一种具有升降和旋转功能的抓料机械手制造技术

技术编号:37853861 阅读:14 留言:0更新日期:2023-06-14 22:46
本发明专利技术涉及半导体抓料机械手技术领域,公开了一种具有升降和旋转功能的抓料机械手,包括抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手开合机构、夹爪机构以及抓手导向限位组件,抓手导向限位组件包括具有导向孔的导向T形板、贯穿在导向孔内的抓手导向杆、连接在抓手导向杆底部的抓手导向底板、连接在抓手导向杆远离抓手导向底板一端的抓手导向限位块。通过设置抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手导向限位组件,抓手导向限位组件与抓手升降机构配合使用,控制抓手旋转机构在垂直方向上的位置,保证了夹爪机构在垂直方向上的精度;抓手升降机构配合抓手旋转机构,便捷的进行调整方向,进行上料;抓手开合机构对夹爪机构进行控制,控制夹爪的打开和夹紧。紧。紧。

【技术实现步骤摘要】
一种具有升降和旋转功能的抓料机械手


[0001]本专利技术涉及半导体抓料机械手
,具体涉及一种具有升降和旋转功能的抓料机械手。

技术介绍

[0002]半导体芯片制造的切筋成型工序中,产品抓手上料是必不可少的。上料时需要抓手夹取产品放入轨道再进行下一步操作,因市场和客户需要,产生了一种双面的储料料盒,产品在两排紧靠的料盒中堆叠且方向相反,这时就需要一种可以调整夹取产品方向的机械手进行取料。
[0003]因传统抓手无法旋转,多轴机器人存在着体积大、成本高的缺陷。基于此,研发一种带有升降和水平旋转功能的抓料机械手,实现旋转取料并且能够在垂直方向上升降,功能齐全且结构简单。

技术实现思路

[0004]本专利技术解决的技术问题是提供一种可以在垂直方向上进行升降且在水平方向上可以旋转的抓料机械手。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有升降和旋转功能的抓料机械手,包括抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手开合机构、夹爪机构以及抓手导向限位组件,所述抓手导向限位组件包括具有导向孔的导向T形板、贯穿在导向孔内的抓手导向杆、连接在抓手导向杆底部的抓手导向底板、连接在抓手导向杆远离抓手导向底板一端的抓手导向限位块;所述抓手升降机构包括抓手升降气缸、将抓手升降气缸固定在导向T形板上的升降固定座、将抓手升降气缸的驱动端与抓手导向底板固定连接的抓手气缸连接头;所述抓手旋转机构和抓手开合机构分别安装在抓手升降机构的两侧,所述夹爪机构安装在所述抓手开合机构的下端。通过抓手升降机构带动抓手导向底板在垂直方向上移动,进而带动抓手旋转机构和抓手开合机构在垂直方向上同步移动,使得夹爪机构可以在打开状态趋向半导体产品或者在夹取半导体产品后,可以在垂直方向上进行移动。因半导体产品放置在轨道上方向相反,因此,在夹取半导体产品后,需要进行旋转;通过抓手旋转机构带动夹爪机构旋转180
°
,即实现了对半导体产品的旋转,方便高效。
[0006]进一步的是:所述抓手旋转机构包括旋转伺服电机、与旋转伺服电机配合使用的旋转减速机、安装在旋转减速机驱动端上的旋转主动轮,还包括安装在抓手开合机构下端与夹爪机构连接的旋转从动轮,连接旋转主动轮与旋转从动轮的同步带;所述旋转减速机固定在所述抓手导向底板上。
[0007]进一步的是:所述抓手开合机构包括安装在抓手导向底板上的开合气缸安装座、安装在开合气缸安装座上的抓手开合气缸,所述抓手导向底板内安装有开合轴承,所述开合轴承内安装有开合转轴; 还包括开合导杆、将开合导杆与抓手开合气缸连接的开合气缸连接头;所述开合导杆可以穿过开合转轴进入夹爪机构。通过开合导杆在垂直方向上的移
动,来对夹爪机构进行控制,使得夹爪机构张开或闭合。
[0008]进一步的是:所述旋转从动轮与所述开合转轴进行连接,所述旋转从动轮转动可以带动开合转轴在开合轴承内进行转动。
[0009]进一步的是:所述夹爪机构包括抓手固定座、与抓手固定座配合使用的抓手连接座、通过两根开合固定轴连接在抓手连接座上的开合组件,以及多个固定在开合组件上的夹爪。
[0010]进一步的是:所述开合组件为2组;每组开合组件包括开合块本体、安装在开合块本体上的开合轴承固定座、安装在开合轴承固定座上的抓手开合轴承;所述开合块本体的上且位于开合轴承固定座的两侧分别安装有第一弹簧固定螺柱、第二弹簧固定螺柱,两个第一弹簧固定螺柱之间还连接有夹紧弹簧,两个第二弹簧固定螺柱之间还连接有夹紧弹簧;所述开合块本体设有2个吊耳,所述吊耳上设有供开合固定轴穿过的通孔。
[0011]进一步的是:还包括安装在抓手连接座两端的缓冲组件,所述缓冲组件包括通过螺钉固定在抓手连接座上的抓手缓冲导向套、可沿着抓手缓冲导向套滑动的缓冲导向杆、通过螺钉与缓冲导向杆底部连接的产品压板;还包括安装在产品压板与抓手缓冲导向套之间的下压缓冲弹簧。
[0012]进一步的是:还包括安装在缓冲导向杆远离产品压板一端的下压缓冲限位块。
[0013]进一步的是:所述抓手导向限位组件还包括套置在抓手导向杆外的导向杆导套。
[0014]本专利技术的有益效果是:本专利技术通过设置抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手导向限位组件,抓手导向限位组件与抓手升降机构配合使用,控制抓手旋转机构在垂直方向上的位置,保证了夹爪机构在垂直方向上的精度。同时,抓手升降机构配合抓手旋转机构,通过抓手升降机构将夹爪机构移动到合适的位置,通过抓手旋转机构驱动夹爪机构旋转,便捷的对半导体产品进行调整方向,方便进行上料。
[0015]通过将夹爪机构安装在抓手开合机构的下方,在需要夹爪机构两侧的夹爪张开时,抓手开合气缸驱动开合导杆向抓手开合轴承移动,开合导杆的头部从两个抓手开合轴承的接触处向下移动,将两个开合组件进行分离,进而使得夹爪进行张开;当需要夹爪夹取半导体产品时,4个夹爪位于半导体产品的外侧,抓手开合气缸驱动开合导杆向上移动,两个开合组件在夹紧弹簧的作用下,夹爪可以将半导体产品进行夹取住,结构简单,夹爪开合方便。
附图说明
[0016]图1为本专利技术结构示意图;图2为本专利技术抓手导向限位组件结构示意图;图3为本专利技术抓手升降机构结构示意图;图4为本专利技术抓手旋转机构结构示意图;图5为本专利技术抓手开合机构结构示意图;图6为A

A方面剖面结构示意图;图7为本专利技术夹爪机构结构示意图;图8为本专利技术抓手连接座与缓冲组件的结构示意图;图9为本专利技术开合组件和夹爪的结构示意图;
图中标记为:111、导向T形板; 112、抓手导向底板;113、抓手导向杆;114、抓手导向限位块;121、抓手开合气缸;122、开合气缸安装座;13、开合轴承; 141、开合气缸连接头;142、开合导杆;15、开合转轴;161、抓手固定座;162、抓手连接座;172、抓手缓冲导向套; 173、下压缓冲限位块;174、下压缓冲弹簧;175、产品压板;181、开合块本体;182、开合轴承固定座;183、抓手开合轴承;184、吊耳;185、第一弹簧固定螺柱;186、第二弹簧固定螺柱;187、夹紧弹簧; 188、限位轴套;19、夹爪;31、旋转伺服电机;32、旋转减速机;331、旋转主动轮;332、旋转从动轮;333、同步带;341、抓手升降气缸;342、升降固定座;343、抓手气缸连接头。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进一步说明。
[0018]如图1至图9所示的一种具有升降和旋转的抓料机械手,包括抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手开合机构、夹爪机构以及抓手导向限位组件。如图1和图2所示,抓手导向限位组件包括具有导向孔的导向T形板111、贯穿在导向孔内的抓手导向杆113、连接在抓手导向杆113底部的抓手导向底板112、连接在抓手导向杆113远离抓手导向底板112一端的抓手导向限位块114;为了对抓手导向杆113进行保护,在抓手导向杆113上还套置了导向杆导套,导向杆导套通过螺钉固定在导向T形板111上。如图1和图3所示,抓手升降机构包本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有升降和旋转功能的抓料机械手,其特征在于:包括抓手升降机构、抓手旋转机构、抓手开合机构、夹爪机构以及抓手导向限位组件,所述抓手导向限位组件包括具有导向孔的导向T形板、贯穿在导向孔内的抓手导向杆、连接在抓手导向杆底部的抓手导向底板、连接在抓手导向杆远离抓手导向底板一端的抓手导向限位块;所述抓手升降机构包括抓手升降气缸、将抓手升降气缸固定在导向T形板上的升降固定座、将抓手升降气缸的驱动端与抓手导向底板固定连接的抓手气缸连接头;所述抓手旋转机构和抓手开合机构分别安装在抓手升降机构的两侧,所述夹爪机构安装在所述抓手开合机构的下端;所述抓手旋转机构包括旋转伺服电机、与旋转伺服电机配合使用的旋转减速机、安装在旋转减速机驱动端上的旋转主动轮,还包括安装在抓手开合机构下端与夹爪机构连接的旋转从动轮,连接旋转主动轮与旋转从动轮的同步带;所述旋转减速机固定在所述抓手导向底板上。2.如权利要求1所述的一种具有升降和旋转功能的抓料机械手,其特征在于:所述抓手开合机构包括安装在抓手导向底板上的开合气缸安装座、安装在开合气缸安装座上的抓手开合气缸,所述抓手导向底板内安装有开合轴承,所述开合轴承内安装有开合转轴; 还包括开合导杆、将开合导杆与抓手开合气缸连接的开合气缸连接头;所述开合导杆可以穿过开合转轴进入夹爪机构。3.如权利要求2所述的一种具有升降和旋转功能的抓料机械手,其特征在于:所述旋转从动轮与所述开合转轴进行连接,所述旋转从动轮转动可以带...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙征
申请(专利权)人:无锡祺芯半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1