一种自动上料的曝光机制造技术

本实用新型专利技术涉及曝光机技术领域，且公开了一种自动上料的曝光机，包括曝光机、上料台以及纵向移动组件，所述纵向移动组件位于所述曝光机和所述上料台之间，所述纵向移动组件安装于墙顶处，所述纵向移动组件的底部设有转向组件，所述转向组件的转动端设有横向移动组件，所述横向移动组件的移动端对称设有夹持组件；通过设置纵向移动组件、转向组件和横向移动组件，纵向移动组件、转向组件和横向移动可以带动夹持组件进行三个轴向的运动，同时，横向移动组件上设有两个夹持组件，两个夹持组件同时向外或向内移动，在一个夹持组件进行放料时，另一端的夹持组件可同步自动取料，实现取料和放料的同时进行，可大幅度提升上料效率。可大幅度提升上料效率。可大幅度提升上料效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动上料的曝光机


[0001]本技术涉及曝光机
，具体为一种自动上料的曝光机。

技术介绍

[0002]曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。
[0003]现有技术中，为了提升曝光机的工作效率，通常采用机械手等机构将电路板自动放置于曝光机的进料口，现有的上料机构的上料动作为取料、移动和放料三个步骤，这三个步骤通常是单独进行的，导致取料和放料需要。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种自动上料的曝光机，具备的优点，解决了的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动上料的曝光机，包括曝光机、上料台以及纵向移动组件，所述纵向移动组件位于所述曝光机和所述上料台之间，所述纵向移动组件安装于墙顶处，所述纵向移动组件的底部设有转向组件，所述转向组件的转动端设有横向移动组件，所述横向移动组件的移动端对称设有夹持组件，所述夹持组件包括：
[0008]夹持杆；
[0009]限位滑块，设置于所述夹持杆的顶端；
[0010]夹持台，固定连接于所述夹持杆的底端；
[0011]电动吸盘，设置于所述夹持台的底部；
[0012]气泵，设置于所述夹持台的顶部。
[0013]优选的，所述纵向移动组件包括：
[0014]顶架；
[0015]液压缸，对称设置于所述顶架的底部。
[0016]优选的，所述转向组件包括：
[0017]支撑板，设置于所述纵向移动组件的伸缩端；
[0018]转向电机，安装于所述支撑板的顶部，输出轴与所述横向移动组件的顶部固定连接。
[0019]优选的，所述横向移动组件包括：
[0020]横向移动架；
[0021]横向移动电机，安装于所述横向移动架的一侧；
[0022]双向丝杠，转动连接于所述横向移动架的内部，一端与所述横向移动电机的输出轴固定连接；
[0023]丝杠螺母，对称分布于所述双向丝杠的外侧壁，与所述双向丝杠螺纹连接，底部于所述限位滑块相连。
[0024]优选的，所述夹持台的底部共设有两组所述电动吸盘，两组所述电动吸盘对称分布。
[0025]优选的，所述曝光机和所述上料台的顶部均设有检测探头。
[0026](三)有益效果
[0027]与现有技术相比，本技术提供了一种自动上料的曝光机，具备以下有益效果：
[0028]该自动上料的曝光机，通过设置纵向移动组件、转向组件和横向移动组件，纵向移动组件、转向组件和横向移动可以带动夹持组件进行三个轴向的运动，同时，横向移动组件上设有两个夹持组件，两个夹持组件同时向外或向内移动，在一个夹持组件进行放料时，另一端的夹持组件可同步自动取料，实现取料和放料的同时进行，可大幅度提升上料效率。
附图说明
[0029]图1为本技术的结构示意图；
[0030]图2为本技术中纵向移动组件、转向组件、横向移动组件和夹持组件的结构示意图；
[0031]图3为本技术中横向移动组件的结构示意图；
[0032]图4为本技术中夹持组件的结构示意图。
[0033]图中：
[0034]10、曝光机；
[0035]20、上料台；
[0036]30、纵向移动组件；31、顶架；32、液压缸；
[0037]40、转向组件；41、支撑板；42、转向电机；
[0038]50、横向移动组件；51、横向移动架；52、横向移动电机；53、双向丝杠；54、丝杠螺母；
[0039]60、夹持组件；61、夹持杆；62、限位滑块；63、夹持台；64、电动吸盘；65、气泵。
[0040]70、检测探头。
具体实施方式
[0041]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0042]实施例一
[0043]一种自动上料的曝光机，包括曝光机10、上料台20以及纵向移动组件30，纵向移动组件30位于曝光机10和上料台20之间，纵向移动组件30安装于墙顶处，纵向移动组件30的
底部设有转向组件40，转向组件40的转动端设有横向移动组件50，横向移动组件50的移动端对称设有夹持组件60，夹持组件60包括：
[0044]夹持杆61；
[0045]限位滑块62，设置于夹持杆61的顶端；
[0046]夹持台63，固定连接于夹持杆61的底端；
[0047]电动吸盘64，设置于夹持台63的底部；
[0048]气泵65，设置于夹持台63的顶部。
[0049]本实施例中，具体的，纵向移动组件30包括：
[0050]顶架31；
[0051]液压缸32，对称设置于顶架31的底部。
[0052]本实施例中，液压缸32带动下方支撑板41升降。
[0053]本实施例中，具体的，转向组件40包括：
[0054]支撑板41，设置于纵向移动组件30的伸缩端；
[0055]转向电机42，安装于支撑板41的顶部，输出轴与横向移动组件50的顶部固定连接。
[0056]本实施例中，转向电机42带动支撑板41下方的横向移动组件50转向。
[0057]本实施例中，具体的，横向移动组件50包括：
[0058]横向移动架51；
[0059]横向移动电机52，安装于横向移动架51的一侧；
[0060]双向丝杠53，转动连接于横向移动架51的内部，一端与横向移动电机52的输出轴固定连接；
[0061]丝杠螺母54，对称分布于双向丝杠53的外侧壁，与双向丝杠53螺纹连接，底部于限位滑块62相连。
[0062]本实施例中，在对两个夹持组件60进行横向移动时，通过启动横向移动电机52，使横向移动电机52带动双向丝杠53旋转，使双向丝杠53上的两个丝杠螺母54同步向内或向外移动，使丝杠螺母54上的两个夹持组件60可以同步向内或向外移动。
[0063]本实施例中，具体的，夹持台63的底部共设有两组电动吸盘64，两组电动吸盘64对称分布。
[0064]本实施例中，两组电动吸盘64对电路板的两端进行同步夹持，提升对电路板的夹持稳定性。
[0065]参阅图1
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动上料的曝光机，其特征在于：包括曝光机(10)、上料台(20)以及纵向移动组件(30)，所述纵向移动组件(30)位于所述曝光机(10)和所述上料台(20)之间，所述纵向移动组件(30)安装于墙顶处，所述纵向移动组件(30)的底部设有转向组件(40)，所述转向组件(40)的转动端设有横向移动组件(50)，所述横向移动组件(50)的移动端对称设有夹持组件(60)，所述夹持组件(60)包括：夹持杆(61)；限位滑块(62)，设置于所述夹持杆(61)的顶端；夹持台(63)，固定连接于所述夹持杆(61)的底端；电动吸盘(64)，设置于所述夹持台(63)的底部；气泵(65)，设置于所述夹持台(63)的顶部。2.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述纵向移动组件(30)包括：顶架(31)；液压缸(32)，对称设置于所述顶架(31)的底部。3.根据权利要求1所述的一种自动上料的曝光机，其特征在于：所述转向组件(40)...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙峰，
申请(专利权)人：苏州华普智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：