一种真空镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空镀膜装置，涉及镀膜装置技术领域。该一种真空镀膜装置，包括外壳机构，外壳机构包括层壳一，层壳一的上端口内侧壁固定连接有壳板一，层壳一的上端面固定连接有层壳二，层壳二的内部设置有压移机构，压移机构包括底板，底板贯穿嵌入且固定连接壳板一的表面中部，底板的下表面四侧等距均匀的贯穿且固定连接有底管，底管呈现管状且其上端面齐平底板的上表面，底管的内部均插入有立柱，四个立柱的上端共同固定连接有压移板，立柱的上端外侧绕接有弹簧一，弹簧一的上端对应固定连接压移板且其下端对应固定连接底板，该一种真空镀膜装置，使得圆滑的基片能够均匀且快速的进行镀膜，提高装置的镀膜能力。提高装置的镀膜能力。提高装置的镀膜能力。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜装置


[0001]本专利技术涉及镀膜装置
，具体为一种真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜，也称为薄膜沉积，是一种真空室工艺，将非常薄且稳定的镀膜层施加到基材表面，以保护其免受可能磨损或降低其效率的力。真空镀膜很薄，厚度在零点二五微米到十微米(零点零一英寸到零点四英寸)之间。
[0003]真空镀膜有多种类型和用途。
[0004]一般将基片挂接在真空镀膜装置内部进行镀膜，对于汽车零部件等较不规则基片在真空镀膜装置内部更好夹持，或者通过吊绳悬挂即可，但是针对于表面圆滑的球体或者椭球体基片来说，十分不方便对其进行夹持或者悬吊，这样导致无法对该种基片进行大规模的镀膜，且夹持该基件的过程中，夹持机构还会阻挡部分镀膜，不仅需要二次镀膜而且还容易导致基件本身镀膜不均匀的问题，因此亟需一种真空镀膜装置，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空镀膜装置，包括外壳机构，所述外壳机构包括层壳一，所述层壳一的上端口内侧壁固定连接有壳板一，所述层壳一的上端面固定连接有层壳二，所述层壳二的内部设置有压移机构，所述压移机构包括底板，所述底板贯穿嵌入且固定连接壳板一的表面中部，所述底板的下表面四侧等距均匀的贯穿且固定连接有底管，所述底管呈现管状且其上端面齐平底板的上表面，所述底管的内部均插入有立柱，四个所述立柱的上端共同固定连接有压移板，所述立柱的上端外侧绕接有弹簧一，所述弹簧一的上端对应固定连接压移板且其下端对应固定连接底板；所述压移机构的内部设置有镀膜机构，所述镀膜机构包括靶材管，所述靶材管的下表面固定连接底板的上表面中部，所述靶材管的上端对应贯穿压移板且固定连通有靶材箱，所述靶材箱的内部中空，所述靶材箱的上壁贯穿且固定连通有回流管。
[0007]优选的，所述层壳二的左右壁中部均嵌入安装有进出料门，所述层壳二的上端口内侧壁固定连接有壳板二，所述层壳二的后壁中部嵌入安装有通框，所述层壳二的后表面中部固定连接有收集壳，所述收集壳正对且罩接在通框的后侧；所述层壳二的上端面固定连接有层壳三，所述层壳三的上内壁中部固定连接有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱的下端固定连接有柱架，所述柱架呈现n字形且左右向设置，所述柱架处于靶材箱的外侧；所述压移板贯穿嵌入壳板二的表面中部，所述压移板的上表面固定连接柱架；所述回流管远离靶材箱的那一端贯穿层壳三且固定连通收集壳。
[0008]优选的，所述靶材管的侧壁四周等距均匀的贯穿开设有滑槽，所述滑槽的数量为四个，四个所述滑槽与四个所述底管交错设置；所述滑槽的内部嵌入固定连接有拉带，所述
拉带的表面等距均匀的贯穿且固定连接有支管，所述支管的内部中空且与靶材管的内部连通，相邻的两个所述支管且处于靶材管内部的那一端之间固定连接有弹簧二。
[0009]优选的，相邻的两个所述支管且处于靶材管外侧的那一端之间设置有氩气囊，所述氩气囊的内部中空，所述氩气囊的上下两端均连通有导气管，所述氩气囊的导气管对应贯穿且固定连通支管，所述氩气囊的导气管在支管的内部向远离拉带的方向偏转；相邻的两个所述支管且处于靶材管外侧的那一端之间设置有两组上下对称的镀膜仓，所述镀膜仓处于氩气囊远离拉带的那一侧，同一组上下正对的两个所述镀膜仓向相背离的方向凹陷呈碗状，同一组上下正对的两个所述镀膜仓相背离的那一面中部贯穿且固定连通有喷淋管，所述喷淋管远离镀膜仓的那一端贯穿且固定连通支管。
[0010]优选的，所述氩气囊的顺时针侧设置有氩气仓，所述氩气仓的下表面固定连接底板，所述氩气仓的上端贯穿且固定连通有氩气管，所述氩气管的上端分叉且依次对应贯穿连通氩气囊。
[0011]优选的，所述层壳一的内部设置有基座机构，所述基座机构包括中柱，所述中柱前后向设置，所述中柱上侧中部前后均嵌入设置有棘板，所述棘板的左端与中柱通过弹簧轴活动连接，所述中柱的前后端外侧均套接有齿轮，所述齿轮与棘板的位置正对，所述齿轮的外侧等距均匀的固定连接有齿牙，所述齿轮的内侧壁等距均匀的开设有内齿，前后两侧的所述齿轮上开设的内齿方向相反，前侧的所述内齿方向与前侧的所述棘板方向相同，后侧的所述内齿方向与后侧的所述棘板方向相逆；前后两个所述齿轮相接近的那一侧均固定连接有套环，所述套环通过轴承活动连接中柱，前侧的所述套环的左上侧以及后侧的所述套环的右上侧均固定连接有侧支，所述侧支远离套环的那一端通过转轴活动连接有竖臂，所述竖臂的上端通过转轴对应活动连接底管。
[0012]优选的，所述中柱的前后端面均固定连接有侧轴，所述侧轴远离中柱的那一端通过轴承活动连接层壳一，所述侧轴的中部外侧固定套接有转盘一。
[0013]优选的，所述层壳二的内部设置有导流机构组，所述导流机构组包括两个前后对称设置的导向机构，两个所述导向机构分别处于压移机构的前后两侧，后侧的所述导向机构与通框正对；所述导向机构包括导向轴，前侧的所述导向轴的前端对应且通过轴承活动连接层壳二，后侧的所述导向轴的后端对应且通过轴承活动连接通框，所述导向轴接近压移机构的那一端外侧固定套接有导向扇，前后两侧的所述导向机构上的导向扇方向相同，所述导向轴的中部外侧固定套接有转盘二，所述转盘二的外侧套接有皮带，所述皮带远离转盘二的那一端贯穿壳板一且对应套接在转盘一外侧。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015](1)、该一种真空镀膜装置，将基片放置在同一组下侧的镀膜仓中，在工作前期将外壳机构的内部抽成真空状态，启动电动伸缩柱伸长，通过柱架推动压移板向下侧方向移动，压移板的下移会首先接触到最上侧的支管并将其向下侧推动，使得其沿着滑槽下移，支管之间的距离逐渐减小并且逐渐挤压氩气囊,氩气囊中的氩气通过氩气囊的导气管向镀膜仓的方向移动，同时带动支管从靶材管内部吸取的靶材向镀膜仓方向移动，同一组的镀膜仓相互对接形成相对封闭的环境，同时氩气携带着靶材从喷淋管向镀膜仓中喷射对基片进行喷涂，下侧的喷淋管喷射靶材会将基片带动在一组镀膜仓形成的空间中移动，从而将其的各个表面均喷涂上靶材，解决了圆滑的基片难以夹持的问题，使得圆滑的基片能够均匀
且快速的进行镀膜，提高装置的镀膜能力。
[0016](2)、该一种真空镀膜装置，通过在靶材管的外侧设置多组支管，且上下相邻的支管之间设置两组镀膜仓，从而能够一次性对较多的圆滑基片进行镀膜，解决了圆滑的基片难以多量夹持镀膜的问题，使得真空镀膜装置的生产效率提升。
[0017](3)、该一种真空镀膜装置，通过镀膜仓的设置，将层壳二的内部空间分隔化，针对于一个基片划分一个镀膜仓的对接空间，在对基片进行镀膜的时候，喷涂出来的靶材无需分布在整个层壳二的空间中，而是适配与单个基片的空间进行靶材的用量，同时喷淋管正对基片的位置也更加的准确，能够提高喷涂针对性同时节约单次喷涂的靶材用量。
[0018](4)、该一种真空镀膜装置，通过镀膜仓喷涂靶材的时候封闭罩接，从而能够减本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，包括外壳机构(1)，所述外壳机构(1)包括层壳一(101)，所述层壳一(101)的上端口内侧壁固定连接有壳板一(102)，所述层壳一(101)的上端面固定连接有层壳二(103)，其特征在于：所述层壳二(103)的内部设置有压移机构(2)，所述压移机构(2)包括底板(201)，所述底板(201)贯穿嵌入且固定连接壳板一(102)的表面中部，所述底板(201)的下表面四侧等距均匀的贯穿且固定连接有底管(202)，所述底管(202)呈现管状且其上端面齐平底板(201)的上表面，所述底管(202)的内部均插入有立柱(203)，四个所述立柱(203)的上端共同固定连接有压移板(204)，所述立柱(203)的上端外侧绕接有弹簧一(205)，所述弹簧一(205)的上端对应固定连接压移板(204)且其下端对应固定连接底板(201)；所述压移机构(2)的内部设置有镀膜机构(3)，所述镀膜机构(3)包括靶材管(301)，所述靶材管(301)的下表面固定连接底板(201)的上表面中部，所述靶材管(301)的上端对应贯穿压移板(204)且固定连通有靶材箱(302)，所述靶材箱(302)的内部中空，所述靶材箱(302)的上壁贯穿且固定连通有回流管(303)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述层壳二(103)的左右壁中部均嵌入安装有进出料门，所述层壳二(103)的上端口内侧壁固定连接有壳板二(104)，所述层壳二(103)的后壁中部嵌入安装有通框(105)，所述层壳二(103)的后表面中部固定连接有收集壳(106)，所述收集壳(106)正对且罩接在通框(105)的后侧；所述层壳二(103)的上端面固定连接有层壳三(107)，所述层壳三(107)的上内壁中部固定连接有电动伸缩柱(108)，所述电动伸缩柱(108)的下端固定连接有柱架(109)，所述柱架(109)呈现n字形且左右向设置，所述柱架(109)处于靶材箱(302)的外侧；所述压移板(204)贯穿嵌入壳板二(104)的表面中部，所述压移板(204)的上表面固定连接柱架(109)；所述回流管(303)远离靶材箱(302)的那一端贯穿层壳三(107)且固定连通收集壳(106)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述靶材管(301)的侧壁四周等距均匀的贯穿开设有滑槽(304)，所述滑槽(304)的数量为四个，四个所述滑槽(304)与四个所述底管(202)交错设置；所述滑槽(304)的内部嵌入固定连接有拉带(305)，所述拉带(305)的表面等距均匀的贯穿且固定连接有支管(306)，所述支管(306)的内部中空且与靶材管(301)的内部连通，相邻的两个所述支管(306)且处于靶材管(301)内部的那一端之间固定连接有弹簧二(307)。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：相邻的两个所述支管(306)且处于靶材管(301)外侧的那一端之间设置有氩气囊(308)，所述氩气囊(308)的内部中空，所述氩气囊(308)的上下两端均连通有导气管，所述氩气囊(308)的导气管对应贯穿且固定连通支管(306)，所述氩气囊(308)的导气管在支管(306)的内部向远离拉带(305)的方向偏转；相邻的两个所述支管(306...

【专利技术属性】
技术研发人员：金龙钊，金梦娣，
申请(专利权)人：安徽泰臻真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：