一种真空腔体内滚筒线机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空腔体内滚筒线机构，包括框架结构，以及设置在框架结构上的动力辊组件、伺服电机、引导轮组件、档杆组件，动力辊组件与链条A连接，伺服电机、减速机、联轴器、磁流体顺序连接后，磁流体与链轮串联一起，动力辊组件与链轮通过链条B连接。本实用新型专利技术采用伺服电机、减速机、磁流体、链传动机构转动，导轮引正，磁耦合推杆完成工装盘的有效输送，使工装盘交接平稳，杜绝故障率，在一次开启真空腔体同等工作条件下，实现多次镀膜工艺，提高真空设备的自动化，减轻工人劳动强度。具有工作效率高，占用空间小，操作方便，故障率低的优点。的优点。的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体内滚筒线机构


[0001]本技术属于镀膜设备
，尤其涉及一种真空腔体内滚筒线机构。

技术介绍

[0002]真空技术可以满足提高产品质量和生产工艺要求的提高，应用较为广泛的真空镀膜技术，在真空中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，一般的薄膜制备方式都需要经历抽真空、加热、镀膜等一系列过程，在镀膜之前将真空设备抽真空，完成镀膜工作，目前在真空设备中工装盘在传递交接时，通常采用的传递杆式交接，工作效率低，占用空间大，操作不方便，故障率高，而且生产成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供结构简单的一种真空腔体内滚筒线机构。
[0004]为了实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案为：
[0005]一种真空腔体内滚筒线机构，包括框架结构，以及设置在框架结构上的动力辊组件、伺服电机、引导轮组件、档杆组件，所述框架结构包括通过螺钉固定连接的连接梁焊件与底盘组件，连接梁焊件和动力辊组件均通过螺钉固定连接框架；引导轮组件和档杆组件均固定在框架侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体内滚筒线机构，其特征在于：包括框架结构，以及设置在框架结构上的动力辊组件、伺服电机、引导轮组件、档杆组件，所述框架结构包括通过螺钉固定连接的连接梁焊件与底盘组件，连接梁焊件和动力辊组件均通过螺钉固定连接框架；引导轮组件和档杆组件均固定在框架侧面，框架顶部固定连接滚筒上护罩；动力辊组件与链条A连接，伺服电机、减速机、联轴器、磁流体顺序连接后，磁流体与链轮串联一起，动力辊组件与链轮通过链条B连接。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体内滚筒线机构，其特征在于：所述档杆组件由磁耦合组件与气缸通过连接支架连接。3.根据权利要求1或2所述的一种真空腔体内滚筒线机构，其特征在于：所述框架为铝合金框架，连接梁焊件与铝合金框架底部用螺钉固定，铝合金框架上表面与连接支架用...

【专利技术属性】
技术研发人员：董亮，任鸿庆，张军国，
申请(专利权)人：沈阳慧宇真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：