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一种晶圆厚度激光全自动测试机制造技术
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文档序号:31148740
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本实用新型公开了一种晶圆厚度激光全自动测试机,包括机器上电模块、上外箱、下外箱和高精度平台,所述上外箱固定连接在所述下外箱的上端,所述上外箱内部底端设置有工作台,所述工作台表面分别设置有所述高精度平台和激光发射器,所述高精度平台表面上端设置...
该专利属于北京三禾泰达技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京三禾泰达技术有限公司授权不得商用。
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