本实用新型专利技术公开了一种束流传输线辐照系统用运料装置包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本实用新型专利技术通过设计一组驱动件进行带动两组传动件进行转动，进而带动滑动件进行沿着送料滑轨进行滑动，进而带动托板进行升降工作，与传统的两套驱动系统相比，无需设计两个电机，仅设计一个电机，技术电机损坏时，整个送料单元也只是停止工作，与传统两套驱动系统相比，不会出现某个电机出现损坏，另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏的情况。顶升部分均会出现损坏的情况。顶升部分均会出现损坏的情况。
【技术实现步骤摘要】
一种束流传输线辐照系统用运料装置
[0001]本技术涉送料领域，具体是一种束流传输线辐照系统用运料装置。
技术介绍
[0002]芯片领域的质子辐照，一般是指质子、氘束、氦离子辐照，统称为轻离子辐照，习惯上称为“质子辐照”。
[0003]芯片制造中的硼、磷等离子注入一般深度为1微米，而质子辐照的深度为几十微米以上，特别是高压功率芯片的质子辐照深度可达几百微米，质子辐照与离子注入是功率芯片环节制造中的不同工艺环节。
[0004]芯片制造的工艺流程包含芯片设计、晶圆制造、晶圆测试、封装、成品测试等环节。其中，质子与重离子辐照是晶圆制造中提高芯片性能不可替代的重要工艺手段；是实现功率芯片局域少子寿命控制的唯一可行手段。
[0005]而现有的辐照流水线对晶圆辐照时，需要通过运料系统对晶圆运输至束流传输线的下方，而现有的运料系统一般包括两个部分，一个是用于带动晶圆托板升降的顶升部分，和另外一个用于带动托板移动至束流传输下方的变位部分；
[0006]由于晶圆托板具有长度，现有运料系统的顶升部分为了保证晶圆托板的平缓升降，设计了两套驱动系统，通过对晶圆托板两端的滑板进行施加驱动力，进而带动托板的平缓升降工作，而两套驱动系统则意味着需要两个电机带动，而两个电机在运动过程中，需要保证两组电机同时启停工作，且需要转速一致，而且一旦其中某个电机出现损坏，但另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏。
技术实现思路
[0007]技术目的：提供一种束流传输线辐照系统用运料装置，以解决现有技术存在的上述问题。
[0008]技术方案：一种束流传输线辐照系统用运料装置，包括：
[0009]送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；
[0010]十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；
[0011]所述送料单元包括：
[0012]承载主体，包括一框架，所述框架上安装有送料滑轨；
[0013]驱动件，安装在所述框架上，设计一组；
[0014]传动件，设计两组，与驱动件传动连接，分别设置在所述驱动件的两端；
[0015]滑动件，套接于传动件。
[0016]本技术通过设计一组驱动件进行带动两组传动件进行转动，进而带动滑动件进行沿着送料滑轨进行滑动，进而带动托板进行升降工作，与传统的两套驱动系统相比，无需设计两个电机，仅设计一个电机，技术电机损坏时，整个送料单元也只是停止工作，与传
统两套驱动系统相比，不会出现某个电机出现损坏，另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏的情况。
[0017]在进一步实施例中，所述驱动件包括安装在所述框架上的送料电机，设置在所述送料电机输出端的送料轴，套接于所述送料轴的送料齿轮，与所述送料齿轮传动连接的传动齿轮，插接于所述传动齿轮的送料输入轴，以及套接在送料输入轴两端的输入锥齿轮；
[0018]所述送料齿轮与传动齿轮之间设有传动链条。
[0019]在进一步实施例中，所述传动件包括与输入锥齿轮啮合的输出锥齿轮，以及与输出锥齿轮连接的送料输出丝杆。
[0020]在进一步实施例中，所述滑动件包括套接于送料输出丝杆的送料滑板，以及安装在送料滑板上的若干送料卡槽；
[0021]所述送料滑板与送料滑轨适配。
[0022]在进一步实施例中，所述十字滑台，包括：
[0023]横向引料单元，位于送料单元的一侧，用于将放置有晶圆的托板引入束流出口下方，并进行横向运动；
[0024]牵引单元，与横向引料单元连接，用于牵引放置有晶圆的托板，避免其出现脱位；
[0025]纵向引料单元，设置在横向引料单元下方，与横向引料单元呈十字放置，用于带动横向引料单元纵向运动。
[0026]在进一步实施例中，所述横向引料单元包括位于框架一侧的横向引料底板，设置在横向引料底板上的横向引料驱动丝杆和横向引料导杆，套接于所述横向引料驱动丝杆的横向引料滑套，设置在所述横向引料滑套上的横向引料连接件，以及与所述横向引料连接件连接且套接于所述横向引料导杆的横向引料滑块；
[0027]所述横向引料滑块上连接有磁块，用于吸附托板；
[0028]所述横向引料驱动丝杆的任意一端设有横向引料电机。
[0029]在进一步实施例中，所述牵引单元包括与横向引料底板连接的滑架，以及设置在所述滑架上的若干滚轴；
[0030]所述滑架上还有与托板适配的滑槽。
[0031]在进一步实施例中，所述纵向引料单元包括纵向引料底板，安装在所述纵向引料底板上的纵向引料滑轨和纵向引料电机，与纵向引料电机输出端连接的纵向引料丝杆，以及套接于所述纵向引料丝杆及与所述纵向引料滑轨适配的纵向引料滑板；
[0032]所述纵向引料滑板与横向引料底板连接。
[0033]有益效果：本技术公开了一种束流传输线辐照系统用运料装置，本技术通过设计一组驱动件进行带动两组传动件进行转动，进而带动滑动件进行沿着送料滑轨进行滑动，进而带动托板进行升降工作，与传统的两套驱动系统相比，无需设计两个电机，进而避免了其中某个电机出现损坏，另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏的情况。
附图说明
[0034]图1是本技术的结构示意图。
[0035]图2是本技术的横向引料单元示意图。
[0036]图3是本技术的牵引单元示意图。
[0037]图4是本技术的纵向引料单元示意图。
[0038]图5是本技术的送料单元示意图。
[0039]附图标记为：
[0040]51、送料单元；511、送料电机；512、送料输入轴；513、输入锥齿轮；514、输出锥齿轮；515、送料输出丝杆；516、送料滑轨；517、送料滑板；518、送料卡槽；
[0041]52、横向引料单元；521、横向引料底板；522、横向引料导杆；523、横向引料滑块；524、横向引料驱动丝杆；525、横向引料滑套；526、横向引料连接件；
[0042]53、牵引单元；531、滑架；532、滑槽；533、滚轴；
[0043]54、纵向引料单元；541、纵向引料底板；542、纵向引料电机；543、纵向引料滑轨；544、纵向引料滑板；545、纵向引料丝杆。
具体实施方式
[0044]本申请涉及一种束流传输线辐照系统用运料装置，下面通过具体实施方式进行详细解释。
[0045]由于晶圆托板具有长度，现有运料系统的顶升部分为了保证晶圆托板的升降工作，基本具有两种方式：
[0046]一种束流传输线辐照系统用运料装置，包括：
[0047]送料单元51，用于升降放置有晶圆的托板；
[0048]十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；
[0本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种束流传输线辐照系统用运料装置，包括：送料单元(51)，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；其特征在于，所述送料单元(51)包括：承载主体，包括一框架，所述框架上安装有送料滑轨(516)；驱动件，安装在所述框架上，设计一组；传动件，设计两组，与驱动件传动连接，分别设置在所述驱动件的两端；滑动件，套接于传动件。2.根据权利要求1所述的一种束流传输线辐照系统用运料装置，其特征是：所述驱动件包括安装在所述框架上的送料电机(511)，设置在所述送料电机(511)输出端的送料轴，套接于所述送料轴的送料齿轮，与所述送料齿轮传动连接的传动齿轮，插接于所述传动齿轮的送料输入轴(512)，以及套接在送料输入轴(512)两端的输入锥齿轮(513)；所述送料齿轮与传动齿轮之间设有传动链条。3.根据权利要求1所述的一种束流传输线辐照系统用运料装置，其特征是：所述传动件包括与输入锥齿轮(513)啮合的输出锥齿轮(514)，以及与输出锥齿轮(514)连接的送料输出丝杆(515)。4.根据权利要求1所述的一种束流传输线辐照系统用运料装置，其特征是：所述滑动件包括套接于送料输出丝杆(515)的送料滑板(517)，以及安装在送料滑板(517)上的若干送料卡槽(518)；所述送料滑板(517)与送料滑轨(516)适配。5.根据权利要求1所述的一种束流传输线辐照系统用运料装置，其特征是：所述十字滑台，包括：横向引料单元(52)，位于送料单元(51)的一侧，用于将放置有晶圆的托板引入束流出口下方，并进行横向运动；牵引单元(53)，与横向引料单元(52)...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭如勇，沈轩羽，马超然，张政，王泊锡，周晓慧，桂正亚，朱晓桦，李非易，王明康，
申请(专利权)人：国电投核力创芯无锡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。