【技术实现步骤摘要】
一种混合光源照明系统
[0001]本技术涉及工业曝光设备
,尤其是指一种混合光源照明系统。
技术介绍
[0002]在激光直写成像(LDI)设备领域,针对PCB油墨曝光制程中,为了满足不同油墨敏感度需求、提升设备性能、提高生产效率、提升设备寿命等,需要使用不同波段的光源。
[0003]现有技术中,采用单一LED光源或者是单一激光光源的DLP照明系统,在单一LED光源系统中,LED芯片直接连接匀光的光棒,对LED光源的光收集完全依靠光棒尺寸以及芯片离光棒的间距。尽管可以采用不同波长的LED芯片,但芯片的数量受到接收面尺寸限制,无法扩展,因此光源功率有限,且因为LED芯片功率较低,系统的出射光功率受限;单一激光光源的DLP系统,光功率高,但由于波长的不连续性,系统光源波长比较单一,不如LED光源波长丰富。因此在面对不同油墨的阻焊曝光领域应用单一。此外,激光存在散斑现象,对曝光成像质量产生不良影响。激光的发散角小,对激光的匀光设计也不同于LED光源系统。
技术实现思路
[0004]为此,本技术所要解决的技术 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种混合光源照明系统,其特征在于,包括:激光模组,所述激光模组包括激光光源和激光反射镜,所述激光光源输出激光光束,所述激光反射镜与所述激光光束倾斜设置;第一LED模组,所述第一LED模组包括LED光源和波长合束镜,所述LED光源输出LED光束,所述波长合束镜与所述LED光束倾斜设置;所述LED光源平行于所述激光光源设置;且所述波长合束镜平行于所述激光反射镜设置;中继模组,所述中继模组包括中继反射镜,所述中继反射镜平行于所述波长合束镜设置;所述中继反射镜的光路反射至产品。2.根据权利要求1所述的混合光源照明系统,其特征在于:所述激光模组还包括激光准直透镜,所述激光准直透镜垂直于所述激光光源设置。3.根据权利要求1所述的混合光源照明系统,其特征在于:所述LED光源包括LED基板和LED芯片,至少两个所述LED芯片设置在所述LED基板的一侧,所述基板的另一侧设置有液冷板,所述液冷板上开设有进水口和出水口。4.根据权利要求3所述的混合光源照明系统,其特征在于:所述第一LED模组还包括LED透镜和LED光阑,所述LED透镜和LED光阑依次设置在所述LED芯片远离LED基板的一侧;所述LED透镜的数量与所述LED芯片的数量相等。...
【专利技术属性】
技术研发人员:程波涛,高文宏,郭泽彬,
申请(专利权)人:江苏镭创高科光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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