液槽抽风装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于加工设备技术领域，公开了一种液槽抽风装置，包括隔舱、风扇和喷淋组件，隔舱内部设有抽风隔腔，抽风隔腔具有进风口和出风口，进风口与液槽连通，出风口连接至外部，风扇引导气流由进风口流向出风口；具体地，风扇包括抽风风扇和排风风扇，抽风风扇安装于进风口处用于将液槽内的气体抽入抽风隔腔，以避免碱性药液挥发产生的气体对工作人员造成危害，排风风扇安装于出风口处，用于将抽风隔腔内的气体排出，进行下一步的净化处理；喷淋组件设置于抽风隔腔内，用于冲洗风扇和抽风隔腔内壁，避免碱结晶附着，保证抽风装置的正常运行。行。行。

【技术实现步骤摘要】
液槽抽风装置


[0001]本技术涉及加工设备
，尤其涉及一种液槽抽风装置。

技术介绍

[0002]在太阳能电池片制造行业中，通常单晶硅片需要进行清洗，去除各种杂质，或者利用化学品对硅片进行刻蚀后形成特定的表面状态，这样才能够继续进行后续工艺生产。其中，利用碱性药液进行刻蚀清洗，是一种重要的硅片处理方式。在湿法设备中集成多种化学品后，可以在单个设备上完成刻蚀、清洗等不同工艺，达到对硅片进行综合处理的目的。
[0003]为了避免碱性药液挥发产生的气体对工作人员造成危害，需要及时对液槽所在的空间进行抽风，通常将抽风装置设置于刻蚀设备的隔框之中。抽风过程中，液槽内部碱性药液挥发出的碱蒸汽易附着在抽风隔腔内部，进而形成碱结晶，对抽风装置的正常运行造成影响。
[0004]因此，亟需一种液槽抽风装置，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种液槽抽风装置，能够对抽风隔腔内部进行清洗，避免碱结晶附着，保证抽风装置的正常运行。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]液槽抽风装置，用于对液槽抽风，包括：
[0008]隔舱，所述隔舱内部设有抽风隔腔，所述抽风隔腔具有进风口和出风口，所述进风口与所述液槽连通，所述出风口连接至外部；
[0009]风扇，包括抽风风扇和排风风扇，所述抽风风扇安装于所述进风口处，用于将所述液槽内的气体抽入所述抽风隔腔，所述排风风扇安装于所述出风口处，用于将所述抽风隔腔内的气体排出；
[0010]喷淋组件，所述喷淋组件设置于所述抽风隔腔内，用于冲洗所述风扇和所述抽风隔腔内壁。
[0011]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述风扇包括扇叶和驱动电机，所述扇叶位于所述抽风隔腔内，所述驱动电机设置于所述抽风隔腔之外，所述驱动电机外侧罩设有防水罩。
[0012]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述喷淋组件沿所述隔舱的长度方向和/或宽度方向间隔设置有多个。
[0013]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述隔舱内部设置有导轨，所述喷淋组件滑动设置于所述导轨。
[0014]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述喷淋组件包括喷头，所述喷头转动安装于所述隔舱上以调节所述喷头的喷淋角度。
[0015]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述液槽抽风装置还包括废液收集
池，用于收集冲洗所述风扇和所述抽风隔腔内壁之后产生的废液，所述废液收集池设置于所述抽风隔腔底部。
[0016]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述液槽抽风装置还包括净化设备，用于净化所述废液，所述净化设备连接于所述废液收集池。
[0017]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述喷淋组件包括喷头，所述净化设备包括净水仓，所述净水仓用于储存所述废液净化后获得的净水，所述净水仓通过管路与所述喷淋组件连接。
[0018]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述液槽抽风装置还包括控制器，所述喷淋组件和所述风扇均与所述控制器电连接，所述控制器用于控制所述喷淋组件和所述风扇的启动与停止。
[0019]作为液槽抽风装置的一种可选的技术方案，所述隔舱上还设置有观察窗，所述观察窗用于观察所述抽风隔腔内部。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本实施例提供了一种液槽抽风装置，包括隔舱、风扇和喷淋组件，隔舱内部设有抽风隔腔，抽风隔腔具有进风口和出风口，进风口与液槽连通，出风口连接至外部，风扇引导气流由进风口流向出风口；具体地，风扇包括抽风风扇和排风风扇，抽风风扇安装于进风口处用于将液槽内的气体抽入抽风隔腔，以避免碱性药液挥发产生的气体对工作人员造成危害，排风风扇安装于出风口处，用于将抽风隔腔内的气体排出，进行下一步的净化处理；喷淋组件设置于抽风隔腔内，用于冲洗风扇和抽风隔腔内壁，避免碱结晶附着，保证抽风装置的正常运行。
附图说明
[0022]图1是本技术提供的液槽抽风装置的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]1、隔舱；11、抽风隔腔；2、风扇；21、抽风风扇；22、排风风扇；3、喷淋组件；31、喷头；4、废液收集池。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第
一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0029]如图1所示，本实施例提供的液槽抽风装置，用于对液槽抽风。液槽抽风装置包括隔舱1、风扇2和喷淋组件3，隔舱1内部设有抽风隔腔11，抽风隔腔11具有进风口和出风口，进风口与液槽连通，出风口连接至外部，风扇2引导气流由进风口流向出风口。具体地，风扇2包括抽风风扇21和排风风扇22，抽风风扇21安装于进风口处用于将液槽内的气体抽入抽风隔腔11，以避免碱性药液挥发产生的气体对工作人员造成危害，排风风扇22安装于出风口处，用于将抽风隔腔11内的气体排出，进行下一步的净化处理；喷淋组件3设置于抽风隔腔11内，用于冲洗风扇2和抽风隔腔11内壁，避免碱结晶附着，保证抽风装置的正常运行。在本实施例中，抽风风扇21在高度方向上设置有两排，每排包括沿长度方向间隔设置的若干个抽风风扇21，以保证对液槽的抽风效率，排风风扇22在高度方向上设置有一排，包括沿长度方向间隔设置的若干个排风风扇22用于将抽风隔腔11内的气体排出。本实施例中的风扇2包括扇叶和驱动电机，扇叶位于抽风隔腔11内，驱动电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.液槽抽风装置，用于对液槽抽风，其特征在于，包括：隔舱(1)，所述隔舱(1)内部设有抽风隔腔(11)，所述抽风隔腔(11)具有进风口和出风口，所述进风口与所述液槽连通，所述出风口连接至外部；风扇(2)，包括抽风风扇(21)和排风风扇(22)，所述抽风风扇(21)安装于所述进风口处，用于将所述液槽内的气体抽入所述抽风隔腔(11)，所述排风风扇(22)安装于所述出风口处，用于将所述抽风隔腔(11)内的气体排出；喷淋组件(3)，所述喷淋组件(3)设置于所述抽风隔腔(11)内，用于冲洗所述风扇(2)和所述抽风隔腔(11)内壁。2.根据权利要求1所述的液槽抽风装置，其特征在于，所述风扇(2)包括扇叶和驱动电机，所述扇叶位于所述抽风隔腔(11)内，所述驱动电机设置于所述抽风隔腔(11)之外，所述驱动电机外侧罩设有防水罩。3.根据权利要求1所述的液槽抽风装置，其特征在于，所述喷淋组件(3)沿所述隔舱(1)的长度方向和/或宽度方向间隔设置有多个。4.根据权利要求1所述的液槽抽风装置，其特征在于，所述隔舱(1)内部设置有导轨，所述喷淋组件(3)滑动设置于所述导轨。5.根据权利要求1所述的液槽抽风装置，其特征在于，所述喷淋组件(3)包括喷头(31)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓晨，蒋新，刘苏凯，沈洪旗，施利君，聂汉军，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：