【技术实现步骤摘要】
一种零部件加工用真空镀膜设备及镀膜方法
[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体是一种零部件加工用真空镀膜设备及镀膜方法。
技术介绍
[0002]在真空镀膜中，包含有蒸发镀膜和溅射类镀膜，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜；对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]在具体真空镀膜工艺中，需要先将零部件清洗烘干，再进行镀膜操作，紧着进行烘干等等操作；而在设备中镀膜时，现有技术多为将零部件挂设在旋转架上，并在镀膜设备中旋转进行镀膜，但零部件的挂设点容易出现遮挡，形成镀膜不够全面的问题。
[0004]综上所述，提供一种零部件加工用真空镀膜设备，解决零部件的挂设点容易出现遮挡，形成镀膜不够全面的技术难题。
技术实现思路
[0005]针对在设备中镀膜时，现有技术多为将零部件挂设在旋转架上，并在镀膜设备中旋转...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种零部件加工用真空镀膜设备，包括真空镀膜设备主体(1)，其特征在于，还包括：镀膜旋转架(6)，所述镀膜旋转架(6)转动装配在所述真空镀膜设备主体(1)上，使用真空镀膜设备主体(1)对零部件进行真空镀膜；单位多维度转动架(7)，所述单位多维度转动架(7)设置有多个，呈等间距可拆卸式安装在镀膜旋转架(6)上，并跟随镀膜旋转架(6)在真空镀膜设备主体(1)上进行同步旋转，单位多维度转动架(7)用于横向自转的同时进行纵向自转；限位压头(7234)，所述限位压头(7234)设置有多个，并装配在单位多维度转动架(7)上；限位压头(7234)用于将零部件限位在单位多维度转动架(7)上，配合单位多维度转动架(7)提供的多维度转动完成带动零部件进行多维度旋转真空镀膜；其中，限位压头(7234)上包含有按压盘(72341)，按压盘(72341)上平铺固定有多个单位伸缩限位压头；多个限位压头(7234)分别通过各自单位体上的局部多个单位伸缩限位压头作用在零部件上完成将零部件装配在单位多维度转动架(7)上；局部多个单位伸缩限位压头利用自身长度调整替换后用于调节作用在零部件的不同位置进行限位零部件。2.根据权利要求1所述的一种零部件加工用真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备主体(1)上安装有控制面板(2)；真空镀膜设备主体(1)上还安装有真空镀膜罐(5)，而镀膜旋转架(6)转动装配在真空镀膜罐(5)内部，真空镀膜罐(5)端部安装有密封盖(3)；真空镀膜罐(5)通过底部固定有的支撑座(4)进行支撑；支撑座(4)包含有四根支撑腿，支撑腿通过加固板固定在真空镀膜罐(5)上，支撑腿在远离加固板的一端固定有呈矩形状的固定框。3.根据权利要求1所述的一种零部件加工用真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜旋转架(6)包含有呈平行分布的顶盘(62)和底盘(64)，位于顶盘(62)和底盘(64)之间固定有多个呈环形阵列分布的装配架(63)；多个单位多维度转动架(7)呈等间距可拆卸式安装在装配架(63)上；在顶盘(62)和底盘(64)的中心位置处贯穿固定有转轴(61)。4.根据权利要求3所述的一种零部件加工用真空镀膜设备，其特征在于，所述装配架(63)上包含有装配框(631)，装配框(632)为矩形框；位于装配框(632)两侧分别开设有多个呈等间距分布的装配孔(631)，装配孔(631)用于安装单位多维度转动架(7)。5.根据权利要求1所述的一种零部件加工用真空镀膜设备，其特征在于，所述单位多维度转动架(7)是由外驱动环(71)，以及转动连接在外驱动环(71)内部的内旋转驱动结构(72)组成；其中，外驱动环(71)上设有环体(711)，环体(711)外侧壁上固定有多个安装板(715)，安装板(715)上开设有安装孔(713)，利用螺丝穿插在安装孔(713)将单位多维度转动架(7)安装在镀膜旋转架(6)上；完成多个单位多维度转动架(7)呈等间距可拆卸式安装在镀膜旋转架(6)上。6.根据权利要求5所述的一种零部件加工用真空镀膜设备，其特征在于，所述环体(711)的内侧壁上配合内旋转驱动结构(7...
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