一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构，包括X向框架和Y向框架，Y向框架上设置Y向直线导轨和Y向运动机构；X向框架固定X向直线导轨和X向引正导向托架装置，X向直线导轨通过滑块固定X向移动抓手。本实用新型专利技术以高真空伺服电机及高真空减速机为动力驱动链传动装置在X向直线导轨副上做往复直线运动；采用高真空专用滚珠丝杠副、直线导轨副组合，通过伺服电机、减速机、磁流体机构将动力由大气下传入真空腔体内，实现Y向移动功能，具有工作效率高，占用空间小，操作方便，故障率低的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构


[0001]本技术属于镀膜设备
，尤其涉及一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构。

技术介绍

[0002]真空技术可以满足提高产品质量和生产工艺要求的提高，应用较为广泛的真空镀膜技术，在真空中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，一般的薄膜制备方式都需要经历抽真空、加热、镀膜等一系列过程，在镀膜之前将真空设备抽真空，完成镀膜工作，目前在真空设备中工装盘在传递交接时，工装盘需要根据镀膜加工需要在平面的两个方向移动，实现基片交接、传递、镀膜功能，目前在真空设备中使用直线引动器，通过直线定位平台，实现真空模组在1000mm以下的移动距离，无法满足长距离传递要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供结构简单的一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构。
[0004]为了实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案为：
[0005]一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构，包括X向框架和Y向框架，Y向框架固定原点位开关，Y向框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构，其特征在于：包括X向框架和Y向框架，Y向框架固定原点位开关，Y向框架上设置Y向直线导轨和Y向运动机构，所述Y向运动机构包括Y向丝杠、联轴器、磁流体、减速机、伺服电机，所述伺服电机连接减速机，磁流体两端分别连接减速机和联轴器，Y向丝杠与磁流体连接；X向框架固定X向直线导轨和X向引正导向托架装置，高真空伺服电机、高真空减速机和链轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：董亮，任鸿庆，张军国，
申请(专利权)人：沈阳慧宇真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：