【技术实现步骤摘要】
一种集成电路模拟测试系统
[0001]本专利技术属于集成电路
，尤其涉及一种集成电路模拟测试系统。
技术介绍
[0002]在制造电气设备之前，通常先要测试设备，以确定其是否是按设计构建或工作的。通常，该测试由自动电路测试系统。
[0003]为了使测试系统的结果有意义，系统需要被校准。就是说，测试系统在测试期间可能引入的固有系统误差必须被量化，并且由经校准的比较器读取的信号可以与预期信号相比较以确定它们之间的偏离。一般使用驱动器和比较器在内的经校准的测试头顺序耦合到测试系统的每个信号引脚。但是这样机械公差难以维持，且信号会导致衰减。
技术实现思路
[0004]为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种集成电路模拟测试系统可以保证信号强度，提高校准精度。
[0005]技术方案如下：
[0006]一种集成电路模拟测试系统，包括：
[0007]功能测试模块，具有多个测试单元，测试单元包括驱动器，用于执行功能测试；
[0008]直流测试模块，具有电流输出端子和高阻抗电阻；
[0009]第一校准单元，设置在多个驱动器和比较器之间；
[0010]第二校准单元，所述第二校准单元包括根据第二组连接关系来耦合所述驱动器和比较器的对的固定接线路径；
[0011]对该集成电路布局文件在所述多个热点中执行逆电子束技术工艺以产生最终掩膜图案，其中该逆电子束技术工艺使用单逆电子束技术模型模拟掩膜产生工艺以及晶圆产生工艺。
[0012]进一步地，方程组是通...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路模拟测试系统，其特征在于，包括：功能测试模块，具有多个测试单元，测试单元包括驱动器，用于执行功能测试；直流测试模块，具有电流输出端子和高阻抗电阻；第一校准单元，设置在多个驱动器和比较器之间；第二校准单元，所述第二校准单元包括根据第二组连接关系来耦合所述驱动器和比较器的对的固定接线路径；对该集成电路布局文件在所述多个热点中执行逆电子束技术工艺以产生最终掩膜图案，其中该逆电子束技术工艺使用单逆电子束技术模型模拟掩膜产生工艺以及晶圆产生工艺。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王会，徐冉，钱太娇，
申请(专利权)人：江苏润鹏半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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