一种TOPCon太阳能电池叠层钝化结构和包含其的TOPCon太阳能电池制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种TOPCon太阳能电池叠层钝化结构和包含其的TOPCon太阳能电池。所述叠层钝化结构包括硅衬底，以及从硅衬底的背表面至外依次设置七个介电层；其中，第一介电层和第五介电层的材质为氧化硅，第二介电层的材质为掺杂多晶硅，第三介电层的材质为氧化铝，第四介电层的材质为氮化硅、氧化硅或氮氧化硅，第六介电层为氧化硅层、氮化硅层和氮氧化硅层中的至少两种复合而成的复合层，第七介电层的材质为氮化硅；第四介电层、第五介电层和第六介电层的折射率依次升高。本实用新型专利技术提供的TOPCon太阳能电池叠层钝化结构具有良好的钝化效果，包括该叠层钝化结构的TOPCon太阳能电池的开路电压、短路电流和转换效率均得到有效提高。短路电流和转换效率均得到有效提高。短路电流和转换效率均得到有效提高。

【技术实现步骤摘要】
一种TOPCon太阳能电池叠层钝化结构和包含其的TOPCon太阳能电池


[0001]本技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种TOPCon太阳能电池叠层钝化结构和包含其的TOPCon太阳能电池。

技术介绍

[0002]TOPCon太阳能电池是一种利用TOPCon技术(Tunnel Oxide Passivated Contact)制得的太阳能电池，TOPCon技术是一种新型钝化接触技术，即在电池背面分别镀一层超薄氧化硅和掺杂多晶硅，二者共同构成了隧穿氧化层钝化接触结构，从而在硅衬底表面形成良好的钝化接触。
[0003]目前，TOPCon太阳能电池选择沉积的背面钝化层多采用氧化硅层(第一层)、掺杂多晶硅层(第二层)、氧化铝层(第三层)和氮化硅层(第四层)的沉积顺序。但是，由于氮化硅层的正电荷量比氧化铝层的正电荷量高，会对带负电荷的氧化铝层的场钝化效果产生影响；而且，由于沉积氮化硅层所需的功率比沉积氧化铝层所需的功率高，在沉积氮化硅层时会破坏氧化铝层的钝化效果。另外，氧化铝层的折射率约为1.6，而氮化硅层的折射率明显增大，约为2.0，因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TOPCon太阳能电池叠层钝化结构，其特征在于，所述TOPCon太阳能电池叠层钝化结构包括硅衬底，以及从所述硅衬底的背表面至外依次设置的第一介电层、第二介电层、第三介电层、第四介电层、第五介电层、第六介电层和第七介电层；其中，所述第一介电层和第五介电层的材质为氧化硅，所述第二介电层的材质为掺杂多晶硅，所述第三介电层的材质为氧化铝，所述第四介电层的材质为氮化硅、氧化硅或氮氧化硅，所述第六介电层为氧化硅层、氮化硅层和氮氧化硅层中的至少两种复合而成的复合层，所述第七介电层的材质为氮化硅；所述第四介电层、第五介电层和第六介电层的折射率依次升高。2.如权利要求1所述的TOPCon太阳能电池叠层钝化结构，其特征在于，所述第一介电层的厚度为1
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2nm。3.如权利要求1所述的TOPCon太阳能电池叠层钝化结构，其特征在于，所述第二介电层的厚度为120
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170nm。4.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘莉丽，张波宁，李龙，魏双双，于波，何广川，张树骞，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：