本实用新型专利技术公开了一种晶圆盒夹持装置，包括夹具本体，夹具本体包括支撑板，支撑板上设有前端开口并用于让位晶圆盒的连接块的让位槽；让位槽的两侧和后侧分别设有导向块，导向块面向让位槽的内侧面包括位于上部的导向面和位于下部的定位面；导向块的导向面之间形成用于容纳晶圆盒的装夹板的上部容纳区，导向块的定位面之间形成用于定位晶圆盒的装夹板的下部定位区；导向面用于导向装夹板从上部容纳区进入下部定位区，下部定位区内设有与设置在装夹板上的定位槽配合的定位柱。本实用新型专利技术还公开了一种晶圆盒搬运复合机器人。本实用新型专利技术的晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人，不仅能够满足晶圆盒的转运要求，而且具有可靠性高和使用寿命长的优点。高和使用寿命长的优点。高和使用寿命长的优点。
【技术实现步骤摘要】
晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人
[0001]本技术涉及一种机械夹具，具体的为一种晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆盒作为晶圆的承载工具。如图1所示，晶圆盒包括盒体1，盒体1的上方设有装夹板2，装夹板2与盒体1之间通过连接块3相连。具体的，装夹板2的四周侧面上设有若干定位槽4。现有技术中，大都采用人工的方式转运晶圆盒，存在效率低下的问题。公开号为CN216784953U的中国专利公开了一种晶圆储存盒专用转运夹爪，其工作原理为：在晶圆储存盒专用转运夹爪的U形爪叉内设置导轨，在导轨内设置定位柱；夹取晶圆储存盒时，首先通过检测探头检测待夹取位置有无放置产品，检测完成后，U形爪叉向装夹板位置处移动，装夹板通过导轨移动至U形爪叉的底部后，定位柱与定位槽配合进行限位固定；当将晶圆储存盒放置在指定位置后，U形爪叉沿着导轨抽出即可。
[0003]该晶圆储存盒专用转运夹爪虽然在一定程度上能够满足晶圆储存盒的转运要求，但仍存在以下不足。具体的，U形爪叉上设有相对的两条导轨，两条导轨相向的一侧分别设有定位柱，如此，在设有定位柱区域，U形爪叉的宽度较窄。在晶圆储存盒的装夹板进出U形爪叉的过程中，当定位柱未进入到定位槽内时，定位柱与装夹板的侧壁之间存在较大的作用力，该作用力使U形爪叉胀开以使装夹板能够进入到U形爪叉内。由于该作用力的存在，在长时间使用后，一方面会导致装夹板和定位柱均产生移动的磨损，另一方面，随着U形爪叉胀形变形的次数增加，U形爪叉的内应力逐渐增大。在内应力的作用下会导致U形爪叉变形，特别的，会导致U形爪叉在设有定位柱的位置区域向外扩张并增大宽度，由于宽度的增大，导致定位柱与定位槽之间可能无法实现限位配合，即该晶圆储存盒专用转运夹爪在长时间使用后存在失效的可能，使用寿命较低，可靠性较差。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人，不仅能够满足晶圆盒的转运要求，而且具有可靠性高和使用寿命长的优点。
[0005]为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]本技术首先提出了一种晶圆盒夹持装置，包括夹具本体，所述夹具本体包括支撑板，所述支撑板上设有前端开口并用于让位所述晶圆盒的连接块的让位槽；
[0007]所述让位槽的两侧和后侧分别设有导向块，所述导向块面向所述让位槽的内侧面包括位于上部的导向面和位于下部的定位面；所述导向块的导向面之间形成用于容纳所述晶圆盒的装夹板的上部容纳区，所述导向块的定位面之间形成用于定位所述晶圆盒的装夹板的下部定位区；所述导向面用于导向所述装夹板从所述上部容纳区进入所述下部定位区，所述下部定位区内设有与设置在所述装夹板上的定位槽配合的定位柱。
[0008]进一步，还包括第一传感器，所述第一传感器的检测方向朝向所述夹具本体的前方。
[0009]进一步，还包括第二传感器和第三传感器，所述第二传感器用于检测所述装夹板是否进入所述上部容纳区内，所述第三传感器用于检测所述装夹板是否进入所述下部定位区内。
[0010]进一步，还包括用于定位的相机。
[0011]进一步，所述定位柱安装在所述支撑板上，且所述定位柱与所述定位槽一一对应设置。
[0012]进一步，所述支撑板上设有分别位于所述让位槽两侧的侧壁，所述侧壁位于对应的所述导向块背向所述让位槽的一侧。
[0013]进一步，所述侧壁上安装有位于对应的所述导向块上方的防脱板。
[0014]进一步，还包括防碰撞机构，所述防碰撞机构包括位于所述夹具本体前方的防撞板，两个所述侧壁上分别安装有滑轨，所述防撞板的两端分别与两个所述滑轨滑动配合，所述夹具本体与所述防撞板之间设有用于向所述防撞板施加向前的弹力作用的弹簧柱塞；所述支撑板上设有用于与所述防撞板配合的微动开关。
[0015]进一步，所述滑轨设置在所述侧壁的外侧面上，所述防撞板的两端分别设有与所述侧壁平行的导向板，所述导向板上安装有与所述滑轨滑动配合的滑块。
[0016]本技术还提出了一种晶圆盒搬运复合机器人，包括行走机构，所述行走机构上安装有机械臂，所述机械臂的末端安装有如上所述的晶圆盒夹持装置；所述夹具本体上安装有机械臂法兰，所述夹具本体通过所述机械臂法兰安装在所述机械臂的末端。
[0017]本技术的有益效果在于：
[0018]本技术的晶圆盒夹持装置，通过在支撑板上设置让位槽，如此，可以使晶圆盒的连接块通过夹具本体的前端进入到让位槽内，从而使晶圆盒的装夹板进入到导向块之间；通过在导向块上设置导向面和定位面，可将导向块围成的装夹区域分隔为两部分，一部分为与导向面对应的上部容纳区，一部分为与定位面对应的下部定位区；具体的，在夹持晶圆盒时，驱动夹具本体相对于晶圆盒向前移动，让位槽的前端开口对准晶圆盒的连接块，使连接块进入到让位槽内，此时的装夹板位于上部容纳区；而后驱动夹具本体相对于晶圆盒向上移动，使装夹板从上部容纳区进入到下部定位区，此时，定位柱嵌入到对应的定位槽内，实现对装夹板的定位装夹；当晶圆盒被转运到设定位置后需要放下时，驱动夹具本体相对于晶圆盒向下移动，使装夹板从下部定位区进入到上部容纳区，而后驱动夹具本体相对于晶圆盒向后移动，使装夹板完全与所述夹具本体脱离；综上，本技术的晶圆盒夹持装置能够满足晶圆盒的转运要求，并且在装夹和放下晶圆盒的过程中，不会与晶圆盒之间产生摩擦，夹具本体也不会产生任何形变，具有可靠性高和使用寿命长的优点。
附图说明
[0019]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本技术提供如下附图进行说明：
[0020]图1为现有的一种晶圆盒的结构示意图；
[0021]图2为本技术晶圆盒夹持装置实施例的结构示意图；
[0022]图3为图2的后视图；
[0023]图4为装夹板位于上部容纳区时的状体图；
[0024]图5为装夹板位于下部定位区时的状体图。
[0025]附图标记说明：
[0026]1‑
盒体；2
‑
装夹板；3
‑
连接块；4
‑
定位槽；
[0027]10
‑
夹具本体；11
‑
支撑板；12
‑
让位槽；13
‑
侧壁；14
‑
导向块；14a
‑
导向面；14b
‑
定位面；15
‑
定位柱；16
‑
防脱板；17
‑
第一传感器；18
‑
第二传感器；19
‑
第三传感器；20
‑
安装座；21
‑
螺母；22
‑
防撞板；22a
‑
让位口；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒夹持装置，其特征在于：包括夹具本体，所述夹具本体包括支撑板，所述支撑板上设有前端开口并用于让位所述晶圆盒的连接块的让位槽；所述让位槽的两侧和后侧分别设有导向块，所述导向块面向所述让位槽的内侧面包括位于上部的导向面和位于下部的定位面；所述导向块的导向面之间形成用于容纳所述晶圆盒的装夹板的上部容纳区，所述导向块的定位面之间形成用于定位所述晶圆盒的装夹板的下部定位区；所述导向面用于导向所述装夹板从所述上部容纳区进入所述下部定位区，所述下部定位区内设有与设置在所述装夹板上的定位槽配合的定位柱。2.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：还包括第一传感器，所述第一传感器的检测方向朝向所述夹具本体的前方。3.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：还包括第二传感器和第三传感器，所述第二传感器用于检测所述装夹板是否进入所述上部容纳区内，所述第三传感器用于检测所述装夹板是否进入所述下部定位区内。4.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：还包括用于定位的相机。5.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：所述定位柱安装在所述支撑板上，且所述定位柱与所述定位槽一一对应设置。6.根据权利要求1
【专利技术属性】
技术研发人员：徐冠华，尹松华，邓荣新，陈叶磊，
申请(专利权)人：苏州兰里智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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