本实用新型专利技术公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，所述装置包括减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；所述收纳部包括：晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置
[0001]本技术涉及晶圆包装，具体是一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。
[0003]高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。
[0004]硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0005]现有的晶圆在国内一般都采用电子辐照，比较大型的芯片生产或者代工厂都配有质子辐照装置或者辐照流水线，不需要进行包装运输，然而当代工厂或生产商没有配备质子辐照装置或流水线时，晶圆则需要进行运输后再进行辐照。
[0006]而由于晶圆较为脆弱，晶圆运输过程中时常出现损耗；
[0007]因此，如何解决晶圆在运输过程中的损耗，是目前需要解决的一个问题。
技术实现思路
[0008]技术目的：提供一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，以解决现有技术存在的上述问题。
[0009]技术方案：一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，包括：
[0010]减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；
[0011]收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；
[0012]所述收纳部包括：
[0013]晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；
[0014]氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。
[0015]通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。
[0016]在进一步实施例中，所述晶圆固定盒组包括晶圆固定盒上、晶圆固定盒下；
[0017]所述晶圆设置在所述晶圆固定盒上、晶圆固定盒下之间。
[0018]当晶圆固定盒上和晶圆固定盒下合并时，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内。
[0019]在进一步实施例中，所述氮气囊组包括
[0020]氮气囊上、氮气囊下；
[0021]所述氮气囊上位于晶圆固定盒上的上方；
[0022]所述氮气囊下位于晶圆固定盒下的下方。
[0023]在进一步实施例中，所述收纳部还包括包装盒组，用于收纳晶圆固定盒组、氮气囊组；
[0024]所述包装盒组包括包装盒上盖和包装盒下盖，以及与所述包装盒上盖和包装盒下
盖适配的锁扣；
[0025]所述包装盒上盖和包装盒下盖上开有锁紧槽；
[0026]所述锁扣与所述锁紧槽适配，当锁扣滑入锁紧槽内时，包装盒上盖和包装盒下盖相对固定。
[0027]包装盒组形状可根据需求设计，以附图为例，当包装盒组设计为八变形时，则有四边上开有锁紧槽，则需要设计四组锁扣将包装盒组锁紧。
[0028]在进一步实施例中，所述包装和上盖上设有正压指示灯。
[0029]所述正压指示灯连通压力检测传感器，所述压力检测传感器与氮气囊组连接。
[0030]在进一步实施例中，所述包装盒下盖上开有收纳氮气置换口和收纳氮气充气口；
[0031]所述收纳氮气置换口和收纳氮气充气口与氮气囊组连通。
[0032]所述收纳部由上向下依次包括包装盒上盖、氮气囊上、晶圆固定盒上、晶圆固定盒下、氮气囊下、包装盒下盖；
[0033]所述晶圆设置在所述晶圆固定盒上、晶圆固定盒下之间。
[0034]在进一步实施例中，所述减震部包括减震柜体，以及设置在所述减震柜体周部的减震壳体；所述减震柜体上设有减震盖体；
[0035]所述减震柜体上设有若干减收纳槽；
[0036]每个收纳槽的两侧均设有填充氮气囊；
[0037]所述收纳槽与所述收纳部适配。
[0038]在进一步实施例中，所述减震柜体侧部设有减震氮气充气口和减震氮气置换口；
[0039]所述减震氮气充气口和减震氮气置换口与填充氮气囊连通。
[0040]减震氮气置换口和收纳氮气置换口，主要为了减震氮气充气口和收纳氮气充气口冲入氮气时，搭配减震氮气置换口和收纳氮气置换口，使得一进一出，让收纳部和减震部内的氮气更纯。
[0041]有益效果：本技术公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。
附图说明
[0042]图1是本技术结构示意图。
[0043]图2是本技术收纳部爆炸示意图。
[0044]图3是本技术收纳部零件示意图。
[0045]图4是本技术收纳部锁紧后示意图。
[0046]附图标记：
[0047]11、减震柜体；12、减震壳体；13、减震氮气置换口；14、减震氮气充气口；
[0048]2、收纳部；21、包装盒上；211、正压指示灯；212、锁紧槽；
[0049]22、氮气囊上；23、晶圆固定盒上；24、晶圆；25、晶圆固定盒下；26、氮气囊下；27、包装盒下；271、收纳氮气置换口；272、收纳氮气充气口；28、锁扣。
具体实施方式
[0050]本申请涉及一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，下面通过具体实施方式进行详细解释。
[0051]一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，包括：
[0052]减震部，用于存放收纳部2，使收纳部2稳定在减震部内；
[0053]收纳部2，至少设计一组，用于收纳晶圆24，使晶24圆稳定在收纳部2内；
[0054]所述收纳部2包括：
[0055]晶圆固定盒组，使晶圆24收纳至晶圆固定盒组内；
[0056]氮气囊组，使晶圆24固定盒组稳定在收纳部2内。
[0057]通过在收纳部2内设计氮气囊上22和氮气囊下26，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上22和氮气囊下26之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部2，形成双重稳定方式，使得晶圆24在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆24的运输损耗。
[0058]所述晶圆固定盒组包括晶圆固定盒上23、晶圆固定盒下25；
[0059]所述晶圆设置在所述晶圆固定盒上23、晶圆固定盒下25之间。
[0060]当晶圆固定盒上23和晶圆固定盒下25合并时，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内。
[0061]所述氮气囊组包括
[0062]氮气囊上22、氮气囊下26；
[0063]所述氮气囊上22位于晶圆固定盒上23的上方；
[0064]所述氮气囊下26位于晶圆固定盒下25的下方。
[0065]所述收纳部2还包括包装盒组，用于收纳晶本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，包括：减震部，用于存放收纳部(2)，使收纳部(2)稳定在减震部内；收纳部(2)，至少设计一组，用于收纳晶圆(24)，使晶圆(24)稳定在收纳部(2)内；其特征在于，所述收纳部(2)包括：晶圆固定盒组，使晶圆(24)收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆(24)固定盒组稳定在收纳部(2)内。2.根据权利要求1所述的一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，其特征是：所述晶圆固定盒组包括晶圆固定盒上(23)、晶圆固定盒下(25)；所述晶圆(24)设置在所述晶圆固定盒上(23)、晶圆固定盒下(25)之间。3.根据权利要求1所述的一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，其特征是：所述氮气囊组包括氮气囊上(22)、氮气囊下(26)；所述氮气囊上(22)位于晶圆固定盒上(23)的上方；所述氮气囊下(26)位于晶圆固定盒下(25)的下方。4.根据权利要求1所述的一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，其特征是：所述收纳部(2)还包括包装盒组，用于收纳晶圆固定盒组、氮气囊组；所述包装盒组包括包装盒上(21)盖和包装盒下(27)盖，以及与所述包装盒上(21)盖和包装盒下(27)盖适配的锁扣(28)；所述包装盒上(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，张政，郭如勇，李笑，朱晓桦，于天华，姜桂林，王泊锡，王孝宇，
申请(专利权)人：国电投核力创芯无锡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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