一种晶圆厚度激光全自动测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆厚度激光全自动测试机，包括机器上电模块、上外箱、下外箱和高精度平台，所述上外箱固定连接在所述下外箱的上端，所述上外箱内部底端设置有工作台，所述工作台表面分别设置有所述高精度平台和激光发射器，所述高精度平台表面上端设置有Y轴移动块，所述Y轴移动块上表面设置有X轴移动块，所述X轴移动块上表面滑动连接有滑块上端固定连接有液压缸一，所述液压缸一上表面固定连接有连接杆，所述连接杆远离所述液压缸一的一端设置有外固定环，本实用新型专利技术通过分别设置有外固定环和内固定环，在两个外固定环之间设置有液压杆，通过液压杆的伸长或缩短，方便对两个内固定环之间的晶圆进行固定。两个内固定环之间的晶圆进行固定。两个内固定环之间的晶圆进行固定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆厚度激光全自动测试机


[0001]本技术属于晶圆厚度测试
，具体涉及一种晶圆厚度激光全自动测试机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
[0004]传统的晶圆厚度通常需要人工手动进行测量，这种测量方式较为浪费时间，且测量精度并不高，也并不方便对晶圆进行固定，并不实用。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种晶圆厚度激光全自动测试机，以解决上述
技术介绍
中提出的测量精度不高，也不方便对晶圆进行固定的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆厚度激光全自动测试机，包括机器上电模块、上外箱、下外箱和高精度平台，所述上外箱固定连接在所述下外箱的上端，所述上外箱内部底端设置有工作台，所述工作台表面分别设置有所述高精度平台和激光发射器，所述高精度平台表面上端设置有Y轴移动块，所述Y轴移动块上表面设置有X轴移动块，所述X轴移动块上表面滑动连接有滑块上端固定连接有液压缸一，所述液压缸一上表面固定连接有连接杆，所述连接杆远离所述液压缸一的一端设置有外固定环，且所述外固定环设置有两个，两个所述外固定环之间设置有液压杆，两个所述外固定环内部均通过弹簧固定连接有内固定环，且所述内固定环设置有两个，两个所述内固定环内侧均设置有软垫。
[0007]优选的，所述高精度平台一侧表面固定连接有片架托盘，且所述片架托盘上表面开设有凹槽。
[0008]优选的，所述Y轴移动块一侧设置有取片电机，所述取片电机上端传动连接有液压缸二，所述液压缸二上端固定杆连接有取片吸盘。
[0009]优选的，所述Y轴移动块内部开设有Y轴滑槽，所述Y轴滑槽一端设置有Y轴电机，所述Y轴滑槽内部设置有Y轴丝杆，所述Y轴丝杆和Y轴电机之间传动连接，且所述X轴移动块螺纹连接在所述Y轴丝杆表面。
[0010]优选的，所述X轴移动块内部开设有X轴滑槽，所述X轴滑槽一端设置有X轴电机，所述X轴滑槽内部设置有X轴丝杆，所述X轴丝杆和X轴电机之间传动连接，且所述滑块螺纹连
接在所述X轴丝杆表面。
[0011]优选的，所述上外箱一侧表面上下两端均设置有箱门滑槽，所述箱门滑槽内部滑动连接有箱门，所述箱门表面分别设置有观察窗和把手，所述上外箱靠近所述箱门的一侧表面下端分别设置有运行按钮、停止按钮和急停按钮。
[0012]优选的，所述下外箱一侧表面通过铰链铰接有维修门，且所述维修门表面设置有把手，所述下外箱下端四角均设置有万向轮，且所述万向轮设置有四个，四个所述万向轮上均安装有制动装置。
[0013]优选的，所述上外箱内部两侧均设置有滤网，所述滤网内部设置有挡板，所述挡板上下两侧均设置有散热电机，所述散热电机一端传动连接有散热风机。
[0014]优选的，所述机器上电模块的输出端和电源启动模块的输入端相连接，所述电源启动模块的输出端和启动测量软件模块的输入端相连接，所述启动测量软件模块的输出端和进入系统模块的输入端相连接，所述进入系统模块的输出端和用户登录模块的输入端相连接。
[0015]优选的，所述用户登录模块的输出端和工作模式选择模块的输入端相连接，所述工作模式选择模块的输出端分别和生产片测量模块、非生产片测量模块的输入端相连接，所述生产片测量模块、非生产片测量模块的输出端均和JOB号输入模块的输入端相连接，所述JOB号输入模块的输出端和运行模块的输入端相连接。
[0016]与现有技术相比，本技术提供了一种晶圆厚度激光全自动测试机，具备以下有益效果：
[0017]1、本技术通过分别设置有外固定环和内固定环，在两个外固定环之间设置有液压杆，通过液压杆的伸长或缩短，方便对两个内固定环之间的晶圆进行固定，通过在外固定环和内固定环之间设置有弹簧，当液压杆缩短从而对晶圆进行固定时，通过弹簧可以对两个内固定环之间起到缓冲作用，防止内固定环将晶圆损坏，通过在两个内固定环内侧均设置有软垫，进一步防止内固定环将晶圆损坏而造成损失；
[0018]2、本技术通过在Y轴移动块上表面固定连接有取片电机，通过取片电机可以带动液压缸二进行转动，从而带动取片吸盘进行转动，从而对片架托盘内部晶圆进行取放操作，避免了晶圆和人工接触，使晶圆厚度的检测更加精确，通过在高精度平台一侧设置有片架托盘，在片架托盘内部开设有凹槽，通过凹槽方便对装有晶圆的盒体进行限位，防止在测量时盒体发生位置的移动；
[0019]3、本技术通过在高精度平台表面分别设置有X轴移动块和Y轴移动块，通过X轴移动块方便带动外固定环内部的待测晶圆进行X轴的移动，通过Y轴移动块方便带动外固定环内部的待测晶圆进行Y轴的移动，通过在上外箱内部两侧均设置有滤网，在滤网内部设置有散热电机和散热风机，通过散热电机带动散热风机进行转动，从而对上外箱内部的电气元件进行散热处理，防止内部元件运行时间过长导致表面发热，从而影响了装置的使用寿命；
[0020]4、本技术通过在上外箱一侧表面上下两端均设置有箱门滑槽，在箱门滑槽之间滑动连接有箱门，在箱门表面分别设置有观察窗和把手，使用者可以通过观察窗观察到内部的测量过程，通过把手方便将箱门打开，通过在下外箱一侧表面通过铰链铰接有维修门，在维修门表面设置有把手，通过把手将维修门打开，方便对晶圆厚度激光全自动测试机
进行维修，通过在下外箱下表面四角均设置有万向轮，通过万向轮方便使晶圆厚度激光全自动测试机具有可移动的功能；
[0021]5、本技术通过在上外箱一侧表面下端分别设置有运行按钮、停止按钮和急停按钮，通过按下运行按钮方便启动晶圆厚度激光全自动测试机的电源，启动电源后通过电脑终端启动系统并进入系统，随后进行用户登录，随后选择工作模式后再进行JOB号输入，输入完成后晶圆厚度激光全自动测试机即可自动运行，且测量完成后系统会将数据自动进行储存，测量完成后通过按下停止按钮即可关闭装置，通过设置急停按钮，当装置内部出现运行故障时，通过按下急停按钮方便使装置紧急停止，使装置更加安全可靠。
附图说明
[0022]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0023]图1为本技术提出的晶圆厚度激光全自动测试机的结构示意图；
[0024]图2为本技术提出的晶圆厚度激光全自动测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆厚度激光全自动测试机，包括机器上电模块(1)、上外箱(11)、下外箱(16)和高精度平台(27)，其特征在于：所述上外箱(11)固定连接在所述下外箱(16)的上端，所述上外箱(11)内部底端设置有工作台(26)，所述工作台(26)表面分别设置有所述高精度平台(27)和激光发射器，所述高精度平台(27)表面上端设置有Y轴移动块(28)，所述Y轴移动块(28)上表面设置有X轴移动块(32)，所述X轴移动块(32)上表面滑动连接有滑块(36)上端固定连接有液压缸一(37)，所述液压缸一(37)上表面固定连接有连接杆(38)，所述连接杆(38)远离所述液压缸一(37)的一端设置有外固定环(39)，且所述外固定环(39)设置有两个，两个所述外固定环(39)之间设置有液压杆(40)，两个所述外固定环(39)内部均通过弹簧(41)固定连接有内固定环(42)，且所述内固定环(42)设置有两个，两个所述内固定环(42)内侧均设置有软垫(43)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度激光全自动测试机，其特征在于：所述高精度平台(27)一侧表面固定连接有片架托盘(47)，且所述片架托盘(47)上表面开设有凹槽。3.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度激光全自动测试机，其特征在于：所述Y轴移动块(28)一侧设置有取片电机(44)，所述取片电机(44)上端传动连接有液压缸二(45)，所述液压缸二(45)上端固定杆连接有取片吸盘(46)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度激光全自动测试机，其特征在于：所述Y轴移动块(28)内部开设有Y轴滑槽(30)，所述Y轴滑槽(30)一端设置有Y轴电机(29)，所述Y轴滑槽(30)内部设置有Y轴丝杆(31)，所述Y轴丝杆(31)和Y轴电机(29)之间传动连接，且所述X轴移动块(32)螺纹连接在所述Y轴丝杆(31)表面。5.根据权利要求1所述的一种晶圆厚度激光全自动测试机，其特征在于：所述X轴移动块(32)内部开设有X轴滑槽(34)，所述X轴滑槽(34)一端设置有X轴电机(33)，所述X轴滑槽(34)内部设置有X轴丝杆(35...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾怀宇，
申请(专利权)人：北京三禾泰达技术有限公司，
类型：新型
国别省市：