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本发明属于光通信技术领域，公开了一种谐振装置及其制备方法。本发明提供的谐振装置包括光波导微环谐振器和薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括上电极层、压电材料层和下电极层，压电材料层位于上电极层和下电极层之间，光波导微环谐振器嵌入于压电材料层...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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