一种晶圆表面缺陷激光检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆，所述气动伸缩杆和支撑杆的底端固定连接有承载台，所述承载台的外部设置有摇杆。本实用新型专利技术可通过齿轮、上齿条与螺纹柱之间的啮合连接，实现镭射光发射器的左右移动，且通过气缸、气动伸缩杆、支撑杆、伸缩柱、承载台与暗槽之间的相互连接配合使用的情况下，实现镭射光发射器的上下移动，便于调整镭射光发射器与晶圆之间的距离和位置，提高了晶圆表面缺陷的检测效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆表面缺陷激光检测仪


[0001]本技术涉及晶圆检测设备
，具体为一种晶圆表面缺陷激光检测仪。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆片表面缺陷检测装置是一种用于生产加工后的晶圆片，对其表面进行瑕疵检测，检测晶圆上是否存在微尘粒子、刮痕、残留物等问题，以便于生产出合格的晶圆片的辅助装置，其在晶圆片检测的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆片表面缺陷检测装置包括检测台、镭射光发射器和侦测器。
[0003]目前的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，如公告号CN215493249U的专利所述包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有固定块，所述固定块顶部固定安装有工作台，所述工作台顶部两侧固定安装有第一放置台，所述工作台中间位置两侧滑动设置有与第一放置台相匹配的第二放置台，所述第一放置台与第二放置台顶部均设置有防护垫。本技术通过转动第二旋转柄带动齿轮转动，从而带动了齿条上的第一L型移动杆与第二L型移动杆向两侧打开，这样同时实现了带动了底部镭射光发射器的移动，从而实现了可以左右调节镭射光发射器对晶圆流片顶端进行镭射光束发射的位置，提高镭射光束在晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的一端固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶端固定连接有顶板(9)，所述顶板(9)底部的中间位置固定安装有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端固定连接有气动伸缩杆(10)，所述气动伸缩杆(10)伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆(7)，所述气动伸缩杆(10)和支撑杆(7)的底端固定连接有承载台(5)，所述承载台(5)的外部设置有摇杆(11)，所述摇杆(11)的一端固定连接有齿轮(15)，所述齿轮(15)的顶部啮合有上齿条(16)，所述齿轮(15)的底部啮合有螺纹柱(19)，所述上齿条(16)和螺纹柱(19)的一端均固定连接有连接块(18)，所述连接块(18)的底端设置有镭射光发射器(21)，所述底板(1)的顶端固定连接有工作台(13)，所述工作台(13)的上面设置有晶圆。2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述工作台(13)的一端设置有把手(12)，所述把手(12)的一端固定连接有双向丝杆(22)，所述工作台(13)的两端均固定连接有固定放置板(2)，所述双向丝杆(22)的外部螺纹连接有两组活动放置板(14)，所述工作台(13)的底部开设有滑槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾怀宇，辛宝川，司建立，王超，张爱国，
申请(专利权)人：北京三禾泰达技术有限公司，
类型：新型
国别省市：