一种谐振装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于光通信技术领域，公开了一种谐振装置及其制备方法。本发明专利技术提供的谐振装置包括光波导微环谐振器和薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括上电极层、压电材料层和下电极层，压电材料层位于上电极层和下电极层之间，光波导微环谐振器嵌入于压电材料层中，光波导微环谐振器与薄膜体声波谐振器耦合，本发明专利技术利用薄膜体声波谐振器的逆压电效应能够实现对光波导微环谐振器的调频，并能够使二者的耦合效果达到最佳，此外，薄膜体声波谐振器中的压电材料层还能直接作为光波导微环谐振器的反射介质，进而有效简化结构。进而有效简化结构。进而有效简化结构。

【技术实现步骤摘要】
一种谐振装置及其制备方法


[0001]本专利技术属于光通信
，更具体地，涉及一种谐振装置及其制备方法。

技术介绍

[0002]光学滤波器是在微波及更高频段使用光学原理进行滤波的器件，与现有的传统滤波器相比，光学滤波器采用光进行信号处理，在高频段有着巨大的优势。光波导微环谐振器是光学滤波器的一种重要构成器件，利用谐振器微环对光信号产生的选择性衍射，实现滤波功能。
[0003]光波导微环谐振器对光信号的选择性由材料属性和谐振器几何结构决定，在制作完成后，光波导微环谐振器能够选择的光信号波长是确定的。因此，需要一个外加器件来实现光波导微环谐振器的调谐。
[0004]薄膜体声波谐振器是现有工艺发展成熟的射频滤波器的关键器件，与光波导滤波器同是能够在硅片上集成生产的器件。通过薄膜体声波谐振器和光波导微环谐振器二者的耦合，可以实现电信号对光信号的控制，然而，现有技术中两者耦合的效果较差。

技术实现思路

[0005]本专利技术通过提供一种谐振装置及其制备方法，解决现有技术中利用薄膜体声波谐振器对光波导微环谐振器进行调频时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种谐振装置，其特征在于，包括：光波导微环谐振器和薄膜体声波谐振器；所述薄膜体声波谐振器包括上电极层、压电材料层和下电极层，所述压电材料层位于所述上电极层和所述下电极层之间；所述光波导微环谐振器嵌入于所述压电材料层中，所述光波导微环谐振器与所述薄膜体声波谐振器耦合。2.根据权利要求1所述的谐振装置，其特征在于，所述光波导微环谐振器包括一个线形波导和一个圆形谐振微环；光信号从所述线形波导的一端进入，经所述圆形谐振微环产生谐振信号后从所述线形波导的另一端传出。3.根据权利要求2所述的谐振装置，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器还包括衬底，所述衬底与所述下电极层之间设有空腔；所述上电极层核心工作区域的形状和所述下电极层核心工作区域的形状为相同的多边形，且所述上电极层核心工作区域和所述下电极层核心工作区域在垂直于电极平面的方向上均覆盖所述圆形谐振微环。4.根据权利要求1所述的谐振装置，其特征在于，所述压电材料层采用氮化铝、钪掺杂氮化铝、氧化锌、铌酸锂、钽酸锂、锆钛酸铅中的任意一种制成；所述光波导微环谐振器采用硅或二氧化硅制成。5.根据权利要求1所述的谐振装置，其特征在于，所述光波导微环谐振器与所述压电材料层具有相同的高度，且无缝相邻。6.根据权利要求5所述的谐振装置，其特征在于，所述压电材料层中刻蚀有空槽，所述光波导微环谐振器沉积在所述空槽中。7.一种谐振装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙成亮，范宇晨，蔡耀，许秉乾，童欣，王雅馨，杨超翔，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：