一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法技术

本发明专利技术涉及一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法，属于薄膜沉积技术领域。所述方法为在关节轴承内圈外表面沉积由钛

【技术实现步骤摘要】
一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法


[0001]本专利技术涉及一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法，属于薄膜沉积


技术介绍

[0002]关节轴承主要由金属材质的内圈和外圈组成，目前在航空航天、汽车船舶、军工机械等领域得到了广泛的应用。关节轴承在正常运转时，外圈的内表面和内圈的外表面组成一个球面的滑动摩擦副；随着时间的推移，摩擦副的磨损逐渐增加，最终导致关节轴承失效，因此寻找一种可以改善摩擦副的润滑性能的新方法已成为重中之重。
[0003]类金刚石(DLC)薄膜是近来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，兼具了金刚石和石墨的优良特性，具有高硬度、高电阻率、良好光学性能以及优秀的摩擦学特性，因此在航空航天、工程机械等领域具有广阔的应用前景。但是，直接将类金刚石材料沉积在关节轴承内圈外表面形成的薄膜承载能力低、易脱落，限制了关节轴承的使用寿命。
[0004]专利申请CN112553584A公开了一种关节轴承内圈外表面沉积类金刚石薄膜的方法，所述方法先在关节轴承内圈外表面沉积了钛过渡层，然后在过渡层表面沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法，其特征在于：所述方法为在关节轴承内圈外表面沉积复合碳基薄膜，包括以下步骤：(1)向沉积室内通入氩气，打开离子束和偏压电源，对关节轴承内圈附加偏压；打开磁控溅射Ti靶，通入氩气和乙炔，在关节轴承内圈外表面沉积钛
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碳过渡层；过渡层沉积工艺参数为：工作气压为0.5Pa～0.7Pa，所述偏压通过直流脉冲加载，为
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400V～
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500V；占空比为50％～60％，频率为30KHz～50KHz，钛靶电流为1A～3A；沉积时间为60min～80min；氩气和乙炔的流量分别从20sccm匀速增加到80sccm，并保持流量比为1:1；(2)关闭磁控溅射Ti靶，继续向沉积室内通入氩气和乙炔并保持流量比为1:1，打开离子束和偏压电源，并打开磁控溅射C靶，在钛
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碳过渡层上表面沉积类金刚石薄膜，得到复合碳基薄膜；类金刚石薄膜沉积工艺参数为：工作气压为0.8Pa～1.1Pa，乙炔体积为通入乙炔和氩气总体积的50％～60％；偏压电源为直流脉冲电源，偏压为
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300V～
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500V；占空比为50％～60％，频率为30KHz～50KHz；C靶电流为2A～3A，离子束电压为1100V～1300V，沉积时间为200min～350min。2.根据权利要求1所述一种改善关节轴承摩擦副润滑性能的方法，其特征在于：所述方法还包括对关节轴承内圈外表面的清洗，包括以下步骤：(1)将关节轴承内圈清洗至无油污和锈迹，脱水...

【专利技术属性】
技术研发人员：王少峰，程大林，周岩，
申请(专利权)人：河北汉光重工有限责任公司，
类型：发明
国别省市：