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本实用新型公开一种真空腔体内X、Y向二维移动平台机构，包括X向框架和Y向框架，Y向框架上设置Y向直线导轨和Y向运动机构；X向框架固定X向直线导轨和X向引正导向托架装置，X向直线导轨通过滑块固定X向移动抓手。本实用新型以高真空伺服电机及高真空...
该专利属于沈阳慧宇真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳慧宇真空技术有限公司授权不得商用。

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