一种晶圆表面缺陷激光检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆，所述气动伸缩杆和支撑杆的底端固定连接有承载台，所述承载台的外部设置有摇杆。本实用新型专利技术可通过齿轮、上齿条与螺纹柱之间的啮合连接，实现镭射光发射器的左右移动，且通过气缸、气动伸缩杆、支撑杆、伸缩柱、承载台与暗槽之间的相互连接配合使用的情况下，实现镭射光发射器的上下移动，便于调整镭射光发射器与晶圆之间的距离和位置，提高了晶圆表面缺陷的检测效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆表面缺陷激光检测仪


[0001]本技术涉及晶圆检测设备
，具体为一种晶圆表面缺陷激光检测仪。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆片表面缺陷检测装置是一种用于生产加工后的晶圆片，对其表面进行瑕疵检测，检测晶圆上是否存在微尘粒子、刮痕、残留物等问题，以便于生产出合格的晶圆片的辅助装置，其在晶圆片检测的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆片表面缺陷检测装置包括检测台、镭射光发射器和侦测器。
[0003]目前的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，如公告号CN215493249U的专利所述包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有固定块，所述固定块顶部固定安装有工作台，所述工作台顶部两侧固定安装有第一放置台，所述工作台中间位置两侧滑动设置有与第一放置台相匹配的第二放置台，所述第一放置台与第二放置台顶部均设置有防护垫。本技术通过转动第二旋转柄带动齿轮转动，从而带动了齿条上的第一L型移动杆与第二L型移动杆向两侧打开，这样同时实现了带动了底部镭射光发射器的移动，从而实现了可以左右调节镭射光发射器对晶圆流片顶端进行镭射光束发射的位置，提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换检测位置，降低使用局限性，减少人为因素。
[0004]针对上述中的相关技术，申请人认为上述中的技术方案实现了镭射光发射器的左右移动，但是晶圆表面与镭射光发射器之间的距离固定，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，容易检测有误，降低晶圆表面缺陷检测精准度，因此本申请提出可以调节镭射光发射器与晶圆表面之间距离的激光检测仪。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆表面缺陷激光检测仪，以解决上述
技术介绍
中提出晶圆表面与镭射光发射器之间的距离固定，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，容易检测有误，降低晶圆表面缺陷检测精准度的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆，所述气动伸缩杆和支撑杆的底端固定连接有承载台，所述承载台的外部设置有摇杆，所述摇杆的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的顶部啮合有上齿条，所述齿轮的底部啮合有螺纹柱，所述上齿条和螺纹柱的一端均固定连接有连接块，所述连接块的底端设置有镭射光发射器，所述底板的顶端固定连接有工作台，所述工作台的上面设置有晶圆，实现对晶圆左右和上下的缺陷检测。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述工作台的一端设置有把手，所述把手的一端固定连接有双向丝杆，所述工作台的两端均固定连接有固定放置板，所述双向丝杆的外部螺纹连接有两组活动放置板，所述工作台的底部开设有滑槽，所述活动放置板与滑槽之
间呈滑动连接，实现对晶圆的压紧夹持。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述固定放置板和活动放置板均呈L形，所述双向丝杆两端的螺纹呈相反状，能够实现对两组晶圆的同时压紧。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述支撑板的内侧壁开设有暗槽，所述承载台的一端与暗槽的内侧呈滑动连接，辅助承载台稳定升降。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述承载台顶部的两端均固定连接有伸缩柱，所述伸缩柱的伸缩端与顶板的底端固定连接进一步提升承载台升降的稳定性。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述工作台顶部的两侧均开设有定位槽，所述定位槽内部的底壁固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的顶端固定连接有限位块，所述活动放置板内部的两侧均开设有供应于限位块贯穿的通槽，实现对活动放置板的限制，以防出现滑动的现象。
[0012]作为本技术的一种优选方案，所述连接块的底部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部螺纹连接有下齿条，所述镭射光发射器的顶端与下齿条的底端固定连接，可实现镭射光发射器的可拆卸连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)通过设置有暗槽、承载台、伸缩柱、支撑杆、气缸、气动伸缩杆、摇杆、齿轮、上齿条以及螺纹柱，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，可通过齿轮、上齿条与螺纹柱之间的啮合连接，实现镭射光发射器的左右移动，且通过气缸、气动伸缩杆、支撑杆、伸缩柱、承载台与暗槽之间的相互连接配合使用的情况下，实现镭射光发射器的上下移动，便于调整镭射光发射器与晶圆之间的距离和位置，提高了晶圆表面缺陷的检测效率；
[0015](2)通过设置有固定放置板、把手、活动放置板、双向丝杆、定位槽、复位弹簧、限位块以及通槽，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，可通过把手、双向丝杆、固定放置板与活动放置板之间的配合使用，实现对晶圆的夹持固定，且通过定位槽、复位弹簧、限位块与通槽之间的相互配合使用，实现对活动放置板的限位固定，从而保持晶圆在检测过程中的稳定性。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术的承载台内部结构示意图；
[0018]图3为本技术的镭射光发射器与连接块连接剖视结构示意图；
[0019]图4为本技术的工作台俯视剖视结构示意图；
[0020]图5为本技术的活动放置板与工作台连接局部侧视剖视结构示意图。
[0021]图中：1、底板；2、固定放置板；3、支撑板；4、暗槽；5、承载台；6、伸缩柱；7、支撑杆；8、气缸；9、顶板；10、气动伸缩杆；11、摇杆；12、把手；13、工作台；14、活动放置板；15、齿轮；16、上齿条；17、下齿条；18、连接块；19、螺纹柱；20、螺纹槽；21、镭射光发射器；22、双向丝杆；23、定位槽；24、复位弹簧；25、限位块；26、通槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：一种晶圆表面缺陷激光检测仪，请参阅图1和图2，包括底板1，底板1顶部的一端固定连接有支撑板3，支撑板3的顶端固定连接有顶板9，顶板9底部的中间位置固定安装有气缸8，气缸8的输出端固定连接有气动伸缩杆10，气动伸缩杆10伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆7，通过启动气缸8，气缸8输出端的气动伸缩杆10向下延伸可带动支撑杆7同步向下移动，气动伸缩杆10和支撑杆7的底端固定连接有承载台5，承载台5顶部的两端均固定连接有伸缩柱6，伸缩柱6的伸缩端与顶板9的底端固定连接，支撑板3的内侧壁开设有暗槽4，承载台5的一端与暗槽4的内侧呈滑动连接，推动承载台5在暗槽4的内侧向下滑动，同时，伸缩柱6随着承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的一端固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶端固定连接有顶板(9)，所述顶板(9)底部的中间位置固定安装有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端固定连接有气动伸缩杆(10)，所述气动伸缩杆(10)伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆(7)，所述气动伸缩杆(10)和支撑杆(7)的底端固定连接有承载台(5)，所述承载台(5)的外部设置有摇杆(11)，所述摇杆(11)的一端固定连接有齿轮(15)，所述齿轮(15)的顶部啮合有上齿条(16)，所述齿轮(15)的底部啮合有螺纹柱(19)，所述上齿条(16)和螺纹柱(19)的一端均固定连接有连接块(18)，所述连接块(18)的底端设置有镭射光发射器(21)，所述底板(1)的顶端固定连接有工作台(13)，所述工作台(13)的上面设置有晶圆。2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述工作台(13)的一端设置有把手(12)，所述把手(12)的一端固定连接有双向丝杆(22)，所述工作台(13)的两端均固定连接有固定放置板(2)，所述双向丝杆(22)的外部螺纹连接有两组活动放置板(14)，所述工作台(13)的底部开设有滑槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾怀宇，辛宝川，司建立，王超，张爱国，
申请(专利权)人：北京三禾泰达技术有限公司，
类型：新型
国别省市：