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北京三禾泰达技术有限公司
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一种晶圆表面缺陷激光检测仪制造技术
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下载一种晶圆表面缺陷激光检测仪的技术资料
文档序号:37803348
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本实用新型公开了一种晶圆表面缺陷激光检测仪,包括底板,所述底板顶部的一端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶端固定连接有顶板,所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸,所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆,所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑...
该专利属于北京三禾泰达技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京三禾泰达技术有限公司授权不得商用。
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