定的时间，一般需要两人协调完成，比较浪费人力。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种真空溅镀用防着板的旋转装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有技术中对于真空溅镀用防着板的安装方式都是直接固定在内腔，对于较大的真空件镀设备来说，内部腔体太大，当内部的防着板受到污染需要更换时，需要将内部的镀膜机架进行拆卸，使内部预留较大的操作空间，才能对内腔上的防着板进行拆卸更换或清理，过程特别繁琐，会消耗一定的时间，一般需要两人协调完成，比较浪费人力的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空溅镀用防着板的旋转装置，包括防着板旋转架，所述防着板旋转架的顶部的两侧与顶部安装板通过吊架连接，且吊架与顶部安装板通过固定滑轮与固定滑槽滑动连接，所述顶部安装板的底部的中间位置设有齿轮箱，所述齿轮箱的内部的中间位置设有转轴，所述转轴顶部的外侧设有平衡大齿轮，所述平衡大齿轮的两侧设有辅助小齿轮，且转轴的下端与防着板旋转架的顶部通过下轴套连接，所述防着板旋转架的外圈设有防着板拆装槽，且防着板拆装槽6的数量不少于三个，所述防着板拆装槽的内部设有防着板，所述防着板旋转架的底部的两侧分别设有左半端导向底座和右半端导向底座。
[0006]在进一步的实施例中，所述防着板旋转架与真空贱镀设备的内腔的顶部通过顶部安装板连接，且顶部安装板与内腔通过安装螺栓固定连接。
[0007]在进一步的实施例中，所述左半端导向底座和右半端导向底座与真空贱镀设备的内腔的底部通过固定螺丝固定连接，且左半端导向底座与右半端导向底座设为中心对称结构。
[0008]在进一步的实施例中，所述防着板旋转架的底部与防着板拆装槽对齐的位置处均设有滑块，且防着板旋转架的底部与左半端导向底座和右半端导向底座均通过滑块与固定轨道滑动连接。
[0009]在进一步的实施例中，所述顶部安装板设为长方形结构。
[0010]在进一步的实施例中，所述防着板拆装槽的内部的四个角的位置均设有固定角板，且防着板与固定角板通过螺丝固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该技术中将防着板设在防着板旋转架的外圈，可以使防着板具有旋转的功能，且防着板旋转架是通过顶部安装板与内腔的顶部进行固定，将固定的位置设在顶部，可以使防着板旋转架在旋转的过程中，无论是顺时针还是逆时针旋转都不受限制，方便用户操作，且防着板旋转架的外圈共设有三个防着板拆装槽，可以将真空溅镀内腔的左方位、右方位和后方位进行防着保护，使前端预留可视空间，当防着板需要更换时，可以根据更换的板块将防着板旋转架进行转动至前端，对内部的防着板进行拆装更换，不需要将内部的镀膜架进行拆卸，省略了多个步骤，也可根据防护的位置将内部的防着板的位置进行旋转调节，增加使用的灵活性，操作方式更加的简单省力。
附图说明
[0013]图1为本技术的一种真空溅镀用防着板的旋转装置的结构示意图；
[0014]图2为本技术的A部细节结构示意图；
[0015]图3为本技术的防着板拆装槽的结构示意图；
[0016]图4为本技术的一种真空溅镀用防着板的旋转装置的俯视图；
[0017]图5为本技术的齿轮箱的结构示意图；
[0018]图6为本技术的右半端导向底座和左半端导向底座的俯视图。
[0019]图中：1、顶部安装板；2、安装螺栓；3、下轴套；4、齿轮箱；5、防着板旋转架；6、防着板拆装槽；7、防着板；8、右半端导向底座；9、左半端导向底座；10、固定滑槽；11、吊架；12、固定滑轮；13、固定角板；14、平衡大齿轮；15、转轴；16、辅助小齿轮；17、固定轨道；18、固定螺丝。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]请参阅图1
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6，本技术提供的一种实施例：一种真空溅镀用防着板的旋转装置，包括防着板旋转架5，防着板旋转架5的顶部的两侧与顶部安装板1通过吊架11连接，且吊架11与顶部安装板1通过固定滑轮12与固定滑槽10滑动连接，顶部安装板1的底部的中间位置设有齿轮箱4，齿轮箱4的内部的中间位置设有转轴15，转轴15顶部的外侧设有平衡大齿轮14，平衡大齿轮14的两侧设有辅助小齿轮16，且转轴15的下端与防着板旋转架5的顶部通过下轴套3连接，防着板旋转架5的外圈设有防着板拆装槽6，且防着板拆装槽6的数量不少于三个，防着板拆装槽6的内部设有防着板7，防着板旋转架5的底部的两侧分别设有左半端导向底座9和右半端导向底座8。
[0022]通过防着板旋转架5用于将防着板7的位置旋转调节，通过吊架11用于将防着板旋转架5悬挂安装，通过齿轮箱4用于将平衡大齿轮14和辅助小齿轮16用于保护，通过下轴套3用于将转轴15的下半部分安装固定，通过防着板拆装槽6用于将防着板7安装固定，通过防
着板7用于将内腔进行保护，通过左半端导向底座9和右半端导向底座8用于将防着板旋转架5的底部顶部，使其平衡旋转。
[0023]进一步，防着板旋转架5与真空贱镀设备的内腔的顶部通过顶部安装板1连接，且顶部安装板1与内腔通过安装螺栓2固定连接。
[0024]通过安装螺栓2用于将顶部安装板1安装固定。
[0025]进一步，左半端导向底座9和右半端导向底座8与真空贱镀设备的内腔的底部通过固定螺丝18固定连接，且左半端导向底座9与右半端导向底座8设为中心对称结构。
[0026]通过固定螺丝18用于将左半端导向底座9和右半端导向底座8组装固定。
[0027]进一步，防着板旋转架5的底部与防着板拆装槽6对齐的位置处均设有滑块，且防着板旋转架5的底部与左半端导向底座9和右半端导向底座8均通过滑块与固定轨道17滑动连接。
[0028]通过固定轨道17用于对防着板旋转架5旋转的路线进行转动。
[0029]进一步，顶部安装板1设为长方形结构。
[0030]通过长方形结构用于节省顶部安装板1的用料本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空溅镀用防着板的旋转装置，包括防着板旋转架(5)，其特征在于：所述防着板旋转架(5)的顶部的两侧与顶部安装板(1)通过吊架(11)连接，且吊架(11)与顶部安装板(1)通过固定滑轮(12)与固定滑槽(10)滑动连接，所述顶部安装板(1)的底部的中间位置设有齿轮箱(4)，所述齿轮箱(4)的内部的中间位置设有转轴(15)，所述转轴(15)顶部的外侧设有平衡大齿轮(14)，所述平衡大齿轮(14)的两侧设有辅助小齿轮(16)，且转轴(15)的下端与防着板旋转架(5)的顶部通过下轴套(3)连接，所述防着板旋转架(5)的外圈设有防着板拆装槽(6)，且防着板拆装槽(6)的数量不少于三个，所述防着板拆装槽(6)的内部设有防着板(7)，所述防着板旋转架(5)的底部的两侧分别设有左半端导向底座(9)和右半端导向底座(8)。2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀用防着板的旋转装置，其特征在于：所述防着板旋转架(5)与真空贱镀设备的内腔的顶部通过顶部安...
【专利技术属性】
技术研发人员：张炎，
申请(专利权)人：苏州佰圣康精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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